-
Thông tin E-mail
qeservice@enli.com.tw
-
Điện thoại
18512186724
-
Địa chỉ
Phòng 409, Tòa nhà A, 169 Shengxia Road, Pudong Xinqu, Thượng Hải
Công ty TNHH Công nghệ Quang Diễm
qeservice@enli.com.tw
18512186724
Phòng 409, Tòa nhà A, 169 Shengxia Road, Pudong Xinqu, Thượng Hải
Kích thíchÁnh sángScan Defect Imager là phiên bản nâng cấp của thử nghiệm dòng cảm ứng chùm tia laser (LBIC). Nó sử dụng các chùm tia laser có bước sóng năng lượng lớn hơn khoảng cách năng lượng của chất bán dẫn để chiếu vào chất bán dẫn, tạo ra cặp lỗ điện tử. Phân phối hình ảnh tiết lộ sự thay đổi dòng điện bên trong bằng cách quét nhanh bề mặt mẫu để phân tích các phân bố khiếm khuyết khác nhau. Điều này giúp phân tích chất lượng chuẩn bị mẫu và giúp cải thiện quy trình sản xuất.
●Phân phối dòng điện quang quét
●Phân phối quang điện áp quét
●Quét phân phối điện áp mạch hở và dòng ngắn mạch
●Phân tích ô nhiễm bề mặt
●Phân tích phân phối các vùng ngắn mạch
●Xác định và phân tích các khu vực microcrack
●Phân tích phân phối độ dài khuếch tán của một số tàu sân bay (chức năng tùy chọn)


![]()






| dự án | Mô tả các tham số. |
|---|---|
| chức năng | A. Sử dụng chùm tia laser bước sóng có năng lượng cao hơn dải bán dẫn để tạo ra các cặp lỗ điện tử trong chất bán dẫn, khám phá ảnh hưởng của vùng cạn kiệt đối với sự thay đổi dòng điện bên trong, hiểu và phân tích các phân bố khiếm khuyết khác nhau như hướng cải tiến quy trình. b. Có khả năng quét sự phân bố của dòng điện quang trên bề mặt mẫu. C. Có khả năng quét phân phối điện áp quang trên bề mặt mẫu. d. Có khả năng quét phân phối điện áp mạch hở và dòng ngắn mạch. e. Khả năng phân tích ô nhiễm bề mặt. F. Khả năng phân tích sự phân bố của các vùng ngắn mạch. G. Khả năng xác định và phân tích các khu vực microcrack. H. Có khả năng phân tích phân phối chiều dài khuếch tán của một số ít tàu sân bay (tùy chọn). |
| Kích thích |
Laser 405 ± 10nm Laser 520 ± 10nm Laser 635 ± 10nm Laser 830 ± 10nm |
| Khu vực quét | ≥ 100mm × 100mm |
| Kích thước điểm laser | Tiếp cận điểm chế độ TEM00 |
| Độ phân giải bản đồ |
A. Độ phân giải quét ≤50 µm b. Độ phân giải quét có thể được thiết lập bằng phần mềm |
| Thời gian vẽ bản đồ | <4 phút (100mm × 100mm, độ phân giải 50um) |
| Các khía cạnh | 60 cm * 60 cm * 100 cm |
| Phần mềm | A. Hình ảnh 3D LBIC b. Phân tích mặt cắt ngang 2D (tỷ lệ khung hình điện cực) c. Phân tích phân phối đáp ứng dòng điện quang (kết hợp với nguồn laser bước sóng dài) d. Chức năng lưu và xuất dữ liệu |