Trong lĩnh vực sản xuất vi nạp như chất bán dẫn, điện tử linh hoạt, trạng thái căng thẳng của vật liệu màng trực tiếp xác định hiệu suất và tuổi thọ của thiết bị, vàMáy kiểm tra căng thẳng phim tại chỗVới đặc điểm "theo dõi thời gian thực, độ chính xác cực cao", nó trở thành thiết bị cốt lõi để nắm bắt những thay đổi ứng suất ở quy mô micro. Nó có thể cảm nhận chính xác sự dao động ứng suất của màng nano trong toàn bộ quá trình chuẩn bị và phục vụ màng mỏng, cung cấp hỗ trợ dữ liệu cho việc giải quyết các vấn đề như cong vênh, nứt vỡ linh kiện, là công cụ then chốt để sản xuất vi nạp chuyển từ "tối ưu hóa kinh nghiệm" sang "điều khiển chính xác".

I. Hạt nhân công nghệ: Mật mã nhận thức của ứng suất micronative

Khả năng nắm bắt chính xác của máy kiểm tra bắt nguồn từ hai công nghệ cốt lõi lớn. Một là hệ thống giao thoa quang học, sử dụng nguyên lý giao thoa laser, chuyển đổi các biến dạng cơ bản nhỏ do ứng suất màng mỏng gây ra thành tín hiệu dịch chuyển của các sọc giao thoa, thông qua giải pháp thuật toán có thể đạt được độ phân giải ứng suất 0,1 MPa, ngay cả khi độ dày của màng mỏng chỉ vài nanomet cũng có thể đáp ứng chính xác. Thứ hai, thiết kế phù hợp tại chỗ, thiết bị có thể được tích hợp trong các thiết bị chuẩn bị màng như phún xạ, hấp và mạ, thu thập dữ liệu trong thời gian thực trong môi trường quá trình khắc nghiệt như chân không và nhiệt độ cao, tránh lỗi giải phóng căng thẳng do phát hiện ngoại tuyến truyền thống và đạt được tích hợp "chuẩn bị phát hiện".

Thứ hai, lợi thế cốt lõi: vượt ra ngoài khả năng phát hiện căng thẳng truyền thống

So với phương pháp kiểm tra truyền thống, máy kiểm tra ứng suất màng mỏng tại chỗ thể hiện ra ba ưu thế lớn. Thứ nhất, độ phân giải thời gian cao, có thể nắm bắt các đột biến ứng suất tức thời ở mức mili giây, chẳng hạn như quá trình nảy mầm ứng suất ở giai đoạn đầu lắng đọng màng, cung cấp cơ sở động để tối ưu hóa các thông số thành màng. Thứ hai, định vị không gian chuẩn, bằng cách tập trung vào một khu vực cụ thể thông qua hệ thống quang học vi mô, nhận ra sự phát hiện chính xác của ứng suất cục bộ của màng mỏng, giải quyết giới hạn của phép đo "trung bình hóa" theo phương pháp truyền thống. Thứ ba, đo lường không tiếp xúc, phương pháp phát hiện laser tránh tiếp xúc cơ học đối với tổn thương màng vi nạp, đặc biệt thích hợp để phát hiện màng polymer mỏng manh trong các electron linh hoạt.

III. Kịch bản ứng dụng: "Người bảo vệ chất lượng" do Microna sản xuất

Thiết bị này đã trở thành một công cụ cho sản xuất vi nạp đa miền. Trong sản xuất chip bán dẫn, nó được sử dụng để theo dõi trạng thái căng thẳng của màng kim loại hóa trên bề mặt wafer và tránh nứt chip hoặc hỏng mạch do tập trung ứng suất; Trong lĩnh vực hiển thị linh hoạt, thời gian thực điều chỉnh ứng suất của bộ phim đóng gói OLED để đảm bảo sự ổn định và tuổi thọ của thiết bị khi uốn. Trong ngành công nghiệp quang điện, tối ưu hóa phù hợp ứng suất giữa các lớp của tế bào màng mỏng và nâng cao hiệu quả chuyển đổi quang điện; Trong lĩnh vực hàng không vũ trụ, phát hiện sự phân bố căng thẳng của màng phủ tàu vũ trụ và đảm bảo hiệu suất bảo vệ trong môi trường khắc nghiệt.

Khi công nghệ sản xuất vi nạp phát triển theo hướng "nhỏ hơn, tinh tế hơn",Máy kiểm tra căng thẳng phim tại chỗTác dụng càng lúc càng nổi bật. Nó không chỉ có thể nắm bắt chính xác sự thay đổi ứng suất ở quy mô micro, mà còn có thể đạt được tối ưu hóa vòng kín của các thông số quy trình thông qua phản hồi dữ liệu, làm cho tỷ lệ vượt qua của thiết bị màng mỏng tăng hơn 30%. Là "người bắt căng thẳng" trong lĩnh vực sản xuất vi nạp, nó cung cấp sự đảm bảo kỹ thuật vững chắc cho nghiên cứu và phát triển thiết bị và sản xuất hàng loạt, thúc đẩy ngành công nghiệp sản xuất vi nạp của Trung Quốc phát triển theo hướng chất lượng cao.