Tủ đầy đủ Rotary Coating

■Giới thiệu sản phẩm

SCP-8CTủ đầy đủ Rotary CoatingĐược thiết kế đặc biệt cho giai đoạn thử nghiệm trung bình và các ứng dụng R&D có độ chính xác cao, hỗ trợ xử lý wafer tối đa 8 inch. Cấu trúc sử dụng tất cả các thiết kế tủ tích hợp bằng thép không gỉ, tích hợp các mô-đun chức năng như sơn xoắn, phun keo, loại bỏ keo cạnh (EBR), làm sạch keo đáy (BSR). Hệ thống được trang bị động cơ servo AC, khoang PTFE, cấu trúc hút chống rò rỉ và thiết bị lọc không khí FFU, tối ưu hóa toàn diện sự ổn định, tính đồng nhất và tính lặp lại của quá trình dán. Thích hợp cho các tình huống ứng dụng như chất bán dẫn, quang điện tử, xử lý vi nạp và các yêu cầu cao hơn về tính nhất quán của lớp phủ.

▍Đặc điểm kỹ thuật

1. Nền tảng sơn xoay ổn định cao: Ổ đĩa động cơ servo, phạm vi tốc độ quay 20~5000 vòng/phút, độ chính xác ± 1 vòng/phút, hỗ trợ gia tốc lên đến 10000 vòng/giây, phù hợp với tất cả các loại quy trình dán.

2. Nhiều tấm cơ sở tương thích:Tiêu chuẩn 8 inch và 6 inch hút, hỗ trợ xử lý wafer đa thông số kỹ thuật, thích ứng với các tình huống thử nghiệm/thử nghiệm khác nhau.

3. Hệ thống phun keo chính xác:Tích hợp ba loại mô-đun phun keo (Photoresist, EBR, BSR), vị trí cánh tay lắc và điều chỉnh tốc độ có thể lập trình, tăng tỷ lệ sử dụng keo và tính nhất quán của cạnh.

4. Hệ thống điều khiển thông minh:Áp dụng điều khiển PLC+giao diện cảm ứng, hỗ trợ lên đến 50 nhóm công thức, mỗi nhóm tối đa 20 bước, đáp ứng các thiết lập quy trình công nghệ phức tạp.

5. Tính đồng nhất phim tuyệt vời:Độ đồng nhất của lớp phủ xoắn ≤ ± 2%, đảm bảo tính nhất quán của độ dày màng, nâng cao tỷ lệ tốt của quá trình khắc và khắc tiếp theo.

6. An toàn và sạch sẽ song song:Nó có bảo vệ thấm chân không ổ đĩa wafer, hệ thống lọc chất lỏng cản quang và hệ thống lọc không khí FFU tích hợp để đảm bảo an toàn công nghệ và môi trường sạch.

▍Thông số kỹ thuật

▍Ứng dụng tiêu biểu

SCP-8CTủ đầy đủ Rotary CoatingThích hợp cho tất cả các loại yêu cầu nghiêm ngặt về độ dày và tính đồng nhất của lớp phủ R&D và các ứng dụng thử nghiệm, được sử dụng rộng rãi trong quá trình quay photogel bán dẫn, lớp phủ vật liệu nhạy cảm trong các thiết bị quang điện tử và MEMS, xử lý màng/dày trong các thiết bị điện tử linh hoạt và bao bì tiên tiến, và sản xuất cấu trúc vi nạp,Chính xácCác cảnh nghiên cứu khoa học như phát triển vật liệu, v. v., cung cấp sự hỗ trợ ổn định và đáng tin cậy cho quy trình làm việc chính xác.