Máy bơm phân tử hỗn hợp loại Maglev Dòng TG-M

Máy bơm phân tử hỗn hợp loại Maglev Dòng TG-M

Máy bơm phân tử tuabin bao gồm một cánh quạt nhiều lớp và cánh quạt stator. Hình ảnh dưới đây cho thấy góc của lưỡi dao, cũng như các phân tử khí liên quan theo hướng quay, đi vào bên trong máy bơm từ phía chân không cao và sau khi gắn vào cánh quạt sẽ tách ra theo các hướng khác nhau theo phân bố Maxwell. Tuy nhiên, do góc nghiêng và vòng quay của lưỡi dao, các phân tử bay vào lớp tiếp theo và dễ dàng đi qua lưỡi stato và xuống. Đồng thời, các phân tử khí bay vào từ tầng dưới và lùi lại sau khi đi qua các cánh cố định cũng có thể bay trở lại tầng tiếp theo bằng cách va chạm với cánh rôto. Góc của lưỡi dao là góc mà các phân tử khí ở tầng trên dễ dàng đi qua (dòng chảy của hướng xả và chênh lệch dòng chảy ngược lớn hơn), trong khi các phân tử khí ở tầng dưới không dễ dàng ngược dòng (dòng chảy của hướng xả và dòng chảy ngược lớn hơn) góc. Trong lưu vực phân tử, bơm phân tử turbo được thực hiện thông qua cánh quạt này và cánh quạt stator để thực hiện các tính chất cơ bản

đặc điểm chính

・Môi trường siêu chân không không dầu

・Khí thải phân tử cơ học (khí thải động), với tốc độ xả gần như giống nhau đối với tất cả các loại khí

・Có thể xả khí hiếm và khí ăn mòn

・Có thể liên tục xả khí lưu lượng lớn

・Phạm vi áp suất rộng có thể hoạt động. (～10-10Bố).

OsakaMáy bơm phân tử hỗn hợp loại Maglev Dòng TG-M

Sử dụng vòng bi treo từ để đạt được khí thải không dầu và chu kỳ bảo trì dài. Cung cấp các sản phẩm có tốc độ xả 300L/s~3400L/s.

TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M

Sở trường đặc biệt của máy bơm phân tử tuabin kiểu mới treo từ TG397M/TG427M/TG907M/TG1307M

• Thiết kế tiết kiệm điện

• Dữ liệu làm việc, số lần tiếp xúc vòng bi, thông tin loại máy, v.v. có thể được lưu trữ trong cơ thể bơm phân tử ※ Khi bảo trì, dữ liệu có thể được chuyển giao ngay cả khi bộ điều khiển được thay thế

• Nhiều thông số truyền thông (có thể tương ứng với EtherCAT)

• Thông số kỹ thuật quốc tế

• Tuân thủ CE, SEMI-S2, NRTL

  Ứng dụng:

  
  

• Thiết bị sản xuất bán dẫn

• Thiết bị sản xuất FPD

• Thiết bị sản xuất pin mặt trời

• Gia công các thành phần quang học như thủy tinh/ống kính

• Xử lý phim

• Máy gia tốc/Thiết bị thí nghiệm môi trường vũ trụ

  Thông số kỹ thuật:

• 

  

•