Làm thế nào để thiết bị nước siêu tinh khiết bán dẫn đạt được chất lượng nước siêu tinh khiết?

Về chúng tôi

Qingdao Xinruide Environmental Protection Technology Co., Ltd

Thông tin E-mail
13310668118@163.com
Điện thoại
13310668118
Địa chỉ
Khu công nghiệp Thiên Cốc, quận Thành Dương, thành phố Thanh Đảo

Ngày:2025-08-08Đọc:3

Trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, nước siêu tinh khiết là nguyên liệu chính, độ tinh khiết của nó ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất và tỷ lệ sản phẩm tốt của chip. Thiết bị nước siêu tinh khiết bán dẫn đảm bảo chất lượng nước đạt tiêu chuẩn độ tinh khiết cực cao thông qua một loạt các quy trình công nghệ và phương tiện kỹ thuật phức tạp. Đây là các phương pháp thực hiện chính của nó:

　　I. Giai đoạn tiền xử lý

Tiền xử lý là bước đầu tiên trong việc chuẩn bị nước siêu tinh khiết, với mục đích chính là loại bỏ các chất rắn lơ lửng, vật chất hạt, vi sinh vật, chất hữu cơ và các ion một phần khỏi nước. Quá trình tiền xử lý thường bao gồm các liên kết sau:

1, Bể chứa nước thô và máy bơm nước thô: lưu trữ nước thô và cung cấp áp suất cung cấp nước ổn định.

2, Bộ lọc cát thạch anh: loại bỏ các hạt lơ lửng lớn trong nước bằng cách lọc vật lý.

3, bộ lọc than hoạt tính: hấp thụ các chất hữu cơ trong nước, clo và các tạp chất khác, làm giảm nhu cầu oxy hóa học của nước (COD).

4, làm mềm nước: sử dụng nhựa trao đổi ion để loại bỏ các ion cứng như canxi, magiê trong nước và ngăn chặn các thiết bị tiếp theo quy mô.

5, Bộ lọc an ninh: loại bỏ thêm các hạt nhỏ trong nước để đảm bảo chất lượng nước vào hệ thống tiếp theo.

半导体超纯水设备

　　II. Giai đoạn xử lý chính

Trong giai đoạn xử lý chính, thiết bị nước siêu tinh khiết sử dụng nhiều công nghệ xử lý nước tiên tiến để làm sạch hơn nữa chất lượng nước:

1, Công nghệ thẩm thấu ngược (RO): Tách các phân tử nước khỏi các tạp chất như muối hòa tan, chất hữu cơ, vi sinh vật dưới áp suất cao bằng màng bán thấm, tỷ lệ loại bỏ có thể đạt hơn 99%. Kỹ thuật này có thể làm giảm hiệu quả độ dẫn và tổng chất rắn hòa tan (TDS) của nước.

2, Công nghệ khử ion điện (EDI): Công nghệ EDI kết hợp nhựa trao đổi ion và công nghệ thẩm tách điện, sử dụng vai trò của điện trường để làm cho các ion trong nước di chuyển theo hướng và được hấp phụ vào nhựa, do đó loại bỏ thêm các ion trong nước. Hệ thống EDI có khả năng tăng điện trở suất của nước lên trên 15MΩ·cm.

3, nhựa trao đổi ion: Sau EDI, thường cũng sử dụng nhựa trao đổi ion để xử lý khử muối sâu, tiếp tục cải thiện độ tinh khiết của chất lượng nước. Nhựa trao đổi ion có khả năng hấp thụ một lượng nhỏ ion trong nước, cho phép điện trở sản xuất nước đạt 18MΩ · cm và thậm chí cao hơn.

　　III. Giai đoạn hoàn thiện

Giai đoạn hoàn thiện là để đảm bảo chất lượng nước đáp ứng các tiêu chuẩn độ tinh khiết cực cao cần thiết cho sản xuất chất bán dẫn và thường bao gồm các bước sau:

1. Máy trộn đánh bóng: Máy trộn đánh bóng là bước cuối cùng trong việc chuẩn bị nước siêu tinh khiết, tiếp tục loại bỏ các tạp chất vi lượng trong nước bằng nhựa trao đổi ion có độ tinh khiết cao, đảm bảo điện trở suất sản xuất nước đạt 18,2M Ω · cm.

2, UV khử trùng: Công nghệ khử trùng UV được sử dụng để tiêu diệt vi khuẩn và vi sinh vật trong nước, đảm bảo an toàn sinh học của chất lượng nước.

3, TOC loại bỏ: Carbon hữu cơ trong nước được loại bỏ bằng thiết bị đèn TOC-UV hoặc bộ lọc than hoạt tính để đảm bảo tổng hàm lượng carbon hữu cơ (TOC) trong chất lượng nước dưới 1 ppb.

4, Xử lý khử khí: Trong quá trình sản xuất nước siêu tinh khiết bán dẫn, việc loại bỏ oxy hòa tan và carbon dioxide là rất quan trọng. Thiết bị khử khí thường được lắp đặt sau EDI hoặc trước giường trộn được đánh bóng, sử dụng chế độ kết hợp chân không và thổi nitơ có độ tinh khiết cao để giảm oxy hòa tan trong nước xuống dưới 10 ppb hoặc thậm chí thấp hơn.

　　IV. Giám sát chất lượng nước và kiểm soát tự động hóa

Thiết bị nước siêu tinh khiết bán dẫn thường được trang bị hệ thống giám sát chất lượng nước tiên tiến và hệ thống điều khiển tự động. Các hệ thống này có thể theo dõi các thông số chất lượng nước trong thời gian thực, chẳng hạn như điện trở suất, TOC, giá trị pH, v.v., và tự động điều chỉnh trạng thái hoạt động của thiết bị theo kết quả giám sát để đảm bảo sự ổn định và độ tin cậy của chất lượng nước. Hệ thống điều khiển tự động cũng có thể nhận ra khởi động và dừng tự động của thiết bị, báo lỗi và giám sát từ xa, nâng cao hiệu quả hoạt động và mức độ quản lý của thiết bị.

Thông qua sự phối hợp của các quy trình đa cấp nói trên, thiết bị nước siêu tinh khiết bán dẫn có thể loại bỏ hiệu quả các tạp chất khác nhau trong nước, đảm bảo chất lượng nước đạt tiêu chuẩn độ tinh khiết cực cao và đáp ứng các yêu cầu khắt khe về chất lượng nước của sản xuất chất bán dẫn. Chất lượng nước có độ tinh khiết cao này rất quan trọng đối với quá trình làm sạch, khắc, khắc và các quy trình khác trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, có thể cải thiện hiệu suất của chip và tỷ lệ sản phẩm tốt một cách hiệu quả.

Bài viết cuối cùng:Nguyên tắc, lợi thế và ứng dụng của thiết bị khử trùng ozone

Bài viết tiếp theo:GMP Injection Water Equipment Các vấn đề thường gặp và giải pháp