Hellma Đức tổng hợp canxi florua (CaF₂) tinh thể quang học

Hellma Đức tổng hợp canxi florua (CaF₂) tinh thể quang học

I. Các thuộc tính vật lý và hóa học cơ bản

• Công thức hóa học: CaF ₂ (canxi florua)

• Cấu trúc tinh thểHệ thống phân tích (111)

• mật độ：3.18 g/cm³

• Điểm nóng chảy：1418 °C

• Độ dẫn nhiệt：9.71 W/(m·K) @20 °C

• Hệ số giãn nở nhiệt (CTE)：18.9×10 ⁻⁶ / K @20 °C

• Độ hòa tan (nước, 20 ° C): 0,016 g/L (rất khó hòa tan)

Hai, tính chất quang học (cốt lõi)

• Băng truyền：130 nm (UV sâu)~9μm (hồng ngoại trung bình), Che phủ toàn dải VUV/DUV/Ánh sáng nhìn thấy/Hồng ngoại.

• Tốc độ truyền bên trong (dày 10 mm)：

• UV（193/248 nm）：>99.0%

• VIS: > 92%

• IR (3 ~ 5 μm): > 90%

• Độ hòatan nguyênthủy( nd@587.6 nm）：1.43384(Chỉ số khúc xạ thấp, biến dạng quang học nhỏ)

• Số Abbe (μd)：95.23(Sự phân tán rất thấp, sự khác biệt tiêu cực tuyệt vời)

• Tính đồng nhất của chỉ số khúc xạ (@633 nm)：≤0,5 ppm/3~20 ppm (tiêu chuẩn)

• Căng thẳng lưỡng khúc (@633 nm)：≤0,5 nm / cm / 1 ~ 50 nm / cm (tiêu chuẩn)

• Chỉ số khúc xạ phi tuyến (n₂ @ 1064 nm): 1,9 × 10⁻¹⁶cm²/W (cực thấp, ổn định laser công suất cao)

• Hệ số nhiệt độ chỉ số khúc xạ (dn/dT)：

• @ 193 nm: -3,2 × 10 ⁻⁶ /K

• @ 248 nm: -6,9 × 10 ⁻⁶ /K

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

• Bước sóng áp dụng: Laser excimer 157 nm, 193 nm, 248 nm

• Ngưỡng thiệt hại laser (LDT)：>10 J/cm² @ 193 nm (xung 10 ns)

• Ổn định lâu dài: Trong môi trường khắc tia cực tím sâuKhuyết tật thấp, lão hóa thấpPhù hợp với quy trình 7nm và thấp hơn

IV. Kích thước và thông số kỹ thuật tùy chỉnh

• Kích thước tối đa：

• Monocrystalline: Đường kính ≤250 mm,Độ dày ≤150 mm

• Đa tinh thể: Đường kính ≤440 mm,Độ dày ≤150 mm

• Định hướng tinh thể:<111>(Mặc định),<100>, Định hướng ngẫu nhiên

• Chất lượng bề mặt: Mài, đánh bóng (λ/10, λ/20), đánh bóng siêu chính xác

• Dung sai: Đường kính/chiều dài ± 0,1 mm, độ dày ± 0,05 mm (độ chính xác cao hơn có thể được tùy chỉnh)

V. Lớp vật liệu

• UV 级 （193–400 nm）: Tính đồng nhất của chỉ số khúc xạ ≤1 ppm, khúc xạ kép ≤1 nm/cm, được sử dụngMục tiêu in thạch bản 193 nm。

• Lớp DUV (157–193 nm): Độ đồng nhất cực cao (≤0,5 ppm), khúc xạ kép cực thấp (≤0,5 nm/cm), phù hợpIn thạch bản 157 nm。

• Cấp VIS (400 – 780 nm): Độ đồng nhất tiêu chuẩn (3-5 ppm) cho hình ảnh ánh sáng khả kiến, kính hiển vi.

• IR 级 (0,78-9 μm): Hồng ngoại thông qua tối ưu hóa, choCửa sổ hồng ngoại, hình ảnh nhiệt, máy quang phổ。

VI. Lợi thế cốt lõi

1. Truyền siêu rộng：130 nm–9 μm， Nhu cầu đa sóng của một vật liệu.

2. Phân tán rất thấp: A Bối số 95,23, khả năng tiêu sắc kém mạnh, độ sắc nét hình ảnh cao.

3. Kháng laser cao: Thích hợp với laser excimer 193/248 nm, ổn định lâu dài mà không bị hư hại.

4. Độ đồng nhất cao: Tính đồng nhất của chỉ số khúc xạ lên tới 0,5 ppm, tính nhất quán của chùm tia là tuyệt vời.

5. Chuẩn bị cỡ nòng lớn: Đơn tinh thể 250 mm, đa tinh thể 440 mm, đáp ứng nhu cầu hệ thống quang học lớn.

VII. Ứng dụng điển hình

• Chất bán dẫn:193 nm/248 nm Vật kính in thạch bản, hệ thống chiếu sáng。

• Laser: cửa sổ laser công suất cao, mảnh chùm, ống kính (157-1064 nm).

• Hồng ngoại: cửa sổ camera nhiệt hồng ngoại, phần tử quang phổ, ống kính kính thiên văn.

• Nghiên cứu khoa học: quang học tia cực tím chân không (VUV), cửa sổ môi trường bức xạ năng lượng cao.

Hellma Đức tổng hợp canxi florua (CaF₂) tinh thể quang học