Phòng thí nghiệm Thiên Tân bố trí đường khí tinh khiết cao

Có thể đàm phánCập nhật vào05/19

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Hệ thống đường ống dẫn khí có độ tinh khiết cao được bố trí khác với đường ống dẫn khí thông thường. Nói chung, yêu cầu đường ống không quá dài, không có góc chết, như "ống mù" không dễ thổi sạch. Các đầu xả và đầu lấy mẫu cần thiết phải được cung cấp ở cuối của ống chính hoặc ống nhánh. Trong một số người dùng sử dụng không liên tục, hãy để một lượng nhỏ khí được xả liên tục ở cuối đường ống để khí trong đường ống sẽ chảy bình thường, tránh "vùng chết". Theo yêu cầu chất lượng của khí quá trình, thiết bị làm sạch thiết bị đầu cuối nên được thiết lập khi cần thiết. Nói chung, van điều khiển, bộ lọc, thiết bị giảm áp, đồng hồ đo áp suất, đồng hồ đo lưu lượng, dụng cụ phân tích trực tuyến, v.v.

Chi tiết sản phẩm

Phòng thí nghiệm Thiên Tân bố trí đường khí tinh khiết cao

Đường ống dẫn khí có độ tinh khiết cao và vật liệu phụ trợ đường ống: Đường ống dẫn khí có độ tinh khiết cao phải được sử dụng với chất lượng đường ống tương ứng theo các yêu cầu khác nhau của quá trình về độ tinh khiết khí, hàm lượng tạp chất cho phép, hàm lượng hạt, v.v. Ví dụ, ngành công nghiệp bán dẫn không chỉ cần môi trường sản xuất sạch mà còn có các yêu cầu cụ thể và nghiêm ngặt đối với các loại khí có độ tinh khiết cao cần thiết trong quá trình sản xuất do quy trình sản xuất phức tạp và xử lý tốt. Từ công nghệ micron đến công nghệ submicron và submicron sâu (dưới 0,35um), các yêu cầu về hàm lượng tạp chất và độ ẩm trong khí là rất nghiêm ngặt, và 10-6 (lớp ppm) không thể đáp ứng các yêu cầu. Cần đạt 10-9 (cấp ppb) hoặc thậm chí 10-12 (cấp ppt), kích thước hạt bụi cần được kiểm soát ở 0,05-0,01 μm. Do đó, các đặc tính vật liệu đường ống của đường ống vận chuyển phải đáp ứng các yêu cầu về khí có độ tinh khiết cao và siêu tinh khiết.

Đặc tính của vật liệu đường ống Đối với đường ống vận chuyển khí có độ tinh khiết cao, các đặc tính chính của vật liệu đường ống ảnh hưởng đến chất lượng khí là khả năng thấm khí, tốc độ thoát khí, hấp phụ, độ nhám bề mặt, chống mài mòn và chống ăn mòn.

Yêu cầu lắp đặt đường ống cho hệ thống cấp khí

Đường ống phải phù hợp với yêu cầu thiết kế, khi thiết kế không có yêu cầu, đường ống khí khô phải được lắp đặt theo chiều ngang; Đường ống cung cấp độ ẩm phải được lắp đặt với độ dốc không nhỏ hơn 0,003 và độ dốc phải hướng về bộ thu ngưng tụ.

Ống được kết nối bằng hàn, hàn hồ quang argon vonfram được đặt dưới đáy và hàn hồ quang thủ công được bao phủ. Hàn ống thép không gỉ hoặc hàn điểm nên có biện pháp bảo vệ đầy argon

Đường ống dẫn khí và thiết bị, van và các phụ kiện khác phải được kết nối bằng mặt bích hoặc ren. Đóng gói cho khớp nối ren phải là màng PTFE

Khi đường ống dẫn khí đi qua phòng sạch, phần tiếp xúc của miếng đệm mặt bích hoặc chất độn ren phải được làm sạch.

Khi ống dẫn khí sử dụng ống thép liền mạch thụ động khử gỉ hoặc tẩy rửa bằng cát, phải áp dụng phương pháp lắp đặt tập trung, việc lắp đặt phải được kết hợp trong vòng 48 giờ, bảo vệ nitơ, áp suất làm đầy không nhỏ hơn 0,2 Mpa

Đối với đường ống dẫn khí có yêu cầu nối đất, dây vá dẫn điện phải được hàn giữa các mặt bích. Phần dây dẫn và chiều dài mối hàn phải phù hợp với yêu cầu thiết kế. Các mối hàn phải chắc chắn và đáng tin cậy.

Phòng thí nghiệm Thiên Tân bố trí đường khí tinh khiết cao

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị