Máy đo phổ ion thứ cấp D-SIMS

ADEPT-1010 được thiết kế để tiêm chất bán dẫn nông và phân tích tự động các màng cách nhiệt, và là một công cụ phổ biến trong hầu hết các phòng thí nghiệm phát triển và hỗ trợ chất bán dẫn. Với hệ thống quang học thu thập ion thứ cấp được tối ưu hóa và thiết kế chân không cực cao, các thành phần doping và độ nhạy cần thiết cho các tạp chất phổ biến trong phát hiện cấu trúc màng được cung cấp.

Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry (D-SIMS) là một kỹ thuật phân tích bề mặt có độ nhạy cao để phân tích thành phần vật liệu rắn.

ADEPT-1010 được thiết kế để tiêm chất bán dẫn nông và phân tích tự động các màng cách nhiệt, và là một công cụ phổ biến trong hầu hết các phòng thí nghiệm phát triển và hỗ trợ chất bán dẫn. Với hệ thống quang học thu thập ion thứ cấp được tối ưu hóa và thiết kế chân không cực cao, các thành phần doping và độ nhạy cần thiết cho các tạp chất phổ biến trong phát hiện cấu trúc màng được cung cấp.

Cách thức hoạt động:

Máy quang phổ khối ion thứ cấp động cho phép các nguyên tử hoặc phân tử trên bề mặt mẫu bị văng ra bằng cách bắn phá bề mặt mẫu bằng cách sử dụng các chùm ion sơ cấp năng lượng cao tập trung như O₂⁺, Cs⁺, Ar⁺, v.v. Trong quá trình này, các hạt bị văng ra một phần sẽ tích điện, tạo thành các ion thứ cấp. Các ion thứ cấp này được thu thập và truyền vào máy quang phổ khối để phân tích, nhờ đó thành phần hóa học và phân bố các nguyên tố của mẫu có thể được xác định.