Máy quang phổ plasma kết hợp tự cảm(ICP-OES) là công cụ phân tích nguyên tố vô cơ sử dụng plasma kết hợp tự cảm làm nguồn kích thích, có thể xác định nhiều nguyên tố kim loại và phi kim loại cùng một lúc, phù hợp với phân tích nồng độ từ hằng số đến dấu vết, ứng dụng bao gồm nhiều lĩnh vực nghiên cứu khoa học và công nghiệp.

　　Máy quang phổ plasma kết hợp tự cảmNguyên lý làm việc như sau:

Dòng điện tần số cao được tạo ra bởi bộ dao động tần số cao được kết nối với một cuộn dây đồng ở đầu trên của ống tạo plasma thông qua hệ thống ghép nối. Ống plasma làm bằng thạch anh được trang bị ba argon đồng trục chảy qua các kênh bên trong:

Khí làm mát (Ar): Bao quanh plasma thông qua các kênh bên ngoài và trung gian, ổn định ngọn đuốc plasma và làm mát các bức tường ống thạch anh, ngăn không cho các bức tường ống bị nóng chảy.

Khí làm việc (Ar): Được giới thiệu bởi ống thạch anh trung tâm, thiết bị xả điện áp cao được khởi động để ion hóa nó. Khi khí ion hóa đi qua các cuộn cảm ứng tần số cao, năng lượng nhiệt khổng lồ và từ trường biến đổi chéo do cuộn dây tạo ra khiến các electron, ion và các nguyên tử trạng thái cơ bản va chạm nhiều lần, tạo thành vùng ngọn đuốc plasma có nhiệt độ lên tới 6000-10000 ℃.

Sau khi mẫu được xử lý để tạo thành dung dịch, nó được chuyển đổi thành dung môi đầy đủ bằng thiết bị siêu phun, được dẫn vào ống từ đáy và phun vào ngọn đuốc plasma qua ống thạch anh trục. Khi aerosol mẫu đi vào ngọn lửa plasma, phần lớn ngay lập tức phân hủy thành các nguyên tử và ion ở trạng thái kích thích. Khi các hạt trạng thái kích thích này trở về trạng thái cơ bản, phổ của các bước sóng cụ thể được giải phóng. Loại và nội dung của các nguyên tố trong mẫu có thể được xác định bằng cách xác định các vạch phổ đặc trưng và cường độ của từng nguyên tố và so sánh với dung dịch tiêu chuẩn.