Máy phủ lớp phủ bay hơi nhỏ loại bàn, có thể cung cấp dòng mạ lớn 100A, nhiệt độ bay hơi tối đa có thể đạt 1800 ℃, có thể đáp ứng tất cả các loại kim loại phổ biến hấp mạ và một phần phi kim loại hấp mạ. Buồng chân không được làm bằng thép không gỉ, và nhà máy đã trải qua quá trình khử khí. Phối hợp với bộ bơm phân tử có thể đạt được chân không giới hạn 5x10-5Pa, có thể đáp ứng phần lớn môi trường chân không cần thiết cho sự bay hơi của vật liệu. Buồng chân không sử dụng phương pháp mở cửa phía trước, thuận tiện cho việc lấy mẫu và lấy mẫu. Buồng được cấu hình với cửa sổ quan sát thích ứng với vách ngăn. Nó được sử dụng để quan sát quá trình mạ. Vách ngăn có thể ngăn chặn hiệu quả cửa sổ quan sát bị ô nhiễm bởi vật liệu màng.