KSA BandiT Thời gian thực lót nhiệt độ TesterLà một thiết bị đo nhiệt độ quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, trong quá trình tăng trưởng chất nền, đánh bóng và các quá trình khác cần theo dõi động thái nhiệt độ của nhiều chất nền cùng một lúc, giám sát đồng bộ đa chất nền của nó thông qua kiến trúc ba lớp "mảng cảm biến phân tán+truyền tín hiệu đồng bộ+xử lý dữ liệu tập trung" để đạt được độ chính xác phát hiện và thời gian thực, để tối ưu hóa quá trình cung cấp hỗ trợ dữ liệu đáng tin cậy.

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

Cốt lõi của thiết bị nằm trong bố cục cảm biến phân tán được thiết kế cho các cảnh đa nền để đạt được việc thu thập song song tín hiệu nhiệt độ:

Triển khai đơn vị cảm biến tùy chỉnh: theo số lượng nền tảng và khoảng cách sắp xếp, cấu hình số lượng tương ứng của đơn vị cảm biến nhiệt độ thu nhỏ trong khu vực phát hiện, đơn vị cảm biến sử dụng cặp nhiệt điện hoặc nguyên lý đo nhiệt độ kháng điện chính xác cao, kích thước nút được kiểm soát trong phạm vi nhỏ để giảm nhiễu quá trình, và có thể phù hợp với đặc tính nhiệt của silicon, silicon carbide và các vật liệu khác nhau của nền tảng. Mỗi đơn vị cảm biến căn chỉnh độc lập các điểm đo nhiệt độ quan trọng của một chất nền duy nhất (chẳng hạn như khu vực trung tâm và cạnh), đảm bảo việc thu thập chính xác dữ liệu nhiệt độ của một điểm duy nhất.

Thiết kế cảm biến chống nhiễu: Bộ cảm biến tích hợp cấu trúc che chắn, tương tự như logic chống nhiễu của công nghệ DUAL SHIELD, có thể chống lại tiếng ồn điện từ và nhiễu plasma trong môi trường quá trình, giữ tín hiệu ổn định trong nhiệt độ cao, chân không và các điều kiện khắc nghiệt khác, tránh nhiễu xuyên âm dữ liệu đa kênh do các yếu tố môi trường gây ra.

II. Truyền tín hiệu đồng bộ: loại bỏ độ lệch thời gian

Thông qua tối ưu hóa phần cứng và giao thức, đảm bảo tín hiệu nhiệt độ của nhiều chất nền được truyền đồng bộ đến bộ xử lý, tránh sự khác biệt về độ trễ dữ liệu:

Thiết kế kênh tín hiệu song song:KSA BandiT Thời gian thực lót nhiệt độ TesterLàm thế nào để thực hiện giám sát đồng bộ đa nền được xây dựng trong nhiều kênh truyền tín hiệu độc lập, mỗi đơn vị cảm biến tương ứng với kênh độc quyền, giữa các kênh sử dụng cơ chế kích hoạt đồng bộ, do nguồn đồng hồ thống nhất điều khiển tín hiệu thu thập thứ tự thời gian, để đảm bảo tất cả dữ liệu nhiệt độ của nền tảng được bắt trong cùng một nút thời gian, độ lệch thời gian được kiểm soát trong vòng micro giây.

Liên kết truyền dữ liệu hiệu quả cao: Sử dụng công nghệ truyền tải độ trễ thấp, tương tự như logic truyền tín hiệu của hệ thống đo nhiệt độ không dây, sau khi chuyển đổi tín hiệu nhiệt độ tương tự được thu thập bởi các kênh khác nhau thành tín hiệu kỹ thuật số, tải lên song song bằng bus tốc độ cao, tránh sự chậm trễ hàng đợi do truyền nối tiếp và đảm bảo tính thời gian thực của dữ liệu đa nền.

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

Thực hiện tích hợp, phân tích và trình bày dữ liệu nhiệt độ đa nền thông qua các thuật toán và nền tảng phần mềm chuyên dụng:

Hiệu chuẩn và phân tích dữ liệu đồng bộ: Sau khi đơn vị xử lý dữ liệu nhận được tín hiệu đa kênh, dữ liệu gốc của mỗi lớp nền được hiệu chuẩn độc lập dựa trên các thông số hiệu chuẩn đặt trước (ví dụ: hệ số nhiệt độ, giá trị sửa đổi tuyến tính), loại bỏ lỗi hệ thống giữa các đơn vị cảm biến; Sau đó căn chỉnh các dòng thời gian của các nền dưới bằng thuật toán đồng bộ, hình thành tập dữ liệu nhiệt độ đa nền dưới tọa độ thời gian thống nhất.

Trình bày trực quan và cảnh báo sớm: Nền tảng phần mềm được thiết kế với giao diện tập trung, có thể hiển thị tất cả các giá trị nhiệt độ thời gian thực của lớp lót, đường cong thay đổi nhiệt độ và bản đồ nhiệt phân phối nhiệt độ cùng một lúc, tương tự như cách trình bày bản đồ nhiệt độ của TC Wafer, hiển thị trực quan sự khác biệt nhiệt độ giữa các lớp lót khác nhau. Khi nhiệt độ của một trong hai chất nền vượt quá ngưỡng đặt trước, hệ thống sẽ kích hoạt báo động ngay lập tức và có thể xác định chính xác số chất nền bất thường.

IV. Đảm bảo kỹ thuật chính: Kiểm soát độ chính xác và ổn định

Bảo đảm đồng bộ hóa thời gian: sử dụng tinh thể có độ chính xác cao làm nguồn đồng hồ để đảm bảo tính nhất quán tần số thu thập đa kênh, tỷ lệ lấy mẫu có thể lên đến hàng chục nghìn lần mỗi giây, có thể bắt được biến động thoáng qua của nhiệt độ nền;

Hiệu chuẩn phù hợp dữ liệu: tất cả các đơn vị cảm biến được hiệu chuẩn thống nhất thông qua nguồn nhiệt độ tiêu chuẩn trước mỗi lần khởi động, đảm bảo độ lệch đo ≤ ± 0,5 ° C giữa các kênh khác nhau;

Tối ưu hóa khả năng thích ứng môi trường: Bộ cảm biến và liên kết truyền tải đều sử dụng vật liệu chịu nhiệt độ cao và chống ăn mòn, phù hợp với môi trường quá trình khắc nghiệt trong sản xuất chất bán dẫn, đảm bảo sự ổn định giám sát lâu dài.

Phương án thực hiện phối hợp đa chiều này, khiếnKSA BandiT Thời gian thực lót nhiệt độ TesterLàm thế nào để đạt được giám sát đồng bộ đa chất nền có thể giám sát ổn định trạng thái nhiệt độ của nhiều chất nền cùng một lúc, hỗ trợ mạnh mẽ cho việc kiểm soát tính đồng nhất nhiệt độ của quá trình bán dẫn đa trạm và kiểm tra bất thường, giúp tăng tỷ lệ xử lý chất nền tốt và tính nhất quán của hiệu suất thiết bị.