Thiết bị kiểm tra sản xuất chip

Thiết bị kiểm tra sản xuất chipMáy nhiễu xạ tia X có độ phân giải cao MRD cải thiện độ tin cậy và cải tiến hiệu suất giúp cải thiện khả năng phân tích, cung cấp các giải pháp tích hợp để đáp ứng các nhu cầu và ứng dụng khác nhau:
• Chất bán dẫn và monocrystalline: thăm dò không gian đảo ngược, phân tích đường cong swing
• Chất rắn đa tinh thể và màng: phân tích dệt, đo phản xạ
• Màng siêu mỏng, vật liệu nano và các lớp vô định hình: xác định pha quét, nhiễu xạ trong khuôn mặt
• Đo trong điều kiện nhiệt độ rất cao: chiều cao đỉnh thay đổi theo nhiệt độ và thời gian
Thiết bị kiểm tra sản xuất chipTính năng:
X'Pert3MRD được thiết kế đặc biệt để đáp ứng các yêu cầu của phòng thí nghiệm nghiên cứu và phát triển vật liệu hiện đại. Sự phát triển của X'Pert3MRD tập trung vào nhu cầu của các ứng dụng màng mỏng, do đó cung cấp một loạt các giá đỡ mẫu có thể chứa các wafer có đường kính lên đến 200 mm và cũng có thể được sử dụng để quét đa điểm trên bề mặt wafer. Bàn mẫu lớn của nó có thể tải nhiều mẫu.

X'Pert3 MRD kết hợp công nghệ mới vào thiết kế vòng bi góc và mã hóa vị trí để cải thiện hiệu suất tổng thể. Kết quả sáng tạo được áp dụng trên vòng bi của máy đo góc đã cải thiện hành vi dính, ngay cả trong điều kiện tải trọng cao, cũng có thể thực hiện chuyển động xoay cực kỳ trôi chảy. Bộ mã hóa quang học Heidenhain một * được sử dụng trên trục omega và 2theta, do đó cải thiện độ chính xác trong khoảng cách ngắn và dài, đồng thời tăng tốc độ báo cáo vị trí và định vị bằng máy đo góc.

Bàn mẫu vòng Euler của X'Pert3 MRD cho phép di chuyển chính xác, lặp lại và không bị cản trở, thuận tiện cho việc xoay mẫu, nghiêng và dịch chuyển trục x, y và z, đảm bảo định vị mẫu linh hoạt và chính xác cho các ứng dụng XRD đòi hỏi khắt khe.
Khái niệm (mô-đun tia X được hiệu chuẩn trước và có thể thay thế nhanh chóng) cho phép MRD thực hiện cấu hình thay thế mà không cần hiệu chuẩn lại. Khi các yêu cầu thử nghiệm thay đổi, các thành phần PreFIX mới có thể dễ dàng được thêm vào, làm cho toàn bộ chương trình linh hoạt, nhanh chóng và phù hợp với nhu cầu trong tương lai. Các mô-đun PreFIX phong phú có sẵn, bao gồm:
Gương ánh sáng song song tia X
Bộ đơn sắc đa tinh thể
Độ phân giải cao Quad Crystal Monochromer
Ống kính ống mỏng lông
Kiểm soát chương trình và cố định khe phân kỳ và chống tán xạ
Các khe chéo và quang học mao dẫn đơn
Danh mục sản phẩm máy dò không ngừng phát triển. Máy dò PIXcel3D có những ưu điểm đặc biệt trong các ứng dụng bán dẫn và phim, với tính linh hoạt hoàn chỉnh, cho phép đo phạm vi động cao mà không cần suy giảm chùm tia. Máy dò PIXcel có thể được sử dụng cho tất cả các loại nhu cầu ứng dụng và có thể dễ dàng chuyển đổi nó từ chế độ khe nhận 0D sang chế độ tĩnh và quét 1D và 2D.
ứng dụng
Bán dẫn và monocrystalline
Cho dù được sử dụng trong nghiên cứu tăng trưởng hoặc thiết kế thiết bị, quá trình đo khối lượng, độ dày, ứng suất và các thành phần hợp kim của lớp cấu trúc bằng XRD có độ phân giải cao đã trở thành trung tâm nghiên cứu và phát triển cho các thiết bị bán dẫn nhiều lớp điện tử và quang điện tử.
Với sự lựa chọn đa dạng của gương tia X, bộ đơn sắc và máy dò, X'Pert3 MRD và X'Pert3 MRD XL cung cấp cấu hình độ phân giải cao để phù hợp với các hệ thống vật liệu khác nhau. Từ các chất bán dẫn phù hợp với mạng tinh thể, đến các lớp đệm thư giãn, đến các lớp ngoại lai mới trên các tấm cơ sở không chuẩn.

Chất rắn đa tinh thể và phim
Màng đa tinh thể và lớp phủ là một phần thiết yếu của nhiều thiết bị màng mỏng và nhiều lớp. Sự phát triển của hình thái đa tinh thể trong quá trình lắng đọng là một lĩnh vực nghiên cứu quan trọng trong nghiên cứu và phát triển vật liệu chức năng.
X'Pert3 MRD và X'Pert3 MRD XL có thể được trang bị đầy đủ với một loạt các thành phần đường dẫn ánh sáng tới như hệ thống khe, gương X-quang trơn tru, ống kính ống mỏng, khe chéo và ống mao dẫn đơn để đáp ứng nhu cầu đo phản xạ, căng thẳng, dệt và kiểm tra nhận dạng pha.

Phim siêu mỏng, vật liệu nano và lớp vô định hình
Thiết bị chức năng có thể chứa các bộ phim hỗn hợp vô định hình, vô định hình hoặc nano. Tính linh hoạt của hệ thống X'Pert3 MRD và X'Pert3 MRD XL cho phép sử dụng kết hợp nhiều phương pháp phân tích.
Một loạt các thiết bị quang học có độ phân giải cao, khe và chuẩn trực Andante có sẵn, đảm bảo hiệu suất cao hơn cho các phép đo tới, nhiễu xạ trong bề mặt và phản xạ.

Đo trong điều kiện nhiệt độ rất cao
Sự thay đổi của vật liệu nghiên cứu trong các điều kiện khác nhau là một phần quan trọng trong nghiên cứu vật liệu và phát triển quá trình.

X'Pert3 MRD và X'Pert3 MRD XL được thiết kế đặc biệt để dễ dàng tích hợp bảng mẫu biến nhiệt DHS1100 do Anton Paar cung cấp, cho phép đo tự động trong một loạt các phạm vi nhiệt độ và môi trường khí trơ.