Máy đo độ dày lớp phủ huỳnh quang X Ray thông minh

Thick800A thông minh là một bộ sưu tập nhiều năm kinh nghiệm của máy đo độ dày huỳnh quang X của Tianrui Instrument Co., Ltd. chuyên nghiên cứu và phát triển một loại máy đo độ dày màng chiếu sáng. Thiết bị có vẻ ngoài đơn giản và hào phóng, thông qua chuyển động ba chiều của trục X trục Y trục Z tự động, hệ thống định vị và bảo vệ laser kép, để thực hiện phân tích chính xác lấy nét nhanh chóng của các mẫu đơn giản và phức tạp khác nhau như mặt phẳng, lồi, góc và hồ quang.

Lợi thế hiệu suất

Lắp đặt - sử dụng máy dò SDD có độ phân giải cao; Độ phân giải lên đến 140eV
Thiết kế chiếu sáng - nhận ra các mẫu bề mặt không đều nhỏ như hình cung, hình dạng thiết kế chiếu sáng vòm, rãnh, ren và phát hiện nhanh, chuẩn, ổn định và hiệu quả khác
Thiết bị liên kết trục X trục Y trục Z tự động hóa độ chính xác cao cho phép lấy nét chính xác và phát hiện nhanh mẫu
Sử dụng laser định vị tự động cao, nó có thể nhanh chóng và chính xác xác định vị trí chiều cao thử nghiệm để đáp ứng các kích thước khác nhau của thử nghiệm mạ
Nhiều lỗ chuẩn trực để lựa chọn - lỗ chuẩn trực: 0,05 * 0,3mm; Ф0,1mm; Ф0.2mm； Ф0.3mm； Ф0.5mm
Định vị chính xác - mẫu có thể được định vị nhanh chóng và chính xác
Dễ vận hành - Thiết kế tích hợp thông minh hoàn toàn tự động, cho phép phát hiện dễ dàng

Lợi thế kỹ thuật

Cấu hình thiết bị cao

Hình 1

Sơ đồ 2

Máy đo độ dày lớp phủ huỳnh quang X Ray thông minh

Smart Thick 800A sử dụng máy dò làm lạnh điện bán dẫn SDD trong ngành, độ phân giải có thể lên tới 140eV, có thể phân biệt tốt các đỉnh phổ của các nguyên tố lân cận.
Lấy lớp phủ Au/Ni/Cu làm ví dụ, phổ dụng cụ đếm hộp tỷ lệ thuận như Hình 1, từ phổ đồ có thể thấy đỉnh phổ của hai nguyên tố đồng-niken chồng chéo nghiêm trọng, hình dạng đỉnh của vàng chồng chéo với cơ sở mẫu; Không có lợi cho việc phân tích chính xác các yếu tố.
Hình 2 là quang phổ của thiết bị SDD bán dẫn để kiểm tra Au/Ni/Cu, từ quang phổ có thể thấy đỉnh phổ của ba nguyên tố đồng-niken-vàng được phân biệt rõ ràng, có lợi cho việc phân tích chính xác các nguyên tố.

Thiết kế đường dẫn ánh sáng tập trung

Smart Thick 800A sử dụng thiết bị chuyển mạch quang học * cho phép tia X và ánh sáng máy ảnh ở cùng một đường thẳng đứng, đạt được điểm laser và điểm kiểm tra tích hợp, và tia X tập trung cao; Phối hợp với phần mềm FP để đạt được chức năng zoom lấy nét, thực hiện kiểm tra chính xác các mẫu nhỏ bất thường; Góc của thiết bị trao đổi đường quang tích hợp cao và máy thu có thể được thu nhỏ lại gấp đôi, giảm hiệu quả lỗi do độ nghiêng radian.

Bộ lọc đặc biệt cho phép đo nền thấp

Thông qua bộ lọc đặc biệt có thể làm giảm hiệu quả sự hấp thụ và tăng cường tác dụng của huỳnh quang X, giảm tán xạ nền, cải thiện giới hạn phát hiện của các nguyên tố kim loại siêu mỏng (có thể đạt 0,005um), nhận ra phân tích độ dày của lớp mạ kim loại siêu mỏng.

Công nghệ định vị chính xác cao

Nền tảng di động có độ chính xác cao có thể xác định chính xác điểm kiểm tra, độ chính xác định vị lặp lại của động cơ nền tảng nhỏ hơn 0,005mm; Nền tảng di động có thể được vận hành bằng phần mềm kiểm tra trực quan: chuột có thể điều khiển nền tảng di động, và vị trí nhấp chuột là điểm được kiểm tra.

Thuật toán FP

Công nghệ lõi phân tích Thick 800A thông minh ---- Thuật toán FP
Phát hiện chính xác độ dày của phần tử
Phân tích microzone, phân tích phim, phân tích dòng phụ nâng cao

Phần mềm kiểm tra chuyên nghiệp và thân thiện hơn

① Giao diện chính tăng chức năng chuyển đổi nhanh đường cong;
② Thay đổi phím tắt di chuyển chuột không cần ctrl, điểm chuột, nền tảng mẫu sẽ di chuyển đến đâu, thuận tiện hơn cho khách hàng kiểm tra;
③ Độ dày của lớp phủ được xác định tự động, khách hàng có thể tùy chỉnh các tiêu chuẩn xác định theo nhu cầu;
④ Giao diện đường cong làm việc thêm ghi chú tên có thể được chỉnh sửa, và có thể được hiển thị trong giao diện đường cong chính, để các yếu tố tiếng Anh làm ghi chú mô tả, thuận tiện cho khách hàng để phân biệt, giao diện thân thiện hơn với khách hàng
⑤ Tự động tạo báo cáo kiểm tra, xem dữ liệu lịch sử kiểm tra, truy xuất, v.v.
⑥ Giải pháp công nghiệp, chẳng hạn như các bộ phận chính xác NdFeB mạ niken mạ đồng mạ niken, đo độ dày sơn điện di, kiểm tra độ dày của màng nhôm-nhựa, vv