Bơm chân không không dầu được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực đòi hỏi khắt khe về độ sạch như đóng gói thực phẩm, đông khô y học, phân tích phòng thí nghiệm, sản xuất chất bán dẫn và thiết bị bảo vệ môi trường, nhờ vào lợi thế không cần dầu bôi trơn, không ô nhiễm dầu và bảo trì dễ dàng. Trong hoạt động lâu dài, nó có thể xảy ra do ăn mòn phương tiện truyền thông, hút hạt, quá nóng hoặc lão hóa niêm phong và các vấn đề khác, tốc độ bơm giảm, chân không không đủ, tiếng ồn bất thường và thậm chí ngừng hoạt động. Xác định khoa học sự cố máy bơm chân không không dầu và áp dụng các biện pháp nhắm mục tiêu là chìa khóa để đảm bảo sự ổn định của hệ thống và sự sạch sẽ của quy trình.