-
Thông tin E-mail
meng.yan@eoptics.com.cn
-
Điện thoại
18696172880
-
Địa chỉ
Tòa nhà số 6, Số 10, Đường số 4, Khu phát triển công nghệ mới Donghu, Vũ Hán
Vũ Hán Yiguang Công nghệ Công ty TNHH
meng.yan@eoptics.com.cn
18696172880
Tòa nhà số 6, Số 10, Đường số 4, Khu phát triển công nghệ mới Donghu, Vũ Hán
I. Tổng quan
Sản phẩm IRE-200Máy đo độ dày màng quangNó là một thiết bị đo độ dày mở rộng có độ chính xác cực cao, sử dụng phổ hồng ngoại để phân tích nhanh bằng biến đổi Fourier. Nó chủ yếu được sử dụng để đo độ dày mở rộng của các tấm mở rộng khác nhau như Si, GaAs, InP, SiC, GaN.

■Hỗ trợ lựa chọn nhiều mô hình như ném đơn/ném đôi;
■ Tùy chỉnh chức năng mapping;
■ Tốc độ phát hiện cao: Đo tấm mở rộng tiêu chuẩn Si 25 điểm ≤3 phút;
■ Độ chính xác phát hiện cao: ≤0,01um.
II. Tính năng sản phẩm
1) Thiết bị sử dụng mô-đun nguồn sáng hiệu suất cao, ổn định nguồn sáng tốt, tỷ lệ tín hiệu tiếng ồn cao, phạm vi phủ sóng 7800-350cm-1。

2) Kết hợp với phần mềm thuật toán tự phát triển, có thể thu được kết quả đo chính xác và nhanh chóng.




3) Kết hợp với bàn thể thao mapping tự phát triển, định vị chính xác và tốc độ đo nhanh.

III. Ứng dụng sản phẩm
IRE200 được sử dụng rộng rãi trong đo lường độ dày của lớp mở rộng trên Si, SiC, GaAs, InP, GaN và các vật liệu cơ bản khác trong ngành công nghiệp bán dẫn.
Trường hợp đo lường SiC EPI


Thông số kỹ thuật
