Trong sản xuất chất bán dẫn, sơn chân không, thí nghiệm khoa học và các lĩnh vực có độ chính xác cao khác, nhóm bơm phân tử là thiết bị cốt lõi để có được môi trường chân không cao, hoạt động ổn định của nó trực tiếp quyết định chất lượng sản xuất và kết quả thí nghiệm. Tuy nhiên, do môi trường làm việc, thời gian sử dụng, đặc điểm kỹ thuật hoạt động và các yếu tố khác, nhóm bơm phân tử dễ bị lỗi khác nhau, chẩn đoán và loại trừ kịp thời và chính xác là chìa khóa để đảm bảo hiệu quả của thiết bị.
Một trong những thất bại phổ biến nhất của bộ bơm phân tử là độ chân không không đạt tiêu chuẩn, được biểu hiện bằng cách máy đo chân không hiển thị giá trị luôn cao hơn giá trị mục tiêu và không thể đạt được trạng thái chân không cao theo yêu cầu của quy trình. Nguyên nhân chính của vấn đề này là ba điểm: một là con dấu bị lão hóa hoặc hư hỏng, chẳng hạn như vòng đệm mặt bích bị nứt do nhiệt độ cao và nhiệt độ thấp luân phiên trong thời gian dài, dẫn đến rò rỉ không khí; Thứ hai, có một tắc nghẽn trong cửa hút khí hoặc đường ống, và sự tích tụ bụi và dư lượng công nghệ cản trở luồng không khí; Thứ ba, hiệu suất của máy bơm phân tử bị suy giảm, cánh quạt bị mòn hoặc tốc độ quay của động cơ không đủ. Khi chẩn đoán, bạn có thể sử dụng máy dò rò rỉ phổ khối helium để phát hiện bề mặt niêm phong trước, nếu phát hiện rò rỉ helium thì thay thế con dấu; Kiểm tra lại đường ống nạp, làm sạch tắc nghẽn bằng cách thổi hoặc tháo dỡ khí nén; Nếu hai mục đầu tiên không có gì bất thường, cần phát hiện tốc độ quay của động cơ và thay thế rôto hoặc động cơ nếu cần thiết.
Tiếng ồn và rung động bất thường cũng là sự cố tần số cao của nó, hoạt động tạo ra âm thanh chói tai hoặc rung động mạnh mẽ của cơ thể, không chỉ ảnh hưởng đến tuổi thọ của thiết bị, mà còn có thể làm hỏng các bộ phận liên quan. Nguồn gốc của sự cố chủ yếu là sự mất cân bằng cơ học, chẳng hạn như cân bằng động rôto bị phá hủy, ổ trục bị mòn hoặc bôi trơn không đầy đủ, cũng có thể là kết nối lỏng lẻo giữa bộ bơm và đế. Các bước chẩn đoán như sau: Đầu tiên dừng lại để kiểm tra bu lông kết nối, buộc chặt theo mô-men xoắn tiêu chuẩn bằng cờ lê mô-men xoắn; Thứ hai, tháo dỡ cơ thể bơm, quan sát xem bóng mang có trầy xước, mài mòn hay không, nếu có vấn đề thay thế ngay lập tức, và đổ đầy mỡ nhiệt độ cao đặc biệt; Nếu vòng bi bình thường, cần hiệu chuẩn cân bằng động cho rôto, đảm bảo trọng tâm ổn định khi xoay.
Ngoài ra, lỗi chuyến đi quá tải của động cơ cũng phổ biến hơn, thời gian chết đột ngột trong hoạt động của thiết bị và công tắc bảo vệ quá tải trong hộp phân phối bị ngắt kết nối. Sự cố này thường được gây ra bởi tải trọng quá lớn, chẳng hạn như cánh quạt bị kẹt bên trong khoang bơm, tản nhiệt động cơ kém dẫn đến nhiệt độ quá cao hoặc điện áp nguồn không ổn định. Trong quá trình kiểm tra, trước tiên cắt nguồn điện, xoay rôto bằng tay, nếu có catton thì tháo rời thân bơm để loại bỏ vật lạ; Kiểm tra xem quạt tản nhiệt của động cơ có bị hỏng hay không, kênh tản nhiệt có bị chặn hay không, kịp thời làm sạch hoặc thay thế các bộ phận; Đồng thời, điện áp nguồn được phát hiện bằng đồng hồ vạn năng để đảm bảo rằng nó nằm trong phạm vi điện áp định mức của thiết bị và thiết bị ổn định được thêm vào nếu cần thiết.
Việc chẩn đoán và khắc phục sự cố của nó cần tuân theo nguyên tắc "quan sát hiện tượng trước, phân tích nguyên nhân và xử lý chính xác cuối cùng", đồng thời thường xuyên thực hiện bảo trì phòng ngừa, chẳng hạn như làm sạch bề mặt niêm phong, kiểm tra trạng thái ổ trục, hiệu chuẩn các thông số động cơ, để giảm thiểu sự cố, đảm bảo hoạt động ổn định lâu dài của thiết bị, cung cấp hỗ trợ môi trường chân không đáng tin cậy cho sản xuất và thí nghiệm có độ chính xác cao.