Độ chính xác đo của máy đo oxy dư bị ảnh hưởng bởi nhiều yếu tố. Hiệu suất cảm biến là yếu tố quan trọng, độ chính xác của các loại cảm biến khác nhau, và sự lão hóa của cảm biến, ô nhiễm sẽ làm giảm độ chính xác của phép đo. Về các yếu tố môi trường, sự thay đổi nhiệt độ, độ ẩm và áp suất có thể ảnh hưởng đến trạng thái của khí và hiệu suất hoạt động của cảm biến, chẳng hạn như nhiệt độ quá cao hoặc quá thấp sẽ làm cho tốc độ phản ứng hóa học của cảm biến điện hóa thay đổi, dẫn đến độ lệch đo lường; Độ ẩm lớn hơn có thể làm ẩm cảm biến, ảnh hưởng đến độ chính xác của phép đo. Lưu lượng khí cũng có thể ảnh hưởng đến kết quả đo, lưu lượng không ổn định hoặc không đáp ứng các yêu cầu của thiết bị, có thể dẫn đến phản ứng không đầy đủ hoặc quá mức của khí trong cảm biến, gây ra lỗi đo. Ngoài ra, trạng thái hiệu chuẩn của thiết bị, chiều dài của đường ống lấy mẫu và vật liệu vv cũng sẽ ảnh hưởng đến độ chính xác của phép đo, đường ống lấy mẫu quá dài hoặc độ hấp thụ vật liệu mạnh, có thể dẫn đến sự thay đổi thành phần khí, do đó ảnh hưởng đến kết quả đo.