Bộ điều khiển áp suất PC300

Có thể đàm phánCập nhật vào01/07

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Bộ điều khiển áp suất PC300 là bộ điều khiển áp suất với chức năng đo lưu lượng hoàn chỉnh, chủ yếu được sử dụng trong lĩnh vực bán dẫn, chẳng hạn như trong hệ thống làm mát mặt sau của wafer, được sử dụng để kiểm soát áp suất của khí làm mát ở mặt sau của tấm silicon, chẳng hạn như khí heli, nitơ, argon và các loại khí đặc biệt khác.

Chi tiết sản phẩm

Điểm sáng tạo

Sản phẩm Digital

Sản phẩm sử dụng bộ vi xử lý, có lợi thế là thông minh cao, độ tin cậy cao và bảo trì thuận tiện.

Công nghệ Double Control

Sản phẩm sử dụng công nghệ điều khiển kép, có thể đạt được các chỉ số hiệu suất đáp ứng cao và độ chính xác cao.

Lĩnh vực ứng dụng

Bán dẫn - Mạch tích hợp

Chất bán dẫn - Đóng gói

Màn hình bán dẫn

Chiếu sáng bán dẫn

Hệ thống bán dẫn - vi điện

Bán dẫn điện

Hợp chất bán dẫn

Chỉ số kỹ thuật

model	Sản phẩm PC300
Dòng chảy đầy đủ	(10 20 50 100 200 500 5000) SCCM
Áp suất toàn dải	(10 20 50 100) để
Cách kiểm soát	Hướng xuống
Kiểm soát áp suất chính xác	± 0,2% của FS
Kiểm soát sự lặp lại	± 0,2% của FS
Thời gian đáp ứng	<1.0 giây
Phạm vi nhiệt độ hoạt động	10 ℃ đến 50 ℃
Loại van	Thông thường đóng cửa
Tỷ lệ rò rỉ	< 1x10^-12(SCC / SEC Anh)

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị