I. Giới thiệu

Trong lĩnh vực công nghệ chân không hiện đại, bộ bơm phân tử được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn, nghiên cứu vật liệu, phân tích bề mặt, chuẩn bị thiết bị quang điện, sơn chân không và nhiều ngành công nghiệp khác do khả năng đạt được môi trường chân không cao và thậm chí siêu cao. Bài viết này kết hợp các thông số cụ thể của một mô hình bơm phân tử (chẳng hạn như chế độ điều khiển khởi động một phím, bơm phân tử TURBOVAC 90i, chân không giới hạn 10 ⁻Pa, tỷ lệ rò rỉ hệ thống 1 × 10 ⁻185 ⁰ Pa · m³/s, v.v.) từ các tính năng kỹ thuật, kịch bản ứng dụng điển hình và trường hợp sử dụng ba chiều để phân tích sâu.

---

II. Đặc điểm kỹ thuật của bộ bơm phân tử

Bộ bơm phân tử này có khả năng bơm chân không hiệu suất cao. Các thông số kỹ thuật chính như sau:

• Chế độ điều khiển: một phím để bắt đầu, hoạt động dễ dàng, giảm ngưỡng sử dụng

• Bơm phân tử: TURBOVAC 90i với tốc độ bơm 90 L/s cho nhu cầu chân không cao

• Bơm giai đoạn trước: Bơm dầu xoắn ốc lưỡng cực (Bơm khô xoáy nổi 1,2 m³/h tùy chọn)

• Tốc độ bơm trước: 2 m³/h

• Máy đo chân không composite: PTR90 (phạm vi đo từ khí quyển đến 5 × 10 ⁻Pa)

• Chân không giới hạn: 10 ⁻Pa

• Thông số kỹ thuật giao diện: KF40 (KF25, KF16 tùy chọn)

• Phương pháp làm mát: Làm mát bằng không khí, phù hợp với các môi trường phòng thí nghiệm khác nhau

• Tỷ lệ rò rỉ hệ thống: 1 × 10 ⁻185⁰ Pa · m³/s, ổn định và niêm phong tuyệt vời

• Nguồn điện: 220V 50Hz

• Khối lượng và trọng lượng: 400 × 340 × 260 mm, 18kg, tính di động tốt hơn

Những đặc điểm này làm cho nó lý tưởng cho nghiên cứu khoa học, công nghiệp, hỗ trợ thiết bị chân không cao.

---

III. Các kịch bản ứng dụng chính của bộ bơm phân tử

1. Sản xuất chất bán dẫn và vi điện tử

Các quy trình bán dẫn, chẳng hạn như lắng đọng (PVD, CVD), khắc ion, làm sạch bề mặt, v.v., tất cả đều yêu cầu môi trường chân không cao để tránh ô nhiễm hạt và nhiễu phản ứng hóa học.
Với mức chân không giới hạn 10 ⁻Pa, bộ bơm phân tử có thể cung cấp điều kiện chân không đáng tin cậy cho in thạch bản, lắng đọng màng và xử lý wafer.

Trường hợp sử dụng:
Một nhà máy wafer sử dụng bộ máy bơm phân tử này trong quá trình loại bỏ thạch cao, phù hợp với việc sử dụng khoang làm sạch tiếp xúc, nâng cao hiệu quả của quy trình bằng cách nhanh chóng làm trống và cải thiện độ sạch bề mặt wafer.

---

2. Khoa học vật liệu và phân tích bề mặt (XPS, AES, SIMS)

Công nghệ phân tích bề mặt có yêu cầu cao về độ chân không, nếu có quá nhiều khí dư trong khoang, nó sẽ ảnh hưởng đến phổ năng lượng điện tử, tín hiệu ion và độ nhạy phát hiện.

Các tính năng của bộ bơm phân tử này:

• Tốc độ bơm cao (90L/s)

• Tỷ lệ rò rỉ cực thấp (1 × 10 ⁻185⁰ Pa · m³/s)

• Chân không giới hạn lên đến 10 ⁻⁸ Pa

Lý tưởng cho việc sử dụng như một nguồn chân không độc lập cho thiết bị nghiên cứu vật liệu hoặc như một bộ bơm hỗ trợ.

Trường hợp sử dụng:
Một trường đại học vật liệu cao đẳng sử dụng bộ bơm phân tử này như một hệ thống chân không dự phòng cho XPS (X-ray quang phổ điện tử), để tiến hành hút chân không phụ trợ trong thời gian bảo trì thiết bị, đảm bảo tính ổn định và lặp lại của kết quả phân tích.

---

3. Phát triển thiết bị quang điện (OLED, laser, máy dò ánh sáng)

Quá trình chuẩn bị màng quang điện liên quan đến nhiều loại vật liệu nhạy cảm đòi hỏi môi trường ô nhiễm oxy thấp và nước thấp.

Bộ bơm phân tử này:

• Thiết kế làm mát bằng không khí, bền và ổn định

• Kích thước nhỏ để dễ dàng tích hợp với buồng hấp

• Khả năng thích ứng giao diện KF40 mạnh mẽ

Đặc biệt thích hợp cho thiết bị mạ hơi cấp phòng thí nghiệm và dây chuyền phát triển nguyên mẫu.

Trường hợp sử dụng:
Một tổ chức nghiên cứu trong việc phát triển một máy dò hồng ngoại mới, sử dụng bộ bơm phân tử này để hỗ trợ khoang hấp, đảm bảo rằng chân không khoang được duy trì ở mức 10 ⁻Pa trong quá trình lắng đọng màng, cải thiện tỷ lệ sản xuất hàng loạt của thiết bị.

---

4. Thiết bị hút chân không (lớp phủ cứng, lớp phủ quang học)

Trong quá trình mạ, nếu có quá nhiều khí trong khoang, nó sẽ dẫn đến giảm độ bám dính của lớp màng, oxy hóa nghiêm trọng và các vấn đề khác.

Bộ bơm phân tử dựa vào:

• Tốc độ bơm cao

• Ổn định không khí làm mát

• Nhanh chóng bắt đầu giai đoạn trước bơm
  Nó có thể rút ngắn đáng kể thời gian hút chân không và cải thiện hiệu quả của lớp phủ.

Trường hợp sử dụng:
Một nhà máy mạ quang học sử dụng bộ bơm phân tử để mạ quá trình bơm đáy của gương, thời gian rút ngắn 30% so với hệ thống ban đầu và hiệu quả tổng thể của dây chuyền sản xuất tăng 15%.

---

5. Hệ thống chân không cao phổ biến cho phòng thí nghiệm nghiên cứu khoa học

Áp dụng cho:

• Khối phổ kế (MS)

• Lò hút chân không

• Chùm ion phún xạ

• Thiết bị thí nghiệm Plasma

• Buồng mẫu thử nghiệm nhiệt độ thấp

Chức năng khởi động một chạm của nó với hiệu suất chân không vững chắc làm cho nó lý tưởng cho nhiều nghiên cứu liên ngành.

Trường hợp sử dụng:
Phòng thí nghiệm vật lý sử dụng bộ bơm phân tử này để xây dựng buồng thử nghiệm độc lập để đo điện vật liệu trong môi trường nhiệt độ thấp (LHe), với độ ổn định cao đảm bảo độ tin cậy chân không của các thí nghiệm kéo dài.

---

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

Thông qua những trường hợp này, chúng ta có thể thấy rằng bộ bơm phân tử này đặc biệt thích hợp để tích hợp vào các ứng dụng như thiết bị nghiên cứu khoa học, mô-đun quy trình bán dẫn, hệ thống hấp và mạ quang điện do kích thước nhỏ, tốc độ bơm cao, hoạt động đơn giản và ổn định chân không. Bất kể là dây chuyền sản xuất công nghiệp hay phòng thí nghiệm nghiên cứu, nó đều có thể cung cấp bảo đảm đáng tin cậy cho thí nghiệm và sản xuất với khả năng chân không ổn định.

---

V. Kết luận

Là thành phần cốt lõi của hệ thống chân không cao, hiệu suất của bộ bơm phân tử ảnh hưởng trực tiếp đến sự ổn định làm việc của thiết bị và độ chính xác của thử nghiệm. Với máy bơm phân tử TURBOVAC 90i, máy bơm giai đoạn trước ổn định cao, cấu trúc niêm phong tỷ lệ rò rỉ cực thấp và chế độ điều khiển khởi động một phím, mô hình bơm phân tử này kết hợp tính dễ sử dụng, tính di động và tính chuyên nghiệp. Nó có thể được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực bán dẫn, khoa học vật liệu, quang điện, sơn chân không và thí nghiệm nghiên cứu khoa học.

Nó không chỉ nâng cao hiệu quả hoạt động của hệ thống chân không cao, mà còn cung cấp nền tảng vững chắc cho nghiên cứu khoa học và đổi mới công nghiệp.