-
Thông tin E-mail
lu.yan@leboscience.cn
-
Điện thoại
13584134215
-
Địa chỉ
Tầng 5 phía Nam, Tòa nhà A, Khu công nghiệp Chuangzhi, 201 Kim Sơn, Giang Tô
Về chúng tôi
Jiangsu Leibo Scientific Instrument Co., Ltd
Làm thế nào để phát hành từ Nature đến thử nghiệm hiệu quả | Máy cân bằng Rayboxer giúp đột phá nghiên cứu khoa học?
Ngày:2025-12-23Đọc:2
Thiết bị truyền thống trong lớp phủ xoay tốc độ cao, dễ xảy ra các vấn đề như độ dày màng không đồng đều, biến động nhiệt độ sấy nóng lớn.Khoang máy cân bằng Rayboxer sử dụng thiết kế đặc biệt, có thể duy trì tính đồng nhất tuyệt vời trên quy trình in ấn nano:
A. Tính đồng đều của keo:8 inch wafer，BKMDữ liệu có thể đạt được±1.1%。
4 inch wafer BKM dữ liệu: trong chip ± 0,49%, giữa các chip ± 0,55%.
6 inch waferDữ liệu BKM: Trong tấm ± 0,76%, giữa các tấm ± 0,91%.
8 inch waferDữ liệu BKM: Trong tấm ± 0,92%, giữa các tấm ± 1,10%.
B. Tính đồng nhất của bảng điều khiển：Trong khu vực hình tròn 8/12 inch，BKMDữ liệu có thể đạt được≤±1%(Độ phân giải nhiệt độ: 0,1 ℃,Kiểm soát nhiệt độ chính xác: ± 0,2 ℃,Phạm vi sưởi ấm tuyến tính: 0,5 ℃/phút~10 ℃/phút, trong khu vực tuyến tính）
Máy cân bằng keo AC200 (Máy tùy chỉnh)
Đối với AZ 5214E này keo lỏng, 8 inch miếng 2μm phim dày, rebocker AC200 keo cân bằng máy có thể duy trì tính đồng nhất tuyệt vời:
Tính đồng nhất trong tấm:BKM 0,54%，Tính đồng nhất giữa các mảnh:1.14%。
Độ đồng nhất wafer 4 inch: ± 0,39%
Độ đồng nhất wafer 8 inch: ± 1,3%
1. Sử dụng buồngChất liệu HDPE(Kháng axit và kiềm tốt hơn PP)。
2. Lựa chọn đĩa chở nhựaVật liệu PPS(Khả năng chống ăn mòn hóa học tốt hơn PP, cách nhiệt tốt hơn PP trong điều kiện nhiệt độ cao và độ ẩm cao, có đặc tính chống cháy tốt).
3. Động cơ trục chính sử dụng động cơ servo có độ chính xác cao, phù hợp với thuật toán điều khiển tự nghiên cứu, tốc độ quay cao (10000rpm) cũng có thểGiữ ổn địnhĐộ lệch dưới 1rpmvàĐầu ra gia tốc ổn định。
4.Thiết kế chống tắc nghẽnBình chứa dung lượng lớn.Mở rộng chu kỳ bảo trì(Cùng tần suất sử dụng, tôi làm việc 1 lần vào tháng 1).
5.Chất thải và động cơ tách biệt độc lậpTránh ô nhiễm ảnh hưởng đến đường ống động kinh.
6.Thiết bị có thể mở/đóng nắp hoạt độngThích nghi với môi trường ứng dụng nhiều hơn.
7.Bơm chân không không dầu được trang bị tiêu chuẩnXây dựng chân không không cần phải thông vào khí nén.
8. Thiết kế UI phẳng,Chế độ hoạt động một chạmRất dễ bắt đầu, gần như không có chi phí học tập thao tác.
9. Van chất lỏng dược phẩm được lựa chọnThương hiệu nhập khẩu hàng đầu CKD, Xiaojin Wellv. v., cung cấp dịch và hút lại ổn định và đáng tin cậy (mô hình tùy chỉnh).
10.Bán tự động Swing ArmThiết kế, có thể đạt được điểm, xoay, trượt nhiều cách nhỏ giọt (mô hình tùy chỉnh).
11. Thiết kế ngoại hình phong cách thống nhất gia đình, quá trình phun nhựa vỏ,Chống ăn mòn。
