- Thông tin E-mail
- Điện thoại
-
Địa chỉ
Quảng trường Thời đại Lộng Thư Dã, quận Mẫn Hành, thành phố Thượng Hải
Danh mục sản phẩm
Công ty TNHH Nano Trung Quốc
Máy tính bảng bán dẫn chính xác
Có thể đàm phánCập nhật vào05/13
- Mô hình
- Thiên nhiên của nhà sản xuất
- Nhà sản xuất
- Danh mục sản phẩm
- Nơi xuất xứ
Tổng quan
Máy tính bảng bán dẫn chính xác là một thiết bị có độ chính xác cao sử dụng lưỡi dao hoặc laser để cắt wafer với độ chính xác cao. Nó chủ yếu được sử dụng trong quá trình quay lại của chip bán dẫn, bao gồm cả việc xử lý vi mô như padding, chia hoặc rãnh wafer. Là thiết bị quan trọng để cắt vòng tròn bán dẫn và cắt WLP, chất lượng và hiệu quả cắt trực tiếp ảnh hưởng đến chất lượng gói và chi phí sản xuất của chip.
Chi tiết sản phẩm
Máy tính bảng wafer là một thiết bị có độ chính xác cao sử dụng lưỡi dao hoặc laser để cắt wafer với độ chính xác cao. Nó chủ yếu được sử dụng trong quá trình quay lại của chip bán dẫn, bao gồm cả việc xử lý vi mô như padding, chia hoặc rãnh wafer. Là thiết bị quan trọng để cắt vòng tròn bán dẫn và cắt WLP, chất lượng và hiệu quả cắt trực tiếp ảnh hưởng đến chất lượng gói và chi phí sản xuất của chip.
Máy tính bảng bán dẫn chính xácViệc thiết lập phần mềm hệ thống MR 200 và cấu hình phần cứng cho phép ghi bàn chính xác cao, cho phép cắt chính xác các tấm silicon có cấu trúc. MR 200 là một công cụ rất mạnh mẽ, đặc biệt là trong quá trình chuẩn bị mẫu SEM cho công nghệ bán dẫn. Ngoài ra, MR 200 cũng phù hợp để tách cắt các chip lô nhỏ, chẳng hạn như trong các ứng dụng trong phòng thí nghiệm.
Máy tính bảng bán dẫn chính xácCơ sở hạ tầng máy móc cung cấp nhiều tùy chọn có thể điều chỉnh các tham số đường dấu. Hệ thống quang học zoom chất lượng cao cho phép điều chỉnh vô cấp liên tục từ độ phóng đại 8x đến 40x. Các thành phần quang học và cơ khí có thể được mở rộng thông qua các mô-đun phụ trợ, do đó nâng cao hiệu quả hoạt động và sự thoải mái tương tác giữa người và máy. Các mô-đun như vậy bao gồm hệ thống camera, hệ thống xử lý hình ảnh và hệ thống đo lường dịch chuyển bàn làm việc.
Hệ thống camera:
Kính hiển vi zoom chất lượng cao này cho phép chuyển đổi vô cấp giữa tổng quan và chi tiết trên bề mặt mẫu vật. Xác định vị trí mẫu vật với độ chính xác cao có thể được thực hiện bằng cách tinh chỉnh các bảng mang x/y. Điểm bắt đầu và góc làm việc của kim cương đánh dấu có thể được điều chỉnh, và các chữ thập thị kính được sử dụng để đánh dấu điểm bắt đầu. Hệ thống video có thể được tùy chọn và sau khi cấu hình chức năng này, tình hình bề mặt wafer có thể được quan sát trong thời gian thực trên màn hình của PC.
Hệ thống xử lý hình ảnh:
Hệ thống quang học zoom chất lượng cao cho phép điều chỉnh vô cấp liên tục từ độ phóng đại 8x đến 40x.
Hệ thống đo dịch chuyển bàn làm việc:
Thiết bị đo dịch chuyển kỹ thuật số, thích hợp để phát hiện vị trí bàn làm việc, thông số kỹ thuật phạm vi là 100mm/200mm. Dụng cụ đo lường có thể đạt được vị trí chính xác cao của bàn tròn tinh thể theo hướng thẳng đứng với hướng ghi. Một trong những mục đích chính của nó là vẽ lưới chính xác.
Thiết bị đo dịch chuyển kỹ thuật số Thích hợp cho phát hiện vị trí bàn làm việc Thông số kỹ thuật phạm vi 100mm
Thiết bị đo dịch chuyển kỹ thuật số, thích hợp cho phát hiện vị trí bàn làm việc, thông số kỹ thuật phạm vi 200mm
Thông số kỹ thuật:
| Đối tượng | Khung cơ thể hồ sơ đùn |
| Kích thước (BxTxH) | (400 × 800 × 600) mm |
| trọng lượng | 20 kg |
| Hệ thống điện | Hệ thống điện ghi điểm điện từ (có thể chuyển đổi sang hệ thống điện ghi điểm khí nén theo yêu cầu, phù hợp với các tình huống yêu cầu áp suất ghi điểm cao) |
| Kiểm soát kim cương đánh dấu | Kiểm soát chuyển đổi chân (lên/xuống) |
| Sức mạnh ghi bàn | 10g-120g có thể điều chỉnh (yêu cầu khác) |
| Đánh dấu chiều rộng khe | 5μm-10μm (phụ thuộc vào cường độ ghi bàn và vật liệu) |
| Tốc độ đầu dao | điều chỉnh |
| Chiều cao đầu cắt | Điều chỉnh cho các mẫu có độ dày khác nhau |
| Góc làm việc của đầu dao | điều chỉnh |
| Đánh dấu hạt | Thông qua hút chân không |
| Kính hiển vi | Zoom chất lượng cao, điều chỉnh vô cấp, độ phóng đại 8x-40x |
| Trang chủ | Với sợi tóc chéo, theo cạnh, đặc điểm cấu trúc và đánh dấu tham chiếu và các điểm chính xác khác |
| Độ phân giải hệ thống quang học | Tốt hơn 10μm (độ phóng đại 10x) |
| Kẹp wafer | Khay chân không tráng Teflon, gắn trên bảng mẫu X/Y, đường kính 200mm (tùy chọn 100mm) |
| Góc kẹp wafer | Tinh chỉnh góc kẹp wafer bằng máy đo vi xoắn ốc với độ phân giải 10 μm (0,006 °) |
| Xoay kẹp wafer | Với thiết bị dừng có thể điều chỉnh, nó có thể đạt được vòng quay 90 ° chính xác mà không cần tắt chân không |
| Bảng dịch chuyển XY | Hướng dẫn sử dụng, đột quỵ hiệu quả 200x200mm để ghi bàn và định vị thô |
| Trục vít micron 25mm | Để định vị chính xác vuông góc với hướng đánh dấu |
| 10mm micron vít | Định vị chính xác để ghi hướng |
| Nguồn sáng | Đèn LED vòng, hỗ trợ điều chỉnh độ sáng và cung cấp điện |
| Kích thước mẫu tối thiểu | 10x10mm |
| Độ dày wafer | Tất cả các wafer silicon độ dày tiêu chuẩn |
| Vật liệu cắt | Si, GaAs (các vật liệu khác có thể được tư vấn) |
| Hệ thống video |
Đi kèm với phần mềm xử lý hình ảnh, tùy chọn |
Hệ thống quang học:
Hệ thống quang học zoom chất lượng cao cho phép điều chỉnh vô cấp từ độ phóng đại 8x đến 40x và kính hiển vi này có rất nhiều phụ kiện để lựa chọn cho nhiều chức năng hơn.
Phụ kiện tùy chọn:
1, Dụng cụ đo dịch chuyển kỹ thuật số: 100mm/200mm
Dụng cụ đo lường có thể đạt được vị trí chính xác cao của bàn tròn tinh thể theo hướng thẳng đứng với hướng ghi. Một trong những mục đích chính của nó là vẽ lưới chính xác.
2, Bộ nâng cấp phù hợp với máy ảnh
Bộ nâng cấp cho camera CCD bao gồm các cụm kính hiển vi tương ứng. Ngoài ra, máy ảnh, màn hình hoặc máy tính với phần mềm xử lý hình ảnh là cần thiết. Khách hàng có thể chọn tùy chỉnh hoặc sử dụng máy ảnh, máy tính và phần mềm do OEG cung cấp.
3, Hệ thống video màu
Tùy chọn này bao gồm một máy ảnh màu 1,3 megapixel, một máy tính tất cả trong một và phần mềm xử lý hình ảnh hiển thị hình ảnh máy ảnh trên màn hình và hỗ trợ lưu hình ảnh.
4, Đo chiều rộng đường
Phần mềm xử lý hình ảnh mở rộng này cho phép đo độ rộng đường chính xác cao với độ phân giải subpixel.
Cắt chính xác, dễ vận hành:
Sau khi miếng cơ sở được cố định vào mâm cặp, kính hiển vi được đặt vào vòng chuẩn tinh. Bằng cách di chuyển bàn dọc theo trục X và Y bằng tay, có thể điều chỉnh điểm đánh dấu hoặc cấu trúc tham chiếu trên mẫu. Kính hiển vi zoom chất lượng cao có thể nhanh chóng chuyển đổi giữa các bản vẽ xác suất và chi tiết của mẫu. Tinh chỉnh với bàn làm việc X/Y, wafer có thể được định vị rất chính xác. Điểm tiếp xúc của kim cương được điều chỉnh bằng các đường thập tự trên thị trường hoặc màn hình hiển thị, và được điều khiển lên xuống bằng công tắc chân, hai tay có thể đồng thời điều khiển chuyển động được điểm. Khi bạn đã xác định được vị trí ghi bàn, hãy đặt kim cương xuống bằng công tắc chân và di chuyển mâm cặp bằng tay để hoàn thành việc ghi bàn.
