-
Thông tin E-mail
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
-
Điện thoại
18610520676
-
Địa chỉ
Viện 13 Jingyuan Street, Khu phát triển kinh tế và công nghệ Bắc Kinh
Công ty TNHH Điện tử Huathừa Bắc Kinh
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
18610520676
Viện 13 Jingyuan Street, Khu phát triển kinh tế và công nghệ Bắc Kinh
Điểm sáng tạo
Công nghệ cảm biến áp suất dựa trên PTS
Công nghệ điều khiển áp suất dựa trên AI
Công nghệ chống ăn mòn toàn kim loại
Lĩnh vực ứng dụng
Semiconductor - Hiển thị
Bán dẫn - Mạch tích hợp
Chất bán dẫn - Chiếu sáng
Năng lượng sạch - PV
Chỉ số kỹ thuật
| model | Sản phẩm PC100 |
| Loại áp suất | Áp suất tuyệt đối |
| Phạm vi đầy đủ để kiểm soát áp suất | 1000Torr và 1200mbar |
| Chịu áp lực | 3 Mpa |
| Van cổng đầy đủ phạm vi lưu lượng | 50, 500sccm; 1, 2, 3 và 5 SLM |
| Cách kiểm soát | Thượng nguồn |
| Hệ số nhiệt độ | Không: ± 0,02% của FS / ℃; Span: ± 0,04% của đọc / ℃ |
| Độ phân giải áp suất | 0.1 Thác |
| Kiểm soát áp suất chính xác | ± 1,0% đọc (≥10% FS); ± 0,2% FS (<10% FS) |
| Thời gian đáp ứng | < 1,0 S |
| Phạm vi nhiệt độ hoạt động | 10℃~50℃ |
| Giao diện cơ khí | Ferrule đôi 1/4', VCR 1/4 "Nam phù hợp |
| Loại van | Thường đóng |
| Rò rỉ bên ngoài | < 1x10-10(scc / giây He) |
| Rò rỉ bên trong | <1,0% của lưu lượng toàn dải của cổng van (25 psig ở đầu nạp và khí quyển ở đầu xả khi van đóng) |
| Cung cấp điện | + 15 ~ + 24 VDC (<4 watt) |
| Giao diện điện | Đầu nối DB-9pin, EtherCAT |
Chú ý:
Bộ điều khiển áp suất khí Nhà máy thường sử dụng nitơ (N)2) Đánh dấu.
Các đơn vị áp suất khí được chỉ định là: Torr (Torr); mbar (mbar) hoặc
Trạng thái tiêu chuẩn được quy định là: Nhiệt độ --- 273,15K (0 ℃); Áp suất không khí - 101325 Pa (760mm Hg)
Trong các sản phẩm PC điện tử Huathừa, đơn vị SCCM và "mL/phút, 0 ° c, 1atm" tương đương, đơn vị SLM và "L/phút, 0 ° C, 1atm" tương đương.
F.S. (Full Scale): Giá trị toàn dải S.P. (Set Point): Đặt giá trị điểm