-
Thông tin E-mail
info@megphy.com
-
Điện thoại
17706131531
-
Địa chỉ
Số 5 đường Tinh Hán, Khu công nghiệp Tô Châu, tòa B, phường công nghiệp Tân Tô.
Suzhou Mangofei Instrument Co., Ltd
info@megphy.com
17706131531
Số 5 đường Tinh Hán, Khu công nghiệp Tô Châu, tòa B, phường công nghiệp Tân Tô.
FlexSEM1000 là một loại gương sợi vonfram có tính năng nhỏ gọn và xuất sắc mới nhất của Hitachi High Tech. Nó có thiết kế ống kính và gương tập trung với dòng chảy lớn và chênh lệch bóng thấp, được trang bị đầu dò điện tử thứ cấp có độ phân giải cao và đầu dò tán ngược năm phần có độ nhạy cao, có năng lượng hình ảnh chân không thấp tuyệt vời và sử dụng hệ thống dẫn đường chính xác cao SEM MAP mới nhất và chức năng tự động hóa hoàn chỉnh mới nhất, giúp hiệu suất vượt trội hơn và dễ sử dụng hơn.
| Độ phân giải | 4.0nm (điện áp tăng tốc 20kV, chế độ chân không cao, hình ảnh điện tử thứ cấp) |
| 15.0nm (điện áp tăng tốc 1kV, chế độ chân không cao, điện tử thứ cấp) | |
| 5.0nm (điện áp tăng tốc 20kV, chế độ chân không thấp, hình ảnh điện tử tán xạ ngược) |
| Độ phóng đại | Độ phóng đại phim âm bản: 6 – 300.000x |
| Độ phóng đại màn hình: 16 – 800.000x |
| Tăng tốc điện áp | 0,3-20kV |
| Phạm vi áp suất biến chân không thấp | 6-100Pa |
| Name | Động cơ tự động 3 trục tiêu chuẩn |
| Hành trình | X: 0-40mm |
| Y: 0-50mm | |
| R: 360 ° | |
| Z: 5-15mm | |
| T: -15-90 ° | |
| Hệ thống quang điện tử | Súng điện tử: Dây tóc vonfram trung bình trước khi ghép |
| Hệ thống phát hiện tín hiệu: máy dò điện tử thứ cấp; Độ nhạy cao Back Scatter Detector |
| Hệ thống hút chân không | Hệ thống hút chân không điều khiển van hoàn toàn tự động/Bơm phân tử Turbo: 61L/S 1 bộ |
| Bơm cơ khí: 100L/phút 1 bộ | |
| Thiết bị an toàn Chức năng bảo vệ chân không với bảo vệ mất điện, rò rỉ | |
| Hỗ trợ vận hành | Xoay chùm điện tử; Tiêu điểm động; Chức năng tối ưu hóa chất lượng hình ảnh |
| Nhập dữ liệu; Đo giữa 2 điểm, đo góc, văn bản; Tỷ lệ bội số đặt trước; | |
| Chức năng điều hướng vị trí bàn mẫu (SEM MAP); Đánh dấu chùm tia điện tử |