Mục tiêu cốt lõi của việc lắp đặt máy đo chân không là đảm bảo độ chính xác và ổn định của phép đo, trong khiPhù hợp với giao diện mặt bíchvàSắp xếp đường ốngLà hai khâu then chốt ảnh hưởng đến mục tiêu này. Nếu xử lý không đúng cách, dễ gây rò rỉ, độ lệch đọc, phản ứng chậm và thậm chí hư hỏng thiết bị, bài viết này sẽ tháo dỡ chi tiết các điểm tránh hố liên quan và sơ đồ thực tế.

1- Tên đề tài: Giải pháp nâng cao hiệu quả đầu tư phát triển kết cấu hạ tầng thương mại ( “niêm phong+Tương thích”

Mặt bích là đầu mối kết nối giữa máy đo chân không và hệ thống, độ phù hợp của nó trực tiếp quyết định hiệu quả niêm phong và độ chính xác đo lường, cần tập trung tránh “Giao diện không tương thích”“Niêm phong thất bại”“Rối loạn cấu trúc”Ba vấn đề lớn.

1. Kiểm tra nghiêm ngặt tiêu chuẩn mặt bích, ngăn chặn“Hỗn hợp phi tiêu chuẩn”

Tiêu chuẩn và đặc điểm chung của mặt bích chân không

Điểm mấu chốt để tránh hố

•Cấm chỉ dựa vào “Kích thước mắt”Đánh giá sự phù hợp, phải được kiểm traĐường kính danh nghĩa (ví dụ:KF16、CF35), Loại rãnh kín, vị trí lỗ bu lông và số lượng；

•Hệ Trung cấp (10⁻⁵ PaSau đây) Nghiêm cấm sử dụngKFKết nối trực tiếp mặt bích, ưu tiênCFMặt bích (niêm phong miếng đệm đồng không oxy bằng kim loại, tỷ lệ rò rỉ≤10⁻ Độ Pa・m³ / giây）；

•Mặt bích phi tiêu chuẩn cần được tùy chỉnhKhớp nối chuyển tiếp chuyên dụngCấm mài, hàn, cải tạo mặt bích (sẽ phá hủy độ phẳng, gây rò rỉ).

2. Lựa chọn và cài đặt con dấu: Chi tiết xác định tỷ lệ rò rỉ

Vật liệu và cách lắp đặt của con dấu ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu ứng niêm phong, cần phải phù hợp chính xác với các đặc tính của chân không và môi trường:

Cài đặt đặc tả hoạt động

•Sử dụng trước khi cài đặtEthanol khan hoặc acetoneLau mặt bích kín để đảm bảo không có bụi, hạt, dầu bẩn;

•Bu lông buộc áp dụng “Đường chéo thậm chí chặt chẽ hơn”pháp luật, chia2~3thắt chặt dần dần (để tránh biến dạng của mặt bích do lực đơn phương, bề mặt niêm phong phù hợp không đồng đều);

•Kích thước con dấu cần phải phù hợp với khe niêm phong, bị cấm “Miếng đệm nhỏ gắn khe lớn”hoặc“Miếng đệm lớn cắm khe cắm nhỏ”。

3. tránh“Bước giao diện”Điểm mù đo lường gây ra

Nếu đường kính mặt bích của máy đo chân không nhỏ hơn đường kính đường ống nối, nó sẽ hình thành. “Cấu trúc bước”Các bước dễ dàng tích tụ khí, ngưng tụ, dẫn đến các phép đo thấp hơn chân không thực (giai đoạn chân không thấp đặc biệt rõ ràng).

Sơ đồ tránh hố

•Ưu tiên lựa chọn đường ốngGiống nhau hoặc lớn hơn một chútChân không kế;

•Khi phải thay đổi kích thước, sử dụngKhớp nối chuyển tiếp gradient(Tránh thay đổi góc phải), chiều dài phần chuyển tiếp≤Đường kính ống2 Gấp đôi (ví dụ:25mmChiều dài phần chuyển tiếp Đường kính ống≤50mm）。

Thứ hai, ảnh hưởng của bố trí đường ống đến độ chính xác đo lường: cốt lõi là “Rút ngắn đường dẫn+Giảm nhiễu”

Đường dây kết nối được vận chuyển bằng khí “Kênh đo”Chiều dài, hướng đi, đường kính ống, vật liệu của nó sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến tốc độ phản ứng đo và độ chính xác đọc, cần phải xoay quanh“Giảm sức đề kháng truyền dẫn, tránh tích tụ khí”Thiết kế.

1. Chiều dài đường ống so với đường kính ống: ngắn hơn, dày hơn, tốt hơn

Nguyên lý

Thời gian truyền của phân tử khí trong đường ống tỷ lệ thuận với chiều dài đường ống, tỷ lệ nghịch với bình phương đường kính ống ——Đường ống quá dài và quá mỏng có thể gây ra:

•Độ trễ phản ứng: độ chân không của hệ thống đã đạt tiêu chuẩn, việc đọc máy đo chân không chậm cập nhật;

•Chân không giả: Các bức tường bên trong của đường ống hấp thụ khí và không thể được bơm chân không kịp thời, dẫn đến việc đọc hơi cao.

Điểm tránh hố

•Chiều dài đường ốngKiểm soát trong30cmtrong nướcdài nhất không vượt quá50cm；

•Đường kính bên trong của đường ốngKhông nhỏ hơn đường kính bên trong của giao diện đo chân không(Ví dụ nhưKF25Giao diện Đường kính bên trong đường ống tương ứng≥25mm）；

•Đề xuất hệ thống chân không siêu caoChân không kế trực tiếp mặt bích dockingHủy bỏ đường ống kết nối độc lập (loại bỏ quấy nhiễu đường ống).

2. Đường ống dẫn: tránh“Kết thúc mù ngang”và“uốn cong tràn dịch”

Câu hỏi thường gặp và tác hại

•Kết thúc mù ngang: đường ống được sắp xếp theo chiều ngang và kết thúc khép kín, khí bên trong đầu mù khó rút ra, trở thành “Nguồn khí bổ sung”Dẫn đến giá trị đo lường hơi cao;

•Tích tụ uốn: Khi có hơi ngưng tụ (như hơi nước, hơi dung môi hữu cơ) trong hệ thống, đường ống uốn xuống sẽ tạo thành tích tụ uốn, tích tụ ngưng tụ sẽ chặn kênh, cảm biến ăn mòn.

Sơ đồ tránh hố

•Đường ốngSắp xếp theo chiều dọc ưu tiênVị trí lắp đặt máy đo chân không,Vị trí lắp đặt máy đo chân khôngCao hơn điểm kết nối hệ thốngHình thành.15°~30°Góc nghiêng trên (tạo điều kiện cho sự trở lại của ngưng tụ vào hệ thống thay vì tích lũy trong dòng);

•Lắp đặt ở một đầu gần máy đo chân không khi phải sắp xếp theo chiều ngangVan xả khíĐịnh kỳ xả khí mù;

•Hệ thống chứa hơi ngưng tụ, đường ống cần được lắp đặtBăng sưởi ấm(Nhiệt độ cao hơn một chút so với điểm ngưng tụ trung bình), ngăn chặn hơi hóa lỏng.

3. Giảm thiểu trong đường ống“Yếu tố trở kháng”

Van, màn hình, khuỷu tay sẽ làm tăng sức đề kháng truyền khí, làm giảm hiệu quả bơm, dẫn đến độ lệch đo, cần cố gắng đơn giản hóa cấu trúc đường ống:

Điểm tránh hố

•Giữa máy đo chân không và hệ thốngCố gắng không đặt van.Nếu cần cài đặt, chọnVan bi đường kính lớn(Sức đề kháng nhỏ hơn van cổng, van kim) và van vẫn mở hoàn toàn trong suốt quá trình;

•Loại bỏ các bộ lọc không cần thiết; Để lọc các hạt, chọnChiều dày mối hàn góc (≥ 1 mm) Lưới lọc kim loạivà dọn dẹp định kỳ (tránh tắc nghẽn);

•Số khuỷu tay≤2Một, và bán kính cong khuỷu tay.≥Đường kính ống3 Gấp đôi (giảm ảnh hưởng của nhiễu loạn đối với việc truyền khí).

4. Vật liệu đường ống: Xả thấp là chìa khóa

Các bức tường bên trong của ống thép carbon và cao su thông thường sẽ hấp thụ một lượng lớn khí, và môi trường chân không sẽ được giải phóng, can thiệp vào độ chính xác của phép đo.

Tư vấn lựa chọn vật liệu

•Lựa chọn ưu tiên304/316Ống thép không gỉ(Điều trị đánh bóng tường bên trong tốt hơn, khối lượng khí hấp phụ ít hơn);

•Hệ thống chân không siêu cao cần sử dụngĐiện phân đánh bóng ống thép không gỉ(Độ nhám của tường bên trong thấp hơn, tỷ lệ xả khí≤10⁻¹⁰ Pa・m³ / (s)・cm²)）；

•Cấm sử dụng ống cao su (trừ khi được kết nối tạm thời với chân không thô khoảng cách ngắn), tránh khử khí hoặc nứt lão hóa trên tường bên trong của ống.

III. Tránh hố bổ sung: vị trí lắp đặt và yêu cầu môi trường

1. Cảm biến chân không cầnĐối diện với luồng không khíTránh quay lưng lại với máy bơm chân không. “Khu vực mù luồng không khí”dẫn đến việc đọc kém);

2. Tránh lắp đặt máy đo chân không trongGần nguồn nhiệt(chẳng hạn như lò nướng, động cơ), nhiệt độ quá cao sẽ ảnh hưởng đến độ chính xác của cảm biến (đề nghị kiểm soát nhiệt độ môi trường làm việc trong0~40℃) Lắp thêm lồng cách nhiệt khi cần thiết;

3. Tránh xa nguồn rung động (chẳng hạn như thân máy bơm chân không), rung động có thể gây ra cảm biến lỏng lẻo hoặc hư hỏng và có thể được bổ sung với giá đỡ giảm xóc.

4. Cài đặt danh sách nghiệm thu tự kiểm tra

Hàng Châu Domjing Công nghệ Công ty TNHHTập trung vào việc cung cấp các dịch vụ và giải pháp kỹ thuật liên quan đến lưu lượng, áp suất, phát hiện chân không và kiểm soát cho khách hàng công nghiệp và nghiên cứu khoa học, công ty đại lý phân phối tại Hoa KỳALICAT、 Thụy Sĩ Vogtlin, Mỹ MKS, Nhật Bản EBARA và các thương hiệu khác, kết hợp với các sản phẩm của đại lý để cung cấp cho khách hàng các giải pháp giám sát lưu lượng và áp suất chất lượng cao, nhằm nâng cao hiệu quả nghiên cứu và sản xuất của khách hàng, cải thiện quy trình sản xuất của khách hàng, thúc đẩy tiến độ nghiên cứu và đổi mới của khách hàng.