Hệ thống lắng đọng hơi hóa học Plasma

Có thể đàm phánCập nhật vào12/20

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Hệ thống lắng đọng hơi hóa học PECVD Plasma. Sản phẩm bao gồm nguồn plasma trạng thái rắn, hệ thống điều khiển lưu lượng proton khí, hệ thống điều khiển nhiệt độ lót, hệ thống chân không, phần mềm vận hành Nobadi sử dụng công nghệ điều khiển xe buýt tập trung. Thích hợp cho việc lắng đọng SiO2, SiNx phim ở nhiệt độ phòng đến 1200 ℃, đồng thời có thể đạt được lắng đọng nguồn TEOS, lắng đọng lớp màng SiC và lắng đọng nguồn khí lỏng các vật liệu khác, đặc biệt thích hợp cho việc lắng đọng màng bảo vệ hiệu quả cao trên vật liệu hữu cơ và màng thụ động không bị hư hại ở nhiệt độ cụ thể.

Chi tiết sản phẩm

PECVDHệ thống lắng đọng hơi hóa học Plasma

1. Rửa sạch lớp phủ liền mạch lưu loát, ngăn chặn ô nhiễm lần thứ hai;

2. Kết cấu kiểu mở trên, thuận tiện quan sát mẫu thử;

3. Sản phẩm thông qua chế độ điều khiển hoàn toàn tự động, màn hình cảm ứng, hiển thị kỹ thuật số;

4. Mức độ hội nhập thiết bị cao;

5. Nguồn cung cấp RF ổn định, phân phối nhiệt độ đồng đều, cải thiện chất lượng hình thành màng;

Mã sản phẩmNBD-PECVD1200-80TI

Thông số kỹ thuật điệnAC220V 4KW

Nhiệt độ có thể đạt được1200 ℃

Nhiệt độ liên tục1150℃

Tốc độ gia nhiệt có thể đạt ≤ 20 ℃/phút

Nguồn điện RF300hoặc500W 13,56MHz

Kích thước ống lò Φ80 * 1200mm

PECVDHệ thống lắng đọng hơi hóa học Plasma

Hệ thống điều khiển

1、Sản phẩm NBD-101EPHệ điều hành nhúng giao diện đồ họa hoán đổi tiếng Trung và tiếng Anh,7Nhập vào màn hình cảm ứng màu sắc, chế độ đối thoại máy móc thông minh, hiển thị công suất đun nóng trong thời gian thực, sửa đổi nhiệt độ kiểu phi tuyến tính; Báo cáo thí nghiệm được tạo ra độc lập và dữ liệu thí nghiệm được xuất khẩu không giới hạn.

2Quá trình thí nghiệm trực quan hơn, thao tác tiện lợi hơn;3Có chức năng báo động quá nhiệt độ, nhắc nhở cắt vỡ, bảo vệ rò điện, v. v.

Độ chính xác nhiệt độ+/- 1℃

Yếu tố làm nóngMoPha tạpThiết bị: Fe-Cr-Al合金

Hệ thống niêm phong

真空度： ≤10 Pa(Bơm cơ khí)

Đo áp suất và giám sát sử dụng máy đo chân không hiển thị kỹ thuật số, có thể làm cho độ chân không của thiết bị trực quan hơn và kết quả thí nghiệm chính xác hơn.

Hệ thống cung cấp không khí sử dụng đồng hồ đo lưu lượng proton hai chiều để kiểm soát chính xác tốc độ dòng khí, tích hợp với thiết bị;

trọng lượng tịnh360kg

Cân nhắc sử dụng thiết bị

1,Thiết bị lò nhiệt độ ≥300Khi ℃ cấm mở lò để tránh bị thương;

2Khi sử dụng thiết bị, áp suất trong ống lò không được vượt quá.0,125MPa(áp suất tuyệt đối) để ngăn chặn thiệt hại thiết bị do áp suất quá mức;

3Khi sử dụng dưới chân không, nhiệt độ sử dụng thiết bị không được vượt quá800℃。

4, áp suất không khí bên trong xi lanh cung cấp không khí cao hơn, thông qua khí vào ống lò, van giảm áp phải được lắp đặt trên xi lanh, đề nghị thử nghiệm tùy chọn cho van giảm áp nhỏ, phạm vi van giảm áp là0,01MPa-0,15MPa,Chính xác và an toàn hơn khi sử dụng.

5Khi nhiệt độ lò cao hơn1000Khi ℃ ống lò không thể ở trạng thái chân không, áp suất không khí trong ống lò tương đương với áp suất khí quyển, được giữ ở trạng thái áp suất bình thường;

6Nhiệt độ phục vụ lâu dài, ống thạch anh có độ tinh khiết cao ≤1100℃

7Khi thí nghiệm đun nóng, không đề nghị đóng van hút khí và van nạp khí ở đầu mặt bích của ống lò. Nếu bạn cần đóng van khí để làm nóng mẫu, hãy luôn chú ý đến số lượng hiển thị của đồng hồ đo áp suất, nếu đồng hồ đo áp suất tuyệt đối đọc lớn hơn0,15 MPaPhải mở van xả ngay lập tức để phòng trường hợp tai nạn xảy ra.

Hỗ trợ dịch vụ1Bảo hành chất lượng hàng năm, cung cấp hỗ trợ trọn đời (bảo hành không bao gồm các bộ phận dễ tiêu thụ, chẳng hạn như ống lò và vòng đệm, v.v.).

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị