Máy in thạch bản bán tự động là một thiết bị quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn và các lĩnh vực khác. Mặc dù ở một mức độ nhất định đã đạt được phơi sáng tự động, nhưng vẫn cần sự tham gia của con người vào một số hoạt động. Có những nhược điểm như hiệu quả sản xuất thấp, độ chính xác căn chỉnh hạn chế và tính đồng nhất kém của quy trình, cụ thể như sau:
Hiệu quả sản xuất thấp hơn: Máy in thạch bản bán tự động yêu cầu con người thực hiện các hoạt động như lên, xuống và căn chỉnh một phần. Các hoạt động thủ công này mất nhiều thời gian và dễ bị ảnh hưởng bởi trình độ của người vận hành, khó đạt được sản xuất liên tục và nhanh chóng và không thể đáp ứng nhu cầu sản xuất công nghiệp quy mô lớn.
Độ chính xác căn chỉnh hạn chế: Mặc dù máy in thạch bản bán tự động có thể được điều chỉnh vị trí theo CCD thông qua trục điện, nhưng sự tham gia của con người vào quá trình căn chỉnh chắc chắn sẽ gây ra lỗi của con người. So với máy in thạch bản hoàn toàn tự động, độ chính xác của nó thường cao hơn, nói chung ≥1μm, rất khó để đáp ứng nhu cầu in thạch bản có độ chính xác cao hơn, chẳng hạn như quy trình in thạch bản nano trong sản xuất mạch tích hợp tiên tiến.
Tính đồng nhất của quá trình kém: Các bước như dán và phát triển có thể cần phải được hoàn thành bằng tay trong máy in thạch bản bán tự động, điều này dễ dẫn đến độ dày không đồng đều hoặc hiệu ứng phát triển không nhất quán, ảnh hưởng đến chất lượng và tính nhất quán của đồ họa in thạch bản, do đó ảnh hưởng đến hiệu suất và tỷ lệ tốt của sản phẩm.
Mặt nạ dễ mất: một phần của máy photocopy bán tự động áp dụng phương pháp tiếp xúc tiếp xúc, tức là mặt nạ tiếp xúc trực tiếp với keo, phương pháp này mặc dù có thể đạt được độ phân giải cao, nhưng mỗi lần tiếp xúc sẽ gây ra một mức độ hao mòn nhất định cho mặt nạ, sử dụng lâu dài sẽ dẫn đến biến dạng đồ họa mặt nạ, ảnh hưởng đến độ chính xác in, đồng thời cũng làm tăng chi phí thay thế mặt nạ và khối lượng công việc bảo trì.
Không đủ linh hoạt: Một số máy in thạch bản bán tự động có tính linh hoạt kém trong chuyển động của tấm silicon, không thể thực hiện chuyển động chính xác đa hướng của tấm silicon, và cấu trúc định vị của tấm silicon có thể gây mài mòn cho tấm silicon, trong khi đó hiệu ứng loại bỏ bụi bên trong thiết bị có thể không lý tưởng, ảnh hưởng đến độ chính xác của in thạch bản.
Yêu cầu cao của người vận hành: vì cần có sự tham gia của con người vào một phần của hoạt động, người vận hành cần phải có kiến thức chuyên môn và kỹ năng vận hành nhất định để hoàn thành các bước trên và căn chỉnh một cách chính xác, nếu không sẽ dễ dàng do hoạt động không đúng dẫn đến lỗi thiết bị hoặc vấn đề chất lượng sản phẩm. Ngoài ra, nhân viên vận hành còn cần luôn chú ý đến trạng thái vận hành của thiết bị, cường độ lao động tương đối lớn.