_
Brook Dektak loạt bước/thăm dò loại hồ sơ

_Brook Dektak loạt bước/thăm dò loại hồ sơ, thích hợp cho đo bề mặt nano, phân tích hình dạng bề mặt và nhiều lĩnh vực khác, với hơn 50 năm nghiên cứu và phát triển quá trình, công nghệ trưởng thành và hiệu suất đáng tin cậy.
Thiết bị có thể đạt được độ lặp lại tuyệt vời của 4Å (0,4nm) và tốc độ quét nhanh, cung cấp hỗ trợ cho các ngành công nghiệp như công nghệ vi điện tử, chất bán dẫn, màn hình cảm ứng, năng lượng mặt trời, đèn LED có độ sáng cao, khoa học y tế và vật liệu, màng và lớp phủ, ứng dụng khoa học đời sống và các ngành công nghiệp khác để đạt được công nghệ đo hình dạng bề mặt nano.
Thiết bị bước thế hệ mới của Brook - Dektak Pro

Dektak Pro ™ Với tính linh hoạt của nó, sự tiện lợi của việc sử dụng và độ chính xác chính xác được đánh giá cao về độ dày màng, chiều cao bước, ứng suất, độ nhám bề mặt và các phép đo cong vênh wafer. Thế hệ thứ 11 của Dektak ® Hệ thống, với sự lặp lại tuyệt vời của 4Å và cung cấp tùy chọn nền tảng 200mm, có thể cung cấp các phân tích khác nhau về hình dạng bề mặt của vật liệu trong nghiên cứu khoa học và công nghiệp. Khi nói đến đo bề mặt, Dektak Pro là lý tưởng cho các ứng dụng công nghệ vi điện tử, màng và lớp phủ và khoa học đời sống.
Hiệu suất mạnh mẽ và khả năng lặp lại
Với độ phân giải mạnh mẽ, ổn định, mạnh mẽ và độ bền, Dektak Pro đảm bảo kết quả chất lượng đáng tin cậy trong nhiều năm và thậm chí nhiều thập kỷ tới. Các mô hình mới thừa hưởng sự đổi mới trên nền tảng Dektak, cung cấp độ phân giải cao hơn, tiếng ồn thấp hơn và thay thế đầu dò thuận tiện hơn, tất cả đều quan trọng để tối ưu hóa độ lặp lại và độ chính xác của hệ thống.
Trong môi trường thích hợp, Dektak Pro thậm chí có thể đo chiều cao bước 1 nanomet và đạt được độ lặp lại vượt trội so với 4Å theo tiêu chuẩn chiều cao bước 1 micron.
Hiệu suất thể hiện trong chi tiết
Thiết kế vòm đơn của Dektak Pro có hiệu quả làm giảm độ nhạy cảm với các điều kiện môi trường bất lợi như tiếng ồn và rung lắc trong khi vẫn phù hợp với thử nghiệm mẫu kích thước lớn. Thế hệ mới của các ứng dụng công nghệ điện tử thông minh giảm thiểu sự thay đổi nhiệt độ và tiếng ồn điện tử, do đó giảm thiểu lỗi và độ không chắc chắn trong các phép đo có độ chính xác cao.
Cảm biến quán tính thấp (LIS 3) cho phép hệ thống nhanh chóng thích ứng với những thay đổi đột ngột về hình thái bề mặt, duy trì độ chính xác và phản ứng trong các cảnh đo động. Công nghệ thay thế đầu dò loại bỏ sự sai lệch và nhu cầu hiệu chuẩn lại hệ thống bằng cách tự sắp xếp kẹp đầu dò, dễ dàng hoàn thành việc thay thế đầu dò và mất ít hơn một phút.
Nhận kết quả nhanh
Dektak Pro sử dụng công nghệ nền tảng quét ổ đĩa trực tiếp, công nghệ nền tảng quét tiên tiến này làm giảm đáng kể thời gian đo mà không ảnh hưởng đến độ phân giải và đáy nhiễu, do đó tăng tốc độ thu được kết quả từ hình dạng 3D hoặc quét đường viền dài trong khi duy trì chất lượng dữ liệu tuyệt vời và độ lặp lại.
Vision64 ® Phần mềm sử dụng công nghệ xử lý song song 64 bit cho phép xử lý dữ liệu nhanh ngay cả khi đối mặt với dữ liệu lớn. Ngoài ra, hoạt động phân tích nhiều lần quét tự động giúp đơn giản hóa các tác vụ lặp đi lặp lại, tăng tốc độ và tiện lợi.
Bước đáng tin cậy cổ điển - Dektak XT

Brook DektakXT Probe Profiler (Step Meter) có thiết kế máy tính để bàn mang tính cách mạng kết hợp với sự trưởng thànhCông nghệ và thiết kế đã thực hiện sự thống nhất về tính năng cao, tính dễ sử dụng cao và tỷ lệ giá cao, từ nghiên cứu phát triển đến kiểm soát chất lượng đều có kiểm soát quá trình tốt hơn.
Tính năng thiết bị:
- Hiệu suất mạnh mẽ với khả năng tái tạo cao của các bước dưới 4 Å
- Thiết kế Single-arch (kiểu vòm đơn) mang lại sự ổn định quét đột phá
- Nâng cấp "thiết bị điện tử thông minh" để cải thiện độ chính xác và ổn định kiểm tra
- Cấu hình phần cứng được tối ưu hóa giúp giảm 40% thời gian thu thập dữ liệu
- Phần mềm xử lý dữ liệu đồng bộ 64-bit, Vision64 cho phép phân tích dữ liệu nhanh hơn 10 lần
- Giao diện hoạt động người dùng Vision64 trực quan, dễ sử dụng hơn
- Hệ thống hiệu chuẩn tự động đầu kim cho phép người dùng dễ dàng thay thế đầu dò kim
- Một loạt các mô hình thăm dò
- Thiết kế cảm biến đơn
- Đảm bảo kiểm tra thông lượng cao
Hệ thống Profile Type Profile/Step Meter -XTL của Dektak

Dektak XTL Probe Profiler System (Step Meter System) là một hệ thống Profiler Profiler được thiết kế cho các ứng dụng như sản xuất wafer và panel lớn, có thể chứa các mẫu lên đến 350mm x 350mm với hiệu suất quét chính xác cao và khả năng lặp lại và tái tạo tuyệt vời.
Thiết bị sử dụng cách ly rung không khí và thiết kế trạm làm việc khép kín hoàn toàn, với cửa khóa liên động dễ sử dụng, có thể được sử dụng trong môi trường sản xuất đòi hỏi khắt khe. Kiến trúc camera kép để tăng cường nhận thức không gian. Mức độ tự động hóa cao có thể tối đa hóa thông lượng kiểm tra.
Tính năng sản phẩm:
- Hiệu suất mạnh mẽ của máy đo bước Dektak Series
- Kiến trúc vòm đơn, hệ thống cách ly rung tích hợp và cửa lồng vào nhau lớn
- Lớn hơn và hỗ trợ bảng mẫu XY mã hóa chính xác cao
- Hệ thống điều khiển camera kép
- Phân tích thuận tiện và thu thập dữ liệu
- N-Lite lực thấp với công nghệ cảm ứng mềm
- Thiết lập và vận hành tự động đáng tin cậy
- Phần mềm phân tích nâng cao
- Hệ thống hiệu chuẩn tự động đầu kim cho phép người dùng dễ dàng thay thế đầu dò kim
- Một loạt các mô hình thăm dò