Hợp chất bán dẫn MOCVD Thiết bị mở rộng Giải pháp giám sát trực tuyến nồng độ khí
Kim loại hữu cơ hóa học Vapor Deposition (MOCVD) là một quá trình cốt lõi để chuẩn bị các chất bán dẫn nhóm III-V như gallium nitride GaN, chìa khóa là kiểm soát chính xác nồng độ, tốc độ tăng trưởng và khả năng lặp lại của quá trình của các khí tiền chất. Để đạt được tối ưu hóa quá trình, cần phải theo dõi thời gian thực nồng độ tiền chất và điều chỉnh lưu lượng khí, nhiệt độ, áp suất và các thông số khác thông qua phản hồi để tạo thành điều khiển vòng kín. Quadrant Instruments, với tư cách là nhà sản xuất cảm biến khí hồng ngoại, đã giới thiệu cảm biến khí hồng ngoại Gasboard-2062 được thiết kế đặc biệt cho MOCVD, cung cấp giám sát nồng độ tiền phương chính xác và thời gian thực cao.