Máy khắc ion phản ứng Rie

Có thể đàm phánCập nhật vào01/04

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

CIF giới thiệu máy khắc ion phản ứng RIE, sử dụng phương pháp kích thích cảm ứng ion phản ứng RIE để đạt được sự khắc vi cấu trúc của dị hướng bề mặt vật liệu. Đặc biệt thích hợp cho các trường đại học, viện nghiên cứu khoa học, vi điện tử, phòng thí nghiệm doanh nghiệp bán dẫn để tiến hành nghiên cứu phương tiện truyền thông khắc, silic khắc, kim loại khắc và các khía cạnh khác. Chi phí sử dụng thấp, tỷ lệ giá tình dục cao, dễ bảo trì, xử lý nhanh chóng và hiệu quả. Máy khắc ion phản ứng RIE thích hợp cho tất cả các vật liệu cơ bản và hình học phức tạp để khắc ion phản ứng RIE.

Chi tiết sản phẩm

CIF giới thiệu máy khắc ion phản ứng RIE, sử dụng phương pháp kích thích cảm ứng ion phản ứng RIE để đạt được sự khắc vi cấu trúc của dị hướng bề mặt vật liệu. Đặc biệt thích hợp cho các trường đại học, viện nghiên cứu khoa học, vi điện tử, phòng thí nghiệm doanh nghiệp bán dẫn để tiến hành nghiên cứu phương tiện truyền thông khắc, silic khắc, kim loại khắc và các khía cạnh khác. Chi phí sử dụng thấp, tỷ lệ giá tình dục cao, dễ bảo trì, xử lý nhanh chóng và hiệu quả.Máy khắc ion phản ứng RieThích hợp cho tất cả các chất nền và hình học phức tạp để khắc ion phản ứng Rie.

Cụ thể bao gồm:

◆ Vật liệu điện môi (SiO2, SiNx, v.v.)

"Hongkuang, said Xiao Hongkuan, a student of Xiao Honghan, had been said" (Hồng Kông, nói Xiao Hongkuan, một sinh viên của Xiao Honghan, đã được nói).

◆ Vật liệu III-V (GaAs, InP, GaN, v.v.)

◆ kim loại phún xạ (Au, Pt, Ti, Ta, W, v.v.)

◆ Loại kim cương (DLC)

Lĩnh vực ứng dụng:

Máy khắc ion phản ứng RieChủ yếu được sử dụng trong nghiên cứu và phát triển thiết bị và sản xuất chip vi điện tử, pin mặt trời, chip sinh học, màn hình, quang học, truyền thông và các lĩnh vực khác.

Đặc điểm sản phẩm

◆Màn hình cảm ứng màu 7 inch giao diện hoạt động tương tác tiếng Trung và tiếng Anh, điều khiển tự động theo dõi trạng thái tham số quy trình, 20 chương trình công thức, dữ liệu quy trình có thể được lưu trữ theo dõi.

◆Máy điều khiển công nghiệp PLC điều khiển toàn bộ quá trình làm sạch, hai chế độ làm việc bằng tay và tự động.

◆Thân khoang chân không, hệ thống đường ống chân không hoàn toàn chính xác. 316 Vật liệu thép không gỉ, chống ăn mòn và không gây ô nhiễm.

◆Thông qua đồng hồ đo lưu lượng kỹ thuật số chống ăn mòn, Đạt được kiểm soát chính xác đầu vào khí. Hệ thống phân phối khí hai chiều tiêu chuẩn, Tùy chọn Multi-gashệ thống vận chuyển khí đường, Có thể nhập oxy, khí argon, Khí như nitơ, carbon tetrafluoride, hydro hoặc khí hỗn hợp.

◆Áp dụng chế độ nạp xốp kiểu rải, thay đổi lượng nạp lỗ đơn không đồng đềuVấn đề quân sự.

◆HEPA lọc hiệu quả cao, thổi ngược khí, ngăn ngừa ô nhiễm thứ cấp.

◆Phù hợp với chức năng con ngườiThiết kế giao diện hoạt động nghiêng 60 độ, dễ vận hành và giao diện thân thiện.

◆Sử dụng khoang chân không trên cùng, thiết kế nắp mở trên, bản lề ép xuống mởCách tắt.

◆Loại trênThiết kế mẫu lấy và đặt ngang 360 độPhù hợp với công năng học của cơ thể con người, thao tác thuận tiện hơn.

◆Khu vực xử lý hiệu quả lớn, có thể xử lý đường kính tối đaTấm silicon tinh thể 154mm.

◆Bảo vệ an toàn, mở cửa, tự động tắt nguồn, vận chuyển máyĐường, dừng nhắc.

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị