Máy quay, còn được gọi là máy cân bằng keo, máy lắc keo, v.v., là một loại thiết bị được sử dụng để phủ màng lỏng đồng đều trên bề mặt của tấm cơ sở. Nó là một loại thiết bị phòng thí nghiệm và sản xuất được sử dụng rộng rãi trong khoa học vật liệu, sản xuất chất bán dẫn, vi điện tử, quang học và y sinh và các lĩnh vực khác. Chức năng cốt lõi của nó là phủ một bộ phim lỏng đồng đều trên bề mặt của tấm cơ sở (như tấm silicon, tấm thủy tinh, tấm polymer, v.v.).
Thêm các giọt vật liệu lỏng vào trung tâm của tấm nền quay tĩnh hoặc tốc độ thấp, tấm nền quay ở tốc độ cao dưới sự điều khiển của động cơ. Lực ly tâm làm cho vật liệu lỏng trải rộng ra ngoài từ trung tâm. Với tốc độ quay ổn định, vật liệu lỏng tạo thành một bộ phim đồng nhất trên bề mặt của tấm nền. Đối với chất lỏng chứa dung môi, dung môi bay hơi trong quá trình quay, tạo thành một màng trạng thái rắn hoặc bán rắn.
Thông qua lực ly tâm được tạo ra bởi vòng quay tốc độ cao, máy quay cho phép vật liệu lỏng trải rộng đồng đều và tạo thành một bộ phim có độ dày có thể kiểm soát được. Quy trình cụ thể như sau:
Giọt: Thêm các giọt vật liệu lỏng, chẳng hạn như photoxelate, vào trung tâm của tấm nền quay tĩnh hoặc tốc độ thấp.
Tốc độ quay tăng tốc: Các tấm cơ sở quay ở tốc độ cao dưới sự điều khiển của động cơ, và lực ly tâm làm cho vật liệu lỏng trải rộng ra ngoài từ trung tâm.
Hình thành phim: Với tốc độ quay ổn định, vật liệu lỏng tạo thành một bộ phim đồng nhất trên bề mặt của tấm nền.
Dung môi bay hơi (tùy chọn): Đối với chất lỏng chứa dung môi, dung môi bay hơi trong quá trình quay, tạo thành một màng trạng thái rắn hoặc bán rắn.
Các tính năng chính
Độ đồng nhất cao: có thể đạt được độ đồng nhất độ dày nano (± 2%), thích hợp cho các quy trình đòi hỏi tính đồng nhất của phim cao, chẳng hạn như lớp phủ photoxen, chuẩn bị lớp phủ chống phản xạ, v.v.
Kiểm soát độ dày: Độ dày của lớp phủ có thể được kiểm soát chính xác bằng cách điều chỉnh các thông số như tốc độ quay, thời gian phủ và độ nhớt của vật liệu.
Phạm vi ứng dụng rộng: các loại vật liệu áp dụng rộng rãi, bao gồm dung dịch polymer, keo quang, mực, lớp phủ, v.v. Nó cũng có thể được sử dụng cho chất nền của các vật liệu khác nhau như tấm silicon, thủy tinh, kim loại.
Cân nhắc hoạt động
Khi vận hành, bạn cần chọn đĩa hấp phụ thích hợp, đặt miếng cơ sở thẳng, bật bơm chân không để đảm bảo miếng cơ sở hút trước khi bắt đầu quay. Động tác nhỏ keo phải nhanh, hoàn thành trong thời gian quy định. Sau khi động cơ ngừng quay, mới có thể mở nắp trên tháo phim ra, hơn nữa phải định kỳ tiến hành rửa sạch phòng bơm khí, phòng ngừa keo dịch hít vào chặn đường khí.