Thiết bị kiểm tra căng thẳng nội bộ

Có thể đàm phánCập nhật vào05/06

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Máy đo căng thẳng nội bộ Strain Viewer $r$n có các chức năng phát hiện như đo phân bố căng thẳng nội bộ wafer hợp chất và sàng lọc khuyết tật

Chi tiết sản phẩm

Trình xem căng thẳngThiết bị kiểm tra căng thẳng nội bộ

lợi thế

√ Thực hiện đo ứng suất tức thời dựa trên mô hình đo ứng suất lưỡng chiết, hiển thị bản vẽ màu giả phân phối ứng suất hai chiều

√ Sử dụng đường dẫn ánh sáng phát hiện từ xa kép, độ chính xác đo độ trễ pha cao

√ Theo các yêu cầu khác nhau của trường quan sát đo lường, nhiều ống kính có sẵn

√ Khay mẫu tùy chỉnh, thích nghi với thử nghiệm hàng loạt wafer thông số kỹ thuật khác nhau

Đối tượng áp dụng

Thích hợp cho ba thế hệ hợp chất wafer, kính tinh thể wafer, thành phần quang học chính xácPhát hiện ứng suất bên trong (tinh thể phẳng, lăng kính, tấm sóng, ống kính, v.v.)

Lĩnh vực áp dụng

Hướng tới sản xuất wafer hợp chất, gia công chính xác quang học và các ngành công nghiệp khác

Nguyên tắc phát hiện

√ Phát hiện phân bố ứng suất bên trong vật liệu wafer dựa trên hiệu ứng lưỡng chiết ứng suất phân cực ánh sáng. Khi vật liệu tinh thể bị thiếu bên trongSự tập trung của ứng suất có thể dẫn đến hiệu ứng lưỡng khúc ứng suất, điều chế trạng thái phân cực xảy ra khi ánh sáng phân cực đi qua nó, bằng cách đo vectơ Stokes của ánh sáng truyền qua có thể tính toán độ trễ ứng suất của vật liệu, do đó có được sự phân bố ứng suất trong vật liệu;

√ Phát hiện trường tối khuyết tật bề mặt wafer tích hợp đồng bộ và đo lường kích thước.

Trường hợp thực nghiệm