Van bướm BV300

Có thể đàm phánCập nhật vào01/07

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Van bướm BV300 được sử dụng rộng rãi trong chất bán dẫn, màn hình phẳng, năng lượng mặt trời silicon tinh thể và quy trình công nghiệp để kiểm soát áp suất hạ lưu của buồng, có thể tùy chỉnh giải quyết nhu cầu kiểm soát áp suất nhanh trong điều kiện quá trình đòi hỏi khắt khe.

Chi tiết sản phẩm

Điểm sáng tạo

Công nghệ cảm biến áp suất tự kết hợp hai chiều

Hỗ trợ thu thập tín hiệu đo chân không hai chiều, tương thích với nguồn cung cấp đo chân không ± 15V hoặc+24V, có thể tự động chuyển đổi phạm vi theo yêu cầu quy trình.

Công nghệ điều khiển áp suất L-V-P

Bộ phận điều khiển áp suất bằng cách ghi lại mối quan hệ mở giữa áp suất và van trong môi trường quá trình. Tỷ lệ áp suất, tỷ lệ áp suất vị trí, vị trí áp suất, vị trí áp suất mục tiêu và ước tính áp suất mục tiêu được thực hiện động khi vị trí, tốc độ và áp suất ba vòng kết hợp hợp đồng. Do đó, nó chủ động can thiệp vào lượng thay đổi độ mở của van để đạt được điều khiển áp suất nhanh và ổn định.

Tự học công nghệ chức năng

Hỗ trợ chức năng tự học, có thể thích ứng với các hệ thống chân không buồng khác nhau và điều kiện làm việc khác nhau để kiểm soát áp suất nhanh và chính xác.

Công nghệ Servo Drive

Sử dụng hệ thống điều khiển servo tùy chỉnh, thông qua thuật toán điều khiển độ dốc đa điểm để đạt được vị trí nhanh hơn của tấm bướm và thời gian đáp ứng chuyển đổi có thể lên tới 0,2s.

Lĩnh vực ứng dụng

Bán dẫn - Mạch tích hợp

Chất bán dẫn - Đóng gói

Màn hình bán dẫn

Chiếu sáng bán dẫn

Hệ thống bán dẫn - vi điện

Bán dẫn điện

Hợp chất bán dẫn

Chỉ số kỹ thuật

model	BV300
Mặt bích kết thúc giao diện hình thức và kích thước	ISO-KF: DN40, DN50; ISO-F: DN63, DN80, DN100, DN160, DN200
Tỷ lệ rò rỉ	1 × 10E^-9mbar / giây
Phạm vi áp suất (ở 20 ℃)	1 × 10E^-8mbar-1.2bar (ABS)
Kiểm soát áp suất chính xác	5 mV or 0.1%of setpoint, Lấy cả hai
Tín hiệu đầu vào cảm biến	0-10VDC
chất liệu	Thân/tấm van: 316L/nhôm; Vòng đệm: Viton/PFOA
Độ phân giải vị trí	12800 (Góc 90 °)
Thời gian đáp ứng	Loại không niêm phong: Công tắc 0.2S; Loại niêm phong: Công tắc 0.6S
Giao diện truyền thông	D-Sub, DB-25 Nữ, RS422 / RS485, RS232, DeviceNet, EtherCAT
Giao diện cấp nguồn	D-Sub, DA-15 nam, + 24 VDC (± 10%) @ 0,5 V pk-pk tối đa
Giao diện đo chân không (giao diện cảm biến)	D-Sub, DA-15 nữ
Nhiệt độ môi trường hoạt động	0 ℃ đến+50 ℃ max. (đề nghị<35 ℃)
Vị trí lắp đặt	Cài đặt ngang và dọc

Chú ý:

Van bướm Nhà máy thường đánh dấu tín hiệu cảm biến bằng điện áp

Các đơn vị áp suất khí được chỉ định là: Torr (Torr); mbar (mbar) hoặc

Trạng thái tiêu chuẩn được quy định là: Nhiệt độ --- 273,15K (0 ℃); Áp suất không khí - 101325 Pa (760mm Hg)

F.S. (Full Scale): Giá trị toàn dải S.P. (Set Point): Đặt giá trị điểm

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị