Lớp phủ chân không (chẳng hạn như phún xạ magnetron, lớp phủ bay hơi,PECVDNhu cầu cốt lõi làGiữ chân không cao, ô nhiễm thấp, nhịp đập quá trình ổn định, vật liệu niêm phong van chân không, đường kính thông qua, tốc độ mở và đóng cần phải phù hợp với độ sâu của liên kết quá trình (hút chân không, mạ, phôi vào và ra), sau đây là logic phù hợp cụ thể:

Thứ nhất, vật liệu niêm phong: phù hợp với độ chân không và môi trường để ngăn chặn ô nhiễm

Vật liệu niêm phong trực tiếp xác định tỷ lệ rò rỉ van, chịu nhiệt độ và giải phóng chất gây ô nhiễm, cần kết hợp với mức chân không của quá trình mạ và lựa chọn loại phương tiện truyền thông:

1. Phù hợp với vật liệu niêm phong theo độ chân không

2. Yêu cầu đặc biệt về phương tiện xử lý

•Nếu quá trình sơn sử dụng khí ăn mòn (ví dụ: clo, florua): ưu tiênHạt chia organic (FFKM） hoặcHastelloy niêm phongđể tránh sự thất bại của niêm phong và rò rỉ khí do lão hóa cao su;

•Đối với hệ thống chân không không dầu (chẳng hạn như lớp phủ bán dẫn): Nghiêm cấm sử dụng vật liệu niêm phong dầu, cần chọn “Chứng nhận dầu miễn phí”Con dấu cao su hoặc con dấu kim loại, vớiMKSBơm chân không khô được sử dụng để tránh ô nhiễm lớp phủ bằng hơi dầu;

•Quá trình phủ nhiệt độ cao (chẳng hạn như lớp phủ bay hơi nhiệt độ cao, nhiệt độ>300℃): Tùy chọnCon dấu kim loại (miếng đồng, miếng nhôm) Hoặc cao su florua chịu nhiệt độ cao, ngăn chặn sự phân hủy nhiệt độ cao của vật liệu niêm phong để tạo ra các chất gây ô nhiễm.

3. Phù hợp với hệ thống phát hiện rò rỉ

Tỷ lệ rò rỉ của vật liệu niêm phong cần phù hợp với độ chính xác phát hiện rò rỉ của hệ thống chân không, đề nghị chọn tỷ lệ rò rỉ≤10⁻¹⁰ Pa・m³ / giâyVan (như van)MKSVan chân không phù hợpFFKMcon dấu), tạo thành một vòng kín với máy dò rò rỉ phổ khối helium để đảm bảo độ chân không của khoang mạ ổn định.

II. Đường kính: phù hợp với nhu cầu lưu lượng và nhịp đập quá trình, cân bằng hiệu quả và giữ chân không

Đường kính (đường kính bên trong van) xác định tốc độ rút khí và khả năng thông hành phôi, cần kết hợp với thể tích khoang mạ, thời gian hút chân không, tính toán toàn diện kích thước phôi:

1. Công thức cốt lo@@ ̃i chọn đường dẫn (phiên bản đơn giản hóa)

Đường kínhD（mm）≈ √ (V × S÷t)Trong đó:

•Vmạc đường ruột muqueuses digestives (L）；

•SB5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)L / sVí dụ nhưMKS EDGEloạt các máy bơm chân không hỗ trợ);

•Tthời hạn: permanant-never Lift ban (VĨNH VIỄN) (S）。

2. Cảnh tráng khác nhau Đường kính phù hợp

3. Lưu ý chính

•Đường kính quá lớn dễ dẫn đến tăng nguy cơ rò rỉ chân không, cần kết hợp với bơm chân không có tốc độ bơm cao hơn; Đường kính quá nhỏ sẽ kéo dài thời gian hút chân không, giảm nhịp sản xuất;

•Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (DN80 đến DN125() Chọn đường kính thông nhỏ.DN15 ~ DN40) Thực hiện kiểm soát chân không phân vùng.

Thứ ba, tốc độ mở và đóng: phù hợp với liên kết công nghệ, tránh dao động chân không và khuyết tật mạ

Tốc độ mở và đóng (thời gian van từ đóng hoàn toàn đến mở hoàn toàn) cần được điều chỉnh theo nhu cầu cốt lõi của liên kết công nghệ, tránh do tốc độ quá nhanh/Quá chậm dẫn đến dao động chân không hoặc các vấn đề về chất lượng lớp phủ:

1. Tốc độ khớp nối công nghệ khác nhau

2. Sự kết hợp giữa tốc độ và vật liệu niêm phong

•Van đóng mở nhanh: ưu tiên vật liệu niêm phong chống mài mòn, chống va đập (ví dụ: fluororubber, con dấu kim loại), tránh công tắc thường xuyên dẫn đến mòn con dấu và kéo dài tuổi thọ;

•Chậm mở và chậm đóng van: con dấu cao su silicone đàn hồi tốt hơn có thể được lựa chọn, giảm tác động khi van đóng và nâng cao độ tin cậy của con dấu.

3. Lời bài hát: Production Line Beat

•1- Tên đề tài: Giải pháp nâng cao hiệu quả đầu tư phát triển kết cấu hạ tầng thương mại (0,1 ~ 0,3 giây) Phối hợpMKSChức năng khởi động và dừng nhanh của nguồn RF, rút ngắn thời gian xử lý lô đơn;

•+Lĩnh vực thức ăn chăn nuôi: Nguyên liệu bổ sung thực phẩm vi chất trong chăn nuôi (2 ~ 3 giây), tránh biến động chân không dẫn đến độ dày lớp phủ không đồng đều, chênh lệch màu sắc và các khuyết tật khác.

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

để 100 LMagnetron Sputtering Coating Cavity (chân không cao)10⁻⁷ Pađiện thoại bàn phím (”Ví dụ:

1. các vật liệu niêm phong: chọn lựaFFKMPFR (tỷ lệ xả thấp, chống ăn mòn plasma), phù hợp với yêu cầu chân không cực cao;

2. Đường kính qua: Khối lượng khoang tráng100 L,Tốc độ bơm chân không50 L / giâyMục tiêu hút bụi thời gian60 giây,Tính toán đường kính≈√ (100 × 50 ÷ 60) ≈9 mmThực tế chọnDN40（1.5') Thông đường, dự phòng dư thừa;

3. Tốc độ mở và đóng: sử dụng trong giai đoạn hút chân không0,2 giâyMở nhanh Solenoid Valve để chuyển đổi phương tiện truyền thông tráng1,5 giâyChậm mở van khí nén cho phôi vào và ra3 giâyMở van điện chậm, cân bằng hiệu quả và ổn định.

Hàng Châu Domjing Công nghệ Công ty TNHHTập trung vào việc cung cấp các dịch vụ và giải pháp kỹ thuật liên quan đến lưu lượng, áp suất, phát hiện chân không và kiểm soát cho khách hàng công nghiệp và nghiên cứu khoa học, công ty đại lý phân phối tại Hoa KỳALICAT、 Thụy Sĩ Vogtlin, Mỹ MKS, Nhật Bản EBARA và các thương hiệu khác, kết hợp với các sản phẩm của đại lý để cung cấp cho khách hàng các giải pháp giám sát lưu lượng và áp suất chất lượng cao, nhằm nâng cao hiệu quả nghiên cứu và sản xuất của khách hàng, cải thiện quy trình sản xuất của khách hàng, thúc đẩy tiến độ nghiên cứu và đổi mới của khách hàng.