Máy tính để bàn Loại Laser Viết thẳng Hệ thống

Máy tính để bàn Loại Laser Viết thẳng Hệ thống

Nhãn hiệu:Nanyte

Xuất xứ: Singapore

NANYTEBEAMHệ thống Maskless Lithography SystemMáy tính để bàn Loại Laser Viết thẳng Hệ thốngDirect Laser Writing System xử lý các mẫu cấu trúc ở cấp độ micronanomet mà không cần mặt nạ đắt tiền, cho phép xử lý mẫu ở cấp độ micron đến nano bằng cách tiếp xúc trực tiếp với photoxels trên bề mặt tấm cơ sở bằng cách quét chùm tia laser tập trung. Trong khi đảm bảo hiệu suất tuyệt vời của nó, thiết kế thu nhỏ làm cho hoạt động thuận tiện hơn và đạt được xử lý xử lý nhanh chóng, không chỉ cải thiện hiệu quả nghiên cứu và sản xuất thiết bị nano, mà còn tiết kiệm chi phí hiệu quả.

Động cơ chùm tia tập trung chùm tia laser cực tím đến điểm giới hạn nhiễu xạ, thông qua điểm tập trung này tiến hành phơi sáng keo quang theo mẫu thiết kế tốt; Trong khi đó, đối với wafer/base wafer kích thước lớn, di chuyển wafer/base wafer thông qua bước chính xác để tiếp xúc nhiều lần, sau đó khâu nhiều mẫu phơi sáng để hoàn thành việc xử lý mô hình micronanomet của toàn bộ wafer/base wafer. Động cơ chùm tia này có khả năng xử lý chiều rộng đường đặc trưng dưới 500nm trên một tấm wafer 6 inch.

LCompact.

- Máy in thạch bản phim không mặt nạ đầy đủ chức năng nhỏ gọn

LSức mạnh.

- Xử lý chiều rộng đường đặc trưng dưới 500nm

- Đạt được phơi sáng mô hình khu vực riêng lẻ trong 2 giây

- Kích thước gia công 150mmX150mm

LTự động lấy nét siêu nhanh.

- Hoàn thành tập trung trong 1 giây

- Trình điều khiển Piezo kết hợp với điều khiển quang học tập trung vòng kín

LĐa lớp không lo lắng.

- Căn chỉnh đa lớp bán tự động trong vài phút

Giao diện điều khiển phần mềm:

- Thiết kế thân thiện với giao diện phần mềm, điều hướng WASD, nhấp chuột phải vào bất cứ đâu

- Nhận dạng hình ảnh tự động

- Đạt được căn chỉnh nhiều lớp trong vài phút

- Phơi sáng bất kỳ mẫu nào hoặc viết bất kỳ từ nào trên bản in thạch anh trong vài giây

- Chỉ cần tải, căn chỉnh và phơi sáng

- Tương tựSản phẩm CNCHoạt động điều hướng

- Khi phơi sáng nhiều lớp,GDSHình dung mô hình; Phần mềm sẽ loadGDSBản đồ nhỏ, điều hướng đến bất kỳ khu vực nào trên wafer với một cú nhấp chuột

Ví dụ ứng dụng:

Mảng mô hình trên nền silicon, 50 × 63 μm mỗi đơn vị,

Khoảng cách giữa các mẫu liền kề là 3μm

Chất liệu: AZ5214E

Mảng cộng hưởng vòng hở, khoảng cách bên phải 1,5μm

Khoảng cách tách 2 μm ở bên trái và đường kính vòng ngoài 80 μm

Thùng chứa điện chéo (IDC), chiều rộng dây lưới 2μm

Chất liệu: AZ5214E

Metalized mở vòng cộng hưởng không đối xứng

Phần hình nón 0,8μm, bên 20 ✕90μm Điện cực tiếp xúc

Chất liệu: AZ5214E

Lĩnh vực ứng dụng:

• Lĩnh vực Photonics:Được sử dụng trong sản xuất tinh thể photon, ống dẫn sóng, ống kính vi mô, các thành phần quang học nhiễu xạ, v.v., có ứng dụng rộng rãi trong truyền thông quang học, tính toán quang học, hình ảnh quang học, v.v. Ví dụ, sản xuất các mảng ống kính vi mô với các tính chất quang học cụ thể có thể được sử dụng trong các thiết bị như hệ thống hình ảnh, cảm biến ánh sáng, cải thiện hiệu suất và tích hợp của chúng.

• Lĩnh vực Biomedical:Nó có thể được sử dụng để chuẩn bị khung kỹ thuật mô, chip điều khiển dòng chảy vi mô, cảm biến sinh học, v.v.

• Lĩnh vực Microelectronics:Trong sản xuất mạch tích hợp, được sử dụng để làm mặt nạ, mô hình in thạch cao, v.v., đặc biệt là sản xuất chip mạch tích hợp với số lượng nhỏ và độ chính xác cao, công nghệ viết trực tiếp laser có lợi thế về chi phí thấp và tính linh hoạt cao. Ngoài ra, nó có thể được sử dụng để sản xuất các thiết bị hệ thống vi cơ điện (MEMS) như cấu trúc vi cơ, cảm biến vi mô, thiết bị truyền động vi mô, v.v.