Sensofar S neox đạt được phạm vi phủ sóng đo đầy đủ từ bề mặt nhẵn cỡ subnanomet đến cấu trúc gồ ghề cỡ milimet thông qua chuyển đổi liền mạch của công nghệ lớp phủ đa tiêu cự, giao thoa, đa tiêu cự.
Công nghệ co-focus lọc ánh sáng không tập trung thông qua lỗ kim để có được hình ảnh 2D có độ tương phản cao và xây dựng hình dạng 3D sau khi quét theo chiều dọc. Chế độ này có độ phân giải ngang lên tới 0,10μm, với ống kính khẩu độ 150 lần, 0,95, độ dốc đo bề mặt nhẵn lên tới 70 °, bề mặt gồ ghề lên tới 86 °, độ lặp lại đo trục Z ổn định ở mức nano. Thích hợp cho việc xác định các cấu trúc tinh tế như đường kẻ nhỏ, khe hở, chẳng hạn như phát hiện hình dạng đường dây của chip bán dẫn.
Chế độ giao thoa ánh sáng trắng và chuyển pha được tối ưu hóa cho các bề mặt nhẵn khác nhau: độ phân giải dọc giao thoa ánh sáng trắng 0,1nm, phù hợp với bề mặt hơi gồ ghề; Chuyển pha can thiệp vào độ chính xác của Dayananomet, được thiết kế cho các bề mặt siêu mịn và không bị ảnh hưởng bởi độ phóng đại. Công nghệ lớp phủ bề mặt đa tiêu cự tập trung vào bề mặt gồ ghề, độ sâu quét duy nhất là 8mm, có thể đáp ứng nhu cầu đo của các cấu trúc phức tạp như khuôn, phụ gia sản xuất các bộ phận.
Việc chuyển đổi các chế độ này được thực hiện tự động thông qua động cơ quang học thông minh, người dùng chỉ cần nhấp vào thao tác một lần, hệ thống sẽ chọn công nghệ phù hợp dựa trên đặc tính nhiệm vụ đo lường. Ví dụ, khi đo bề mặt siêu mịn của ống kính quang học, tự động chuyển sang giao thoa dịch pha; Khi phát hiện cấu trúc thô của khuôn, bắt đầu chế độ chồng chất đa tiêu cự.
Bảng điều chỉnh chế độ kỹ thuật
Khi sử dụng, người dùng không cần phải tự đánh giá sự phù hợp của chế độ, phần mềm sẽ tự động đề xuất dựa trên các đặc điểm bề mặt của hình ảnh xem trước và cũng có thể được chọn bằng tay trong Cài đặt nâng cao. Thiết kế đã cải thiện đáng kể khả năng phù hợp của thiết bị với các mẫu khác nhau, bao gồm các yêu cầu đo lường đa ngành như điện tử, ô tô và y tế.