Cảm biến áp suất không khí chính xác: DPA-SR1/LR1 ※ Loại cài đặt 1 điểm, Loại giải phóng mặt bằng nhỏ (DPA-SR1), Loại giải phóng mặt bằng cực lớn (DPA-LR1) ※ DPA-SR1: Khoảng cách phát hiện 1-100m, Loại giải phóng mặt bằng nhỏ, dưới độ chính xác lặp lại 0,5m, có thể phát hiện ổn định khoảng cách giữa phôi và kẹp do chip gây ra
Cảm biến áp suất không khí chính xác Metrol: DPA-SR1/LR1
※ Loại thiết lập 1 điểm, loại giải phóng mặt bằng nhỏ (DPA-SR1), loại giải phóng mặt bằng cực lớn (DPA-LR1)
※ DPA-SR1: Khoảng cách phát hiện 1-100μm, loại giải phóng mặt bằng nhỏ, dưới độ chính xác lặp lại ± 0,5μm, có thể phát hiện ổn định khoảng cách giữa phôi và vật cố do chip gây ra.
※DPA-LR1: Khoảng cách phát hiện 80-350μm, loại giải phóng mặt bằng cực lớn, với độ chính xác lặp lại ± 0,5μm, có thể phát hiện ổn định độ nhám bề mặt tiếp xúc của phôi, phôi lớn và khoảng cách giữa kẹp.
※ Ví dụ: đạt được gia công siêu chính xác bằng cách xác nhận vị trí chính xác của phôi và kẹp.