Chọn cảm biến độ ẩm trong môi trường áp suất âm là một vấn đề chuyên môn đòi hỏi phải xem xét toàn diện các thông số kỹ thuật và điều kiện ứng dụng thực tế. Môi trường áp suất âm (áp suất thấp hơn áp suất bình thường) đặt ra những thách thức độc đáo đối với việc đo độ ẩm, và ưu tiên đánh giá các điểm sau đây khi chọn cảm biến:

　　1. Khả năng tương thích áp suất

Nguyên tắc cảm biến có bị ảnh hưởng bởi áp suất không? Cảm biến cho một số nguyên tắc, chẳng hạn như polymer điện dung, có hằng số điện môi có thể thay đổi theo áp suất, dẫn đến việc đọc trôi.

Tính toàn vẹn cấu trúc: Gói cảm biến và đầu dò phải chịu được chênh lệch áp suất và ngăn ngừa biến dạng, rò rỉ hoặc vỡ. Phạm vi áp suất làm việc định mức của nó (bao gồm cả chân không) cần được xác nhận.

　　2. Chống ô nhiễm và khả năng tương thích thanh lọc

Môi trường áp suất âm (ví dụ: phòng sạch, phòng thí nghiệm an toàn sinh học, phòng xử lý chất bán dẫn) thường được sử dụng để ngăn chặn sự rò rỉ chất gây ô nhiễm, nhưng có thể có khí hóa học bên trong, vật chất dạng hạt hoặc yêu cầu khử trùng thường xuyên (ví dụ: nhiệt độ cao và áp suất cao, ethylene oxide VHP).

Cảm biến cần có khả năng chống ô nhiễm, chống ăn mòn hóa học, có thể làm sạch hoặc chịu được chu trình khử trùng.

　　3. Phương pháp lấy mẫu --- Cài đặt tại chỗ so với lấy mẫu bỏ qua:

Loại tại chỗ: gắn trực tiếp trên tường buồng áp suất âm/ống. Cần đảm bảo độ kín được lắp đặt và cảm biến có thể thích nghi với trạng thái luồng không khí.

Lấy mẫu bypass: dẫn khí ra khỏi cảm biến bằng đường ống. Lưu ý: Đường ống lấy mẫu có thể gây ra lỗi đo lường do chênh lệch áp suất (ví dụ như sự xâm nhập của không khí xung quanh) và đảm bảo tính tương thích của bơm lấy mẫu. Điều quan trọng là duy trì sự cân bằng áp suất của vòng lấy mẫu với môi trường chính.

　　4. Độ chính xác và thời gian đáp ứng

Trong các hệ thống áp suất âm động, thời gian đáp ứng nhanh là rất quan trọng để kiểm soát quá trình.

Xác định độ chính xác mong muốn (ví dụ: ± 1,5% RH) và phạm vi đo (ví dụ: 0-100% RH).

　　5. Tín hiệu đầu ra và sự tiện lợi tích hợp

Xem xét khả năng tương thích với các hệ thống điều khiển hiện có (PLC, SCADA): đầu ra analog (4-20mA, 0-10V) hoặc đầu ra kỹ thuật số (RS485, I2C, Ethernet).

　　So sánh các loại công nghệ cảm biến độ ẩm được đề xuất: