- Thông tin E-mail
- Điện thoại
-
Địa chỉ
Phòng 707, số 599 đường Xinling, quận Xuhui, Thượng Hải
Danh mục sản phẩm
Thượng Hải Natten Instrument Co, Ltd
Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử Coating Machine
Có thể đàm phánCập nhật vào05/06
- Mô hình
- Thiên nhiên của nhà sản xuất
- Nhà sản xuất
- Danh mục sản phẩm
- Nơi xuất xứ
Tổng quan
Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử Máy mạ $r$n Nền tảng lắng đọng nghiên cứu khoa học kinh tế $r$n Ổn định phim, đồng nhất và đáng tin cậy, nghiên cứu định hướng vật liệu $r$n Thuận tiện, ổn định và tái tạo cao
Chi tiết sản phẩm
Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử Coating Machine
Ý tưởng thiết kế
SE series có thể thực hiện các quy trình Thermal-ALD, PEALD và ALA.
Sê-ri SE có khả năng phục hồi cao, nhưng hiệu suất và sự ổn định của nó không bị hy sinh.
3. Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử được thiết kế với vị trí sản phẩm thuận tiện, ổn định và tái tạo cao.
Tính năng thiết kế
1. Hệ thống nhập khẩu trước mô-đun dễ bảo trì, sửa chữa và mở rộng lên đến 4 nhóm ổ đĩa trước và có thể sử dụng ổ đĩa trước áp suất hơi thấp; Phân luồng để tránh tắc nghẽn đường ống và vấn đề bụi
2. Tỷ lệ rò rỉ thấp Thiết kế đặc biệt, có thể loại trừ nguồn ô nhiễm liều thấp ảnh hưởng đến kết quả quá trình sản xuất
Đáp ứng hầu hết các yêu cầu quy trình vật liệu hiện tại: Oxide or nitride of Al, Si, Ti, Zr, Hf, etc..Metal (TBD)
Thiết kế nguồn plasma đặc biệt (Remote Plasma) có thể tăng GPC 6% (so với ICP)
6. Thiết kế đầu vào đặc biệt Cải thiện tính đồng nhất (U%<2%) Thiết kế đặc biệt cho vấn đề dư lượng góc chết
Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử Coating Machine
Sản phẩm tương tự Khuyến nghị