F60 Máy kiểm tra độ dày màng tự động

Có thể đàm phánCập nhật vào01/12

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

F60 Máy kiểm tra độ dày màng tự động

Chi tiết sản phẩm

Một,Giới thiệu

Sê-ri Filmetrics của KLA sử dụng công nghệ phản xạ quang phổ để đạt được phép đo chính xác độ dày của màng, phạm vi đo từ nm-mm, có thể đạt được phép đo chính xác độ dày của màng như photoxelate, oxit, silicon hoặc màng bán dẫn khác, màng hữu cơ, màng trong suốt dẫn điện và các lĩnh vực khác, được sử dụng rộng rãi trong chất bán dẫn, vi điện tử, y sinh học và các lĩnh vực khác. Với nhiều sản phẩm như F10-HC, F20, F32, F40, F50, F60-t, Filmetrics có thể đo mẫu có kích thước từ vài mm đến 450mm, phạm vi đo độ dày màng 1nm đến lớp mm. Các sản phẩm của Filmetrics F60 Series có thể lập bản đồ độ dày và chỉ số khúc xạ của phim giống như các sản phẩm F50, nhưng nó bổ sung nhiều tính năng được sử dụng trong môi trường sản xuất. Các tính năng này bao gồm phát hiện tự động rãnh, xác định điểm chuẩn tự động, nền tảng đo hoàn toàn khép kín, máy tính công nghiệp với phần mềm được cài đặt sẵn và các mô hình được nâng cấp lên truyền wafer hoàn toàn tự động. Các thiết bị F60-t khác nhau được phân biệt theo phạm vi bước sóng. Bước sóng ngắn hơn (ví dụ F60-t-UV) thường được sử dụng để đo các bộ phim mỏng hơn, trong khi bước sóng dài hơn có thể được sử dụng để đo các bộ phim dày hơn, không bằng phẳng hơn và mờ hơn. .

Nguyên tắc đo lường-Phản xạ quang phổ

Quang phổPhân cực Elliptical(SE) và Spectrum Reflector (SR) đều sử dụng ánh sáng phản xạ phân tích để xác định độ dày của điện môi, chất bán dẫn, và màng kim loại vàChỉ số khúc xạ. Sự khác biệt chính giữa hai là đo độ lệch elliptical góc nhỏ từphimÁnh sáng phản xạ, trong khi máy đo quang phổ đo ánh sáng phản xạ thẳng đứng từ màng mỏng. Máy phản xạ quang phổ đo ánh sáng thẳng đứng, bỏ qua hiệu ứng phân cực (phần lớn các màng là đối xứng quay). Bởi vì nó không liên quan đến bất kỳ thiết bị di động nào, máy phản xạ quang phổ trở thành một công cụ đơn giản và chi phí thấp. Máy phản xạ quang phổ có thể dễ dàng được tích hợp để thêm vào phân tích truyền ánh sáng mạnh mẽ hơn. Máy phản xạ quang phổ thường được ưa thích cho độ dày màng mỏng hơn 10um, trong khi máy thiên vị elip tập trung vào độ dày màng mỏng hơn 10nm. Từ độ dày 10nm đến 10um, cả hai công nghệ đều có sẵn. Và với các tính năng phản xạ quang phổ nhanh, dễ dàng và chi phí thấp thường là lựa chọn tốt hơn.