Bộ điều khiển chân không là thiết bị điều khiển được sử dụng để duy trì độ chân không trong một không gian cụ thể, bao gồm cảm biến áp suất, van điện từ và van và các thành phần khác. Nó được sử dụng rộng rãi trong các thí nghiệm trong phòng thí nghiệm, chưng cất cô đặc, đo lường môi trường phòng sạch và quy trình sản xuất công nghiệp.

1. Giám sát áp suất: Bộ điều khiển chân không phát hiện áp suất tuyệt đối của hệ thống trong thời gian thực thông qua cảm biến bán dẫn gốm/silicon có độ chính xác cao hoặc máy đo chân không. Các cảm biến này chuyển đổi tín hiệu áp suất vật lý thành tín hiệu điện, sau đó được xử lý kỹ thuật số bằng chip chuyển đổi AD 24 bit, đảm bảo đọc áp suất chính xác cao.

2. Xử lý dữ liệu và ra quyết định: Bộ điều khiển sử dụng phương pháp bình phương tối thiểu tám điểm để xử lý dữ liệu phi tuyến của cảm biến, nâng cao độ chính xác của phát hiện áp suất. Sau đó, bộ điều khiển so sánh áp suất đo thực với giá trị cài đặt, tạo ra các hướng dẫn điều chỉnh thông qua thuật toán PID AI và xuất ra bộ truyền động điều khiển tín hiệu DA 16 bit.

3. Phản ứng của bộ truyền động: Theo hướng dẫn của bộ điều khiển, van rò rỉ biến đổi cấp micron hoặc van kim điện đáp ứng nhanh (thời gian đáp ứng<50ms), độ lệch áp suất được điều chỉnh bằng cách điều chỉnh lưu lượng khí. Trong phần chân không thấp (1Pa~1000Pa), chủ yếu điều chỉnh độ mở của van kim nạp để duy trì cân bằng áp suất; Trong khi ở phần chân không cao (<1Pa), sau đó chuyển sang van kim xả để kiểm soát độ chân không.

4. Hoạt động vòng kín: Toàn bộ hệ thống tạo thành một vòng kín duy trì độ chân không đã đặt bằng cách cân bằng động lượng khí vào và ra. Ngoài ra, hệ thống còn có cơ chế bảo vệ an toàn đa cấp như bảo vệ quá áp, thiết kế dự phòng, đảm bảo có thể kịp thời cắt luồng không khí và ngăn chặn việc đổ ngược khí khi áp suất cao bất thường.

Thận trọng khi sử dụng bộ điều khiển chân không:

1. Vị trí lắp đặt: nên tránh xa rung động và nhiễu từ trường, đảm bảo dây điện chính xác của dây nguồn và dây tín hiệu, đồng thời chú ý chống thấm nước và bụi.

2. Yêu cầu kết nối: đảm bảo độ kín của giao diện để tránh rò rỉ khí; Chú ý đến độ kín của giao diện để không ảnh hưởng đến việc đo và kiểm soát độ chân không.

3. Hoạt động hiệu chuẩn: hiệu chuẩn được thực hiện thường xuyên, kết nối bộ điều khiển máy đo chân không với bảng tiêu chuẩn độ chân không, hiệu chuẩn theo các bài đọc của bảng tiêu chuẩn để đảm bảo độ chính xác của phép đo.

4. Hoạt động an toàn: tránh vượt quá khả năng của hệ thống để không gây nguy hiểm cho con người và thiết bị. Trong quá trình sử dụng, không được dùng bất kỳ ngoại lực nào va chạm vào phòng diệt hồ quang chân không, nghiêm cấm gõ, vỗ tay, khi di chuyển và bảo trì không được chịu lực.

5. Bảo trì hàng ngày: Thường xuyên làm sạch bề mặt và giao diện của bộ điều khiển máy đo chân không để đảm bảo độ kín của giao diện; Thường xuyên kiểm tra dây cáp điện và dây tín hiệu để đảm bảo độ chắc chắn của dây.