Nghiền chất lỏng hạt lớn chất lỏng đếm

Nghiền chất lỏng hạt lớn chất lỏng đếm

Nghiền chất lỏng hạt lớn chất lỏng đếmGiới thiệu sản phẩm: Tích hợp thương mạiChìa khóa để sản xuất mạch phụ thuộc vào các tính chất vật lý và hóa học của việc đánh bóng bề mặt wafer silicon đến các hạt bùn mài mòn gần bằng phẳng nguyên tử bằng cách làm phẳng cơ học hóa học (CMP). Bùn mài mòn (Slurry) chứa tương đối ít hạt>1,0μm (ví dụ: silica, alumina) có thể gây trầy xước vi mô khi xử lý bằng phẳng bề mặt wafer. Do đó, số lượng hạt lớn (LPC) của các hạt bùn mài mòn (Slurry) là một yếu tố quan trọng trong quá trình CMP.

Máy đo hạt lỏng lớn cho chất lỏng mài mònNguyên tắc phát hiện mã số:Chất lỏng đo được chảy qua bể lưu thông, được trang bị kính quang học ở hai bên của bể lưu thông, chùm tia laser được chuẩn trực thông qua nhóm thấu kính, chùm tia đi qua bể lưu thông và chiếu vào bẫy ánh sáng. Nếu không có hạt trong chất lỏng được đo, máy dò quang điện không thể nhận được tín hiệu ánh sáng, nếu có hạt trong chất lỏng, các hạt đi qua bể lưu thông và hiện tượng che khuất hoặc tán xạ chùm tia laser xảy ra. Các tín hiệu bị che khuất và tán xạ ở một (hoặc một số) góc nhất định hội tụ vào máy dò quang điện thông qua bộ sưu tập thấu kính, tạo ra xung tín hiệu điện tích cực tỷ lệ thuận với biên độ của tín hiệu xung và cường độ ánh sáng. Các hạt nhỏ trong chất lỏng có thể được phát hiện đếm dựa trên cường độ và số lượng tín hiệu. Phương pháp quang điện trở chủ yếu phát hiện các hạt lớn hơn 2μm, và phương pháp tán xạ ánh sáng chủ yếu phát hiện các hạt dưới 2μm. Kiểm tra dung hợp khéo léo của hai loại khuôn khiến phạm vi phát hiện của các hạt rộng hơn và độ chính xác cao hơn, khiến các hạt không có chỗ che giấu. Bộ đếm hạt chất lỏng PLD-FX-801 dựa trên nguyên tắc phát hiện của phương pháp tán xạ ánh sáng và phương pháp kháng quang chế độ kép, sử dụng cảm biến phát hiện hạt thu hẹp laser kép thế hệ thứ tám của công nghệ cốt lõi Plotti, điều khiển dòng chảy chính xác kép và hệ thống pha loãng tự động ngoại tuyến, có thể được sử dụng để đánh giá các hạt không mong muốn trong chất lỏng mài mòn và nồng độ của các hạt này. Bộ đếm hạt chất lỏng PLD-FX-801 có hiệu quả có thể giúp chúng tôi xác nhận nguồn ô nhiễm hạt trong hệ thống, đánh giá hiệu quả của việc lọc và giảm rủi ro do chọn một số hạt xấu.

Máy đo hạt lỏng lớn cho chất lỏng mài mònỨng dụng điển hình của bộ đếm:Áp dụng cho CMP POU trước khi cung cấp - Final out nơi cung cấp thiết bị phát hiện Large Particle gây ra scratch&defect trong Slurry, do đó ngăn ngừa tai nạn xảy ra; Phân biệt giữa slurry/bad test và good/bad slurry Ứng dụng phân tích giám sát hạt trong nước tinh khiết trong ngành công nghiệp bán dẫn điện tử; Ứng dụng phân tích giám sát hạt trong hóa chất điện tử trong ngành bán dẫn điện tử; Hiệu quả lọc được áp dụng trong ngành lọc cũng như giám sát tính toàn vẹn của màng; Ứng dụng Nước lọc nhà máy lọc, nước tái chế nhà máy thép, nước máy, vv

Đặc điểm hiệu suất Chế độ đôiThức: Nguyên lý phát hiện, để cho hạt không có chỗ che giấu;Kích thước hạt tiêu chuẩn 0,5-100μm, phạm vi giám sát hạt siêu rộng; Kiểm soát dòng chảy chính xác, cho phép dữ liệu giám sát liên tục và ổn định hơn; Hệ thống pha loãng tự động ngoại tuyến, phù hợp với các hạt có nồng độ cực cao; Tốc độ dòng chảy cao đảm bảo thời gian làm sạch nhanh và độ sạch của hệ thống; Thiết bị tích hợp tỷ lệ thất bại thiết kế, đảm bảo chi phí bảo trì thấp; Hiệu chuẩn bóng cao su, có thể truy nguyên đến tiêu chuẩn NIST; Xem kích thước kích thước hạt, số lượng và phân tích xu hướng của các hạt trong bùn nghiền trong thời gian thực; Thiết lập báo động giới hạn linh hoạt, phản ứng nhanh với sự thay đổi động; Có thể lựa chọn phương thức liên lạc linh hoạt, thực hiện quản lý hiện đại hóa nhà máy;

Thông số kỹ thuật

Cảm biến: Máy dò ánh sáng hẹp laser kép thế hệ thứ tám (chính xác hơn, ổn định hơn và nhanh hơn)

∝ Nguyên tắc thử nghiệm: Chế độ kép của điện trở ánh sáng và tán xạ ánh sáng

∝ Mẫu thử: dung môi nước và hữu cơ

∝ Phạm vi phát hiện: 0,5-100μm

∝ Số kênh: 1000 kênh có thể được thiết lập 16 kênh tùy ý

∝ Thời gian phát hiện: 5s ～ Tùy chỉnh

∝ Độ chính xác kích thước hạt: ≥90%

∝ Độ chính xác đếm: ± 3%

∝ Độ chính xác lấy mẫu: ± 1%

∝ Tốc độ dòng mẫu: 5mL/phút~150mL/phút

∝ Phương pháp xác định: trực tuyến/ngoại tuyến, pha loãng/trực tiếp

∝ Chế độ báo động: Báo động âm thanh và ánh sáng, báo động rò rỉ chất lỏng, báo động hạn chế hạt

∝ Hệ điều khiển: Hệ điều hành Windows

Phương thức truyền thông: TCPIP tiêu chuẩn; Tùy chọn: RS232/RS485/4-20mA

Cấu hình đặt hàng

Cấu hình tiêu chuẩn:

Kiểm tra máy chủ một bộ;

Lắp đặt điều chỉnh thử một bộ vật tư tiêu thụ;

Một bộ tài liệu giấy xuất xưởng.

Mô-đun điều chỉnh áp suất đầu vào.

Trường hợp ứng dụng

Khi xác định trực tuyến hoặc ngoại tuyến, có thể Dữ liệu LPC được tạo ra bởi các thay đổi trong thiết bị cung cấp như thay đổi bộ lọc hoặc sự kiện như charge để theo dõi hiệu quả lớp của Slurry.