Kính hiển vi lực nguyên tử công nghiệp (FM-Nanoview LS-AFM), kích thước và trọng lượng mẫu hầu như không giới hạn, đặc biệt thích hợp để phát hiện các mẫu lớn như wafer, raster siêu lớn và kính quang học.
Tính năng sản phẩm:
◆Kích thước lớn để đạt được sản xuất thương mạiKính hiển vi lực nguyên tử công nghiệp
◆ Kích thước và trọng lượng mẫu hầu như không giới hạn, đặc biệt thích hợp cho việc phát hiện mẫu lớn như wafer, lưới siêu lớn và kính quang học
◆ Bàn mẫu có khả năng mở rộng mạnh mẽ, rất thuận tiện cho việc sử dụng đa dụng cụ để đạt được phát hiện tại chỗ
◆ Quét tự động một cú nhấp chuột, có thể lập trình nhiều điểm kiểm tra để phát hiện tự động nhanh chóng
◆ Mẫu vẫn bất động khi quét hình ảnh, điều khiển đầu dò để tiến hànhHình ảnh đo chuyển động 3D XYZ
◆ Thiết kế đầu quét giàn, đế bằng đá cẩm thạch, bàn vận chuyển hấp phụ chân không
◆ Tích hợp giảm xóc rung cơ học và giải pháp che chắn tiếng ồn môi trường, giảm đáng kể mức độ tiếng ồn của hệ thống
◆ Động cơ tự động điều khiển phương pháp nạp nhanh thông minh của phát hiện tự động gốm áp điện, bảo vệ đầu dò và mẫu
◆ Trình chỉnh sửa người dùng hiệu chỉnh phi tuyến tính của máy quét, đặc tính nano và độ chính xác đo tốt hơn98%
Thông số kỹ thuật:
Chế độ làm việc |
Chế độ liên lạc, chế độ chạm |
ZBàn nâng |
Điều khiển ổ đĩa động cơ bước, bước tối thiểu10nm |
Chế độ tùy chọn |
Ma sát/Lực bên, biên độ/pha, điện từ/tĩnh |
Zlên xuốngHành trình |
20mm (tùy chọn 25mm) |
Đường cong phổ lực |
Đường cong lực F-Z, đường cong RMS-Z |
Định vị quang học |
Mục tiêu quang học 10X |
XYZCách quét |
Loại ổ đĩa thăm dòQuét XYZ |
camera |
CMOS kỹ thuật số 5 megapixel |
XYPhạm vi quét |
Lớn hơn100um × 100um |
Tốc độ quét |
0.6Hz ~ 30Hz |
ZPhạm vi quét |
Lớn hơn10um |
Góc quét |
0~360° |
Độ phân giải quét |
ngang0.2nm, Chiều dọc 0,05nm |
Môi trường hoạt động |
Hệ điều hành Windows 10 |
XYBảng mẫu |
Điều khiển ổ đĩa động cơ bước, độ chính xác di chuyển1um |
Giao diện truyền thông |
USB 2.0 / 3.0 |
XYDi chuyển đột quỵ |
200 × 200mm (tùy chọn 300 × 300mm) |
thiết bịCấu trúc |
Gantry Rack Scan Head với cơ sở đá cẩm thạch |
Bảng vận chuyển mẫu |
đường kính200mm (tùy chọn 300mm) |
Cách hấp thụ sốc |
Air Float sốc hấp thụ+Che chắn cách âm (bảng giảm xóc hoạt động tùy chọn) |
Trọng lượng mẫu |
≤20kg |
|
|