Thách thức ngành

Tính nhất quán trong sản xuất nước siêu tinh khiết (UPW) là rất quan trọng đối với sản xuất vi điện tử và giúp bảo vệ chất lượng sản phẩm. Ngoài việc giám sát nước siêu tinh khiết cơ bản, các nhà máy vi điện tử cũng phải đối mặt với những thách thức về cách phản ứng nhanh chóng với kết quả lệch xu hướng và tiến hành xử lý sự cố và kiểm soát quy trình hiệu quả. Các lĩnh vực quan tâm khác bao gồm đảm bảo độ tinh khiết của hóa chất để cải thiện hiệu suất quy trình và sản xuất hàng loạt, cũng như giám sát nước thải và tái sử dụng.

Các nhà sản xuất vi điện tử gặp phải một loạt các chất ô nhiễm hữu cơ trong sản xuất và trải qua nhiều thách thức, bao gồm:

　　●Nồng độ ppm thấp trong nước cấp và hóa chất xử lý có độ tinh khiết cao

　　●Nồng độ ppt trước khi đánh bóng cuối cùng

　　●Ma trận mẫu phức tạp trong các ứng dụng phục hồi nước và nước thải

　　●Giám sát nhu cầu chính của các hạt có hại như silicone

　　giải pháp

Với Sievers Total Organic Carbon (TOC) Analyzer và Ultra Pure Water (UPW) Boron Analyzer, Veolia có thể cung cấp các giải pháp phân tích phù hợp với từng bước của quy trình sản xuất vi điện tử. Với phạm vi phân tích rộng và tính linh hoạt của các ứng dụng, máy phân tích TOC Sievers có thể được sử dụng cho nước siêu tinh khiết, độ tinh khiết của hóa chất quá trình, tái sử dụng nước và giám sát xử lý nước thải. Vì boron bị rò rỉ ra khỏi lớp nhựa trước silica, máy phân tích boron nước siêu tinh khiết Sievers cho phép kiểm soát silica và quản lý lớp nhựa bằng cách phát hiện nồng độ boron tăng.

　　Lựa chọn giám sát toàn diện, linh hoạt

Có hai kỹ thuật phát hiện thường được sử dụng để theo dõi TOC trong các ứng dụng vi điện tử nồng độ thấp: độ dẫn màng (Membrane Conductometric) và độ dẫn trực tiếp (Direct Conductometric). Các sản phẩm của Sievers bao gồm cả hai công nghệ, ngoài việc cung cấp các phương pháp oxy hóa hóa học ướt phù hợp với các ma trận phức tạp hơn như hóa chất quá trình và nước thải.

Chúng tôi có thể cung cấp các công cụ và sản phẩm sau:

　　●Máy phân tích TOC Sievers M9e M500e 500 RLe sử dụng công nghệ phát hiện độ dẫn màng Sievers

◆ Công nghệ dẫn điện màng Sievers loại bỏ dương tính giả và âm tính giả do các chất hữu cơ halogen và amin có trong hầu hết các hệ thống nước siêu tinh khiết

　　●Sievers CheckPointe TOC Sensor với công nghệ phát hiện độ dẫn trực tiếp

　　 ◆Cung cấp một lựa chọn kinh tế phù hợp với các điểm giám sát nước siêu tinh khiết không quan trọng

　　 ◆Công cụ để chẩn đoán nhanh và khắc phục sự cố

　　●Máy phân tích TOC Sievers InnovOx sử dụng phát hiện hồng ngoại không phân tán (NDIR) và công nghệ oxy hóa nước siêu tới hạn (SCWO)

　　 ◆Dấu vết của chất hữu cơ trong axit đậm đặc, kiềm và hóa chất tinh khiết có thể được phát hiện chính xác và đáng tin cậy

　　 ◆Có thể giám sát nước thải và nước muối lên đến 30%

　Yêu cầu ứng dụng và giải pháp của Sievers

　　Giám sát hệ thống cấp nước, nước siêu tinh khiết và nước trở lại

Máy phân tích TOC di động và trực tuyến Sievers M9e được thiết kế cho các hệ thống và ứng dụng nước phức tạp nhất. Máy phân tích này có phạm vi phân tích từ 0,03 ppb đến 50 ppm và sử dụng công nghệ độ dẫn màng để phát hiện chính xác nồng độ TOC của nước cấp hệ thống, nước thẩm thấu ngược và nước sản xuất cuối cùng. Với chế độ Turbo tùy chọn và chỉ mất 4 giây để phân tích, SieversM9e Analyzer là công cụ khắc phục sự cố lý tưởng để phát hiện nước trở lại.

Sievers M9e có thể:

　　●Kết hợp giữa Instrument và Instrument

　　●Ổn định phát hiện nồng độ thấp trong các ứng dụng nước siêu tinh khiết TOC thấp

　　●Các hoạt động tự động như hiệu chuẩn, xác minh và phân tích dữ liệu

　　●Thời gian ổn định hiệu chuẩn 12 tháng

　　●Chức năng Zero tự động tiên tiến phù hợp với độ chính xác và độ chính xác của lớp siêu tinh khiết

　Hóa chất và độ tinh khiết của nước thải

Để đạt được hiệu suất quy trình và tối ưu hóa sản xuất hàng loạt, điều quan trọng là phải kiểm soát TOC trong các hóa chất quy trình như hydro peroxide, natri hydroxit, amoni hydroxit, axit sulfuric và các hóa chất khắc/mạ khác. Máy phân tích TOC Sievers InnovOx rất thích hợp cho loại giám sát này và giám sát chất hữu cơ trong nước thải và nước hồi lưu.

Sievers InnovOx có thể giúp:

● Nhà máy đưa ra quyết định tuân thủ và xử lý thông minh hơn

　　●Có thể cung cấp phát hiện carbon trực tiếp theo thời gian thực, trái ngược với phát hiện nhu cầu oxy gián tiếp

　　●Xử lý ma trận phức tạp bằng công nghệ oxy hóa nước siêu tới hạn (SCWO)

Máy phân tích Sievers và ứng dụng của nó trong sản xuất vi điện tử

　　Tài liệu tham khảo

1.Godec, Richard D., "Theo dõi và kiểm soát ô nhiễm nitơ hữu cơ UPW để cải thiện kiểm soát quy trình chụp ảnh đắm."Được trình bày tại Hội nghị Nước ULTRAPURE, Portland, OR, tháng 11 năm 2011, Tall Oaks Publishing, Inc.

Godec, Richard D., "So sánh hiệu suất của máy phân tích TOC nước siêu tinh khiết bằng cách sử dụng thiết bị bổ sung tiêu chuẩn tự động. Được xuất bản và bản quyền bởi Hội nghị Nước tinh khiết và hóa chất bán dẫn, 2000 Proceedings.

Dunn R., Kỹ thuật phân tích mới thúc đẩy loại bỏ silica trong hệ thống thức ăn, hơi nước và ngưng tụ.