Hệ thống phơi sáng chùm tia điện tử JC Nabity (Máy phát đồ họa nano NPGS)

Có thể đàm phánCập nhật vào02/04

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Kể từ khi thành lập vào những năm 80 của thế kỷ trước, công ty JC Nabity Lithography Systems của Mỹ đã cam kết nghiên cứu chế tạo thiết bị quang khắc chùm tia điện tử dựa trên SEM, STEM hoặc FIB hàng hóa, nghiên cứu và phát triển hệ thống phát điện đồ họa nano (Nanometer Pattern Generation System Nanographic Generation System, gọi tắt là NPGS, còn được gọi là Hệ thống vi ảnh chùm tia điện tử) công nghệ hàng đầu thế giới trong các hệ thống tương tự, cho các nhà lãnh đạo ngành công nghiệp, ngày càng có nhiều người dùng trên toàn thế giới bao gồm các trường đại học, viện nghiên cứu khoa học và phòng thí nghiệm chính phủ sử dụng NPGS để tiến hành nghiên cứu EBL.

Chi tiết sản phẩm

Hệ thống phơi sáng chùm tia điện tử NPGS V9.1 dựa trên sửa đổi SEM/FIB

1) NPGS dựa trên SEM, STEM hoặc FIB hiện có, cộng với hệ thống điều khiển chùm tia điện tử, thông qua giao diện máy tính để điều khiển quét vectơ chùm tia điện tử trong gương để ghi trực tiếp đồ họa.

2) Hệ thống NPGS kết hợp chức năng quan sát của SEM ban đầu. Không ảnh hưởng đến chức năng của SEM.

3) mạnh mẽ, dễ vận hành và linh hoạt để sử dụng.

4) NPGS và SEM hoặc FIB chính thống ngày nay có thể được hỗ trợ.

NPGS V9.0 là một chương trình phần mềm có thể điều khiển chùm tia điện tử quét. Phơi sáng chùm tia điện tử dựa trên gương điện được chia thành hai phần đơn giản: thiết kế ghi và chạy đồ họa. Thiết kế ghi được thực hiện thông qua chương trình DesignCAD được cung cấp ngẫu nhiên bởi NPGS. Chương trình CAD này đã được sửa đổi để thêm các lệnh cho phơi sáng chùm tia điện tử. Hoạt động đồ họa bao gồm các tham số thiết lập để NPGS tính toán vị trí của từng điểm trên đồ họa cũng như thời gian phơi sáng.

Thẻ phần cứng NPGS: Thẻ microshadow tùy chỉnh được dựa trên khe cắm PCIe tốc độ cao bên trong một máy trạm máy tính. Các tính năng chính là:

1. Áp dụng đầu ra chuyển đổi analog kỹ thuật số tốc độ cao 16 bit, đầu ra đồng thời kênh X và Y, tần số quét đồng bộ 5 MHz, tương thích với 6 MHz, thời gian cư trú chùm tia điện tử tăng tối thiểu 0,5 nano giây, và tất cả các tần số có thể đạt được độ phân giải này.

2. Chế độ quét ghi: chế độ quét vector và chế độ quét bitmap.

3. Cổng chùm điện tử tích hợp để kiểm soát đầu ra.

4. Truy cập hình ảnh thông qua đầu vào chuyển đổi analog-digital 16 bit tích hợp.

5. Dựa trên khe PCIe, cài đặt dễ dàng và hoạt động đáng tin cậy.

Bộ chặn chùm điện tử (khóa dây): Khóa chùm tốc độ cao loại điện trường. Hệ thống NPGS cũng hỗ trợ hoạt động khóa không bó.

Máy đo PICO: Hệ thống phơi sáng chùm tia điện tử dựa trên SEM yêu cầu một máy đo PICO đọc chính xác luồng chùm tia điện tử bắn phá mẫu. Thông thường, nó là cần thiết để kết nối với đầu ra hiện tại của mẫu với một máy đo Piameter từ bên ngoài bàn mang gương.

Dòng chùm gương: NPGS có thể được kết nối tùy chọn để điều khiển cốc Faraday và/hoặc đọc từ máy đo Pico Ampe, nhưng hầu hết người dùng sẽ sử dụng cốc Faraday và máy đo Pico Ampe được điều khiển bằng tay.

Tham số gương điện và điều khiển bàn điện: Cung cấp miễn phí một số trình điều khiển kỹ thuật số gương điện thông dụng và trình điều khiển bàn vận chuyển. Nếu có giao thức giao tiếp cổng nối tiếp, hệ thống này hỗ trợ bất kỳ điều khiển bên ngoài nào.

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị