Brook Step Meter Probe Loại bề mặt Profile Meter

Đầu dò loại Profile/Step Meter- Bộ bài chuyên nghiệp.

Trưởng thành công nghệ, nâng cao hiệu suất

Trang trí chuyên nghiệp

Brook Step Meter Probe Loại bề mặt Profile MeterDektak Pro ™ Với tính linh hoạt của nó, sự tiện lợi của việc sử dụng và độ chính xác chính xác được đánh giá cao về độ dày màng, chiều cao bước, ứng suất, độ nhám bề mặt và các phép đo cong vênh wafer. Thế hệ thứ 11 của Dektak ® Hệ thống, với sự lặp lại tuyệt vời của 4Å và cung cấp tùy chọn nền tảng 200mm, có thể cung cấp các phân tích khác nhau về hình dạng bề mặt của vật liệu trong nghiên cứu khoa học và công nghiệp. Khi nói đến đo bề mặt, Dektak Pro là lý tưởng cho các ứng dụng công nghệ vi điện tử, màng và lớp phủ và khoa học đời sống.

chính xác hơn.Độ

Trong các phép đo đường viền kiểu đầu dò, đầu dò di chuyển dọc theo bề mặt để thu được thông tin về độ cao tại mỗi điểm dọc theo quỹ đạo, cho phép phân tích hình dạng bề mặt có độ phân giải cao. Các phép đo hồ sơ loại đầu dò được công nhận rộng rãi vì độ chính xác cao và chi phí thấp, và những tiến bộ công nghệ trong nghiên cứu và phát triển mới đã cải thiện hơn nữa tốc độ và tính linh hoạt để đáp ứng nhu cầu thay đổi của các ứng dụng kỹ thuật chính xác.

Hiệu suất mạnh mẽ và khả năng lặp lại

Với độ phân giải mạnh mẽ, ổn định, mạnh mẽ và độ bền, Dektak Pro đảm bảo kết quả chất lượng đáng tin cậy trong nhiều năm và thậm chí nhiều thập kỷ tới. Các mô hình mới thừa hưởng sự đổi mới trên nền tảng Dektak, cung cấp độ phân giải cao hơn, tiếng ồn thấp hơn và thay thế đầu dò thuận tiện hơn, tất cả đều quan trọng để tối ưu hóa độ lặp lại và độ chính xác của hệ thống.

Trong môi trường thích hợp, Dektak Pro thậm chí có thể đo chiều cao bước 1 nanomet và đạt được độ lặp lại vượt trội so với 4Å theo tiêu chuẩn chiều cao bước 1 micron.

Hiệu suất thể hiện trong chi tiết

Brook Step Meter Probe Loại bề mặt Profile MeterThiết kế vòm đơn của Dektak Pro có hiệu quả làm giảm độ nhạy cảm với các điều kiện môi trường bất lợi như tiếng ồn và rung lắc trong khi vẫn phù hợp với thử nghiệm mẫu kích thước lớn. Thế hệ mới của các ứng dụng công nghệ điện tử thông minh giảm thiểu sự thay đổi nhiệt độ và tiếng ồn điện tử, do đó giảm thiểu lỗi và độ không chắc chắn trong các phép đo có độ chính xác cao.

Cảm biến quán tính thấp (LIS 3) cho phép hệ thống nhanh chóng thích ứng với những thay đổi đột ngột về hình thái bề mặt, duy trì độ chính xác và phản ứng trong các cảnh đo động. Công nghệ thay thế đầu dò loại bỏ sự sai lệch và nhu cầu hiệu chuẩn lại hệ thống bằng cách tự sắp xếp kẹp đầu dò, dễ dàng hoàn thành việc thay thế đầu dò và mất ít hơn một phút.

Nhận kết quả nhanh

Dektak Pro sử dụng công nghệ nền tảng quét ổ đĩa trực tiếp, công nghệ nền tảng quét tiên tiến này làm giảm đáng kể thời gian đo mà không ảnh hưởng đến độ phân giải và đáy nhiễu, do đó tăng tốc độ thu được kết quả từ hình dạng 3D hoặc quét đường viền dài trong khi duy trì chất lượng dữ liệu tuyệt vời và độ lặp lại.

Vision64 ® Phần mềm sử dụng công nghệ xử lý song song 64 bit cho phép xử lý dữ liệu nhanh ngay cả khi đối mặt với dữ liệu lớn. Ngoài ra, hoạt động phân tích nhiều lần quét tự động giúp đơn giản hóa các tác vụ lặp đi lặp lại, tăng tốc độ và tiện lợi.

Hoạt động dễ dàng hơn

Việc thu thập dữ liệu diễn ra trong phần mềm Vision64 của Bruker, có giao diện người dùng đồ họa đơn giản kết hợp kiến trúc thông minh, quy trình làm việc trực quan và tự động hóa tùy chỉnh người dùng phong phú. Dektak Pro cải thiện hơn nữa trải nghiệm thu thập dữ liệu, thể hiện rõ trong:

● Biến dạng quang học nhỏ hơn cho phép toàn bộ trường nhìn tập trung rõ ràng, thuận tiện và nhanh chóng xác định vị trí kiểm tra quan tâm

● Đầu đo duy nhất có thể bao gồm chiều cao bước từ 1 nm đến 1 mm và tải từ 1 đến 15 mg (thấp tới 0,03 mg ở chế độ N-Lite+) mà không cần hiệu chuẩn lại

● Giao diện người dùng đồ họa đơn giản cho người vận hành để tự động hóa cài đặt đo lường và đơn giản hóa hoạt động

Mở rộng khả năng phân tích của bạn

Trình phân tích dữ liệu trong Vision64 giúp phân tích mạnh mẽ và dễ dàng hơn với khả năng lọc dữ liệu, tự động san lấp mặt bằng, phát hiện bước tự động và khả năng thu hồi.

• Chiều cao bước

Thuật toán chiều cao bước mới mạnh mẽ của Dektak Pro cung cấp kết quả đáng tin cậy và toàn diện cho một loạt các phép đo đường viền bề mặt phức tạp. Chương trình phân tích tự động của nó cũng có thể giảm thiểu tác động của người dùng đối với tính toán chiều cao bậc thang, cải thiện tính nhất quán và khách quan trong việc giải thích dữ liệu.

• Độ nhám bề mặt và gợn sóng

Dektak Pro cung cấp một tỷ lệ giá cao và giải pháp thân thiện với người dùng để định lượng độ nhám bề mặt, kết cấu và độ gợn sóng với độ chính xác cao. Nhiều thông số kỹ thuật đầu dò, lực đầu dò do người dùng xác định (1-15 mg, có thể thấp tới 0,03 mg với N-Lite+) và phạm vi đo dọc lên tới 1 mm làm cho phép đo trên nhiều bề mặt khác nhau.

• Đo căng thẳng 2D

Với Dektak Pro, người dùng có quyền kiểm soát mạnh mẽ trong phân tích ứng suất 2D. Các phép đo căng thẳng lặp lại, chính xác hơn có thể đạt được bằng cách loại bỏ và phù hợp với ranh giới của các điểm bất thường do người dùng xác định.

• Bản đồ cong vênh wafer và đo ứng suất 3D

Đánh giá chính xác biến dạng do căng thẳng màng là rất quan trọng để phát triển các quy trình có thể kiểm soát và chuẩn bị các thiết bị chất lượng cao. Dektak Pro đo chính xác ứng suất màng có thể gây biến dạng, nứt và bong tróc giữa các lớp.

Môi trường ứng dụng toàn diện

Đáp ứng nhu cầu R&D, phát triển quy trình và đảm bảo chất lượng/kiểm soát chất lượng (QA/QC) hiện tại và tương lai, Dektak Pro phù hợp với nhiều ứng dụng công nghiệp và nghiên cứu bao gồm:

• Vi điện tử

Giám sát quá trình lắng đọng và khắc

Đo chiều cao thiết bị và cảm biến

Đánh giá độ sâu rãnh

• Phim và lớp phủ

Xác minh lớp phủ UV/cứng trên kính

Tối ưu hóa lớp phủ trang trí trên vòi/phụ kiện

Phân tích độ dày sơn hoặc mực

• Khoa học đời sống

Phân tích độ dày của vật liệu sinh học

Đánh giá hình dạng bề mặt của cảm biến sinh học

Mô tả kênh microfluid