Hệ thống làm sạch dòng CGX-9N

Nhiệt độ thấp xúc tác - Hệ thống khử nitơ nhiệt độ cao

Hệ thống tinh khiết này sử dụng chất xúc tác được cấp bằng sáng chế tự chế, chất xúc tác này có tuổi thọ cao, độ tinh khiết cao, khả năng dao động tức thời của khí kháng nguyên mạnh mẽ; Sử dụng quá trình hấp phụ vật lý và phản ứng hóa học, một lượng lớn các tạp chất H2O, O2, CO, CO2 trong khí trơ và hydro (H2) được loại bỏ ở nhiệt độ phòng trước khi các tạp chất còn lại và N2 được loại bỏ bởi tháp hút nhiệt độ cao, để các tạp chất khí tinh khiết đầu ra được loại bỏ dưới 1ppb. Thiết bị này có tuổi thọ dài, hoạt động đơn giản và các tính năng khác.

Hiệu suất sản phẩm

◎ Thích hợp để sử dụng với khí thô có độ tinh khiết không dưới 99,999%.

◎ Sản phẩm này là một cấu trúc kép, một nhóm làm việc, một nhóm khác tái sinh dự phòng

◎ Độ sâu tinh khiết cao, xuất khẩu các loại tạp chất nội dung<1ppb

◎ Đánh bóng điện hóa 316 (L) thép không gỉ

◎ Bộ lọc HEPA 0,003 Micron tích hợp

◎ Bộ lọc tinh khiết này được cấu hình với tháp tiền tinh khiết, loại bỏ một lượng lớn tạp chất trước khi tháp hút khí tiêu thụ có giá trị, điều này có thể kéo dài tuổi thọ của chất hút khí tiêu thụ có giá trị

Ứng dụng sản phẩm

◎ Silicon đơn tinh thể có độ tinh khiết cao, mở rộng wafer, mạch tích hợp quy mô lớn, sản xuất sản phẩm quang điện và các thiết bị đầu cuối khí công nghiệp điện tử khác

◎ Thiết bị xử lý bán dẫn: CVD, MOCVD, HVPE, lò khuếch tán, v.v.

◎ Thanh lọc khí số lượng lớn

Thông số hệ thống