Hệ thống PECVD thông minh

Có thể đàm phánCập nhật vào12/28

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

PECVD-III-500A-D210 là một hệ thống PECVD thông minh. Thiết bị này chủ yếu được chia thành bốn phần chính: lò ống đa nhiệt độ, thành phần tần số vô tuyến, hệ thống đường dẫn khí, và hệ thống tích hợp phần mềm điều khiển tự động.

Chi tiết sản phẩm

Thiết bị này chủ yếu được chia thành bốn phần chính: lò ống đa nhiệt độ, thành phần tần số vô tuyến, hệ thống đường dẫn khí, và hệ thống tích hợp phần mềm điều khiển tự động.

1, Mở lò sưởi

Lò sưởi sử dụng vật liệu sợi nhôm oxit siêu nhẹ, với cặp nhiệt điện loại K, kiểm soát nhiệt độ 6 điểm; Thiết bị điều khiển nhiệt độ nâng linh hoạt, lò sưởi có thể được mở bằng điện để thuận tiện cho khách hàng thay thế ống phản ứng bảo trì.

2, Hệ thống đường dẫn khí

Nó có thể được kiểm soát chính xác bởi đồng hồ đo lưu lượng khối lượng của khí đa kênh theo lưu lượng khác nhau để trộn và phối hợp tỷ lệ. Ngoài ra, 1 riêng biệt đi qua bộ tạo bọt trống và đi vào ống phản ứng.

3, lắp ráp RF

1000W hiệu suất cao RF phát sáng đồng đều, có thể làm cho toàn bộ khoang phản ứng trong vùng sản xuất ánh sáng.

4, Hệ thống điều khiển thông minh

Sử dụng điều khiển mờ PID thông minh, điều khiển lập trình 30 đoạn. Với chức năng báo động ngắt kết nối siêu nhẹ.

Nhiệt độ tối đa	1200℃
Nhiệt độ hoạt động liên tục	≤1100℃
Tốc độ nóng lên	≤10 ℃ / phút
Kiểm soát nhiệt độ chính xác	±1℃
Yếu tố làm nóng	Dây điện trở
Cặp nhiệt điện	Loại K
Chế độ kiểm soát nhiệt độ	Điều khiển PID mờ và điều chỉnh tự điều chỉnh, điều khiển lập trình AI 30 phân đoạn, với chức năng báo động ngắt kết nối siêu nhẹ, giao diện người-máy cộng với điều khiển PLC, điều khiển màn hình LCD 15 inch, điều khiển công nghiệp kỹ thuật số, điều khiển kép, sử dụng nhiệt kế điều khiển thông minh công nghiệp và phần mềm để đạt được điều khiển kép
Tổng công suất sưởi ấm	≤15KW
Kích thước khu vực sưởi ấm	300 + 300 + 300mm
Công suất RF	1000W
Kích thước thiết bị	2550 * 850 * 1600mm
Trọng lượng thiết bị	Khoảng 600kg

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị