Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, khắc là liên kết công nghệ quan trọng, độ chính xác của nó trực tiếp quyết định hiệu suất tốt hay xấu của chip. Các phương pháp đo lường truyền thống thường vượt trội khi đối mặt với các cấu hình khắc phức tạp, và sự xuất hiện của máy đo quang học 3D Sensofar S neox đã mang lại một giải pháp đột phá cho vấn đề khó khăn này.

Quá trình khắc chọn lọc loại bỏ vật liệu wafer để định hình các tính năng mạch bằng cách khắc ướt hoặc khắc khô. Trong quá trình này, độ đồng nhất độ sâu và độ chính xác góc của tường bên trở thành các thông số chính ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị. Đặc biệt là khi kích thước thiết bị tiếp tục giảm, yêu cầu về độ chính xác của phép đo cũng ngày càng cao.

Máy đo quang học 3D Sensofar S neox sử dụng công nghệ đo ống kính giao thoa 50x để nắm bắt chính xác thông tin phác thảo 3D của một hồ sơ bị cắt. Phương pháp đo lường không tiếp xúc, độ phân giải cao này cung cấp cho các nhà sản xuất phương tiện giám sát quá trình hiệu quả.

Với phần mềm SensoPRO của Tiên-jin, hệ thống có thể đạt được phân tích tự động ở cấp độ nano, tăng đáng kể hiệu quả và độ chính xác của phép đo. Đột phá kỹ thuật này cho phép các tính năng khắc tuân thủ nghiêm ngặt các yêu cầu về dung sai kích thước, cung cấp hỗ trợ dữ liệu đáng tin cậy để tối ưu hóa quy trình.

S neox hồ sơ quang học tích hợp bốn công nghệ đồng tập trung, giao thoa, lớp phủ đa tiêu cự Ai và đo độ dày màng để tạo thành một giải pháp đo lường hoàn chỉnh. Ý tưởng thiết kế pha trộn đa công nghệ này cho phép nó đối phó với một loạt các kịch bản đo lường phức tạp.

Công nghệ co-focusCung cấp cao nhấtĐộ phân giải ngang, đạt độ phân giải ngang 0,14 μm, đáp ứng các yêu cầu khắt khe của các phép đo kích thước quan trọng.Công nghệ can thiệpSau đó, có thể đạt được các phép đo chiều cao của độ phân giải YaAi, đặc biệt thích hợp để mô tả các bề mặt nhẵn và liên tục.

Sensofar được tối ưu hóa sâu về trải nghiệm người dùng. Phần mềm SensoSCAN cung cấp giao diện hoạt động rõ ràng và trực quan, cho phép người dùng thực hiện các phép đo tự động chỉ với một cú nhấp chuột. Hệ thống có khả năng xác định thông minh các điều kiện ánh sáng zui-jia và phạm vi đo, cho kết quả chất lượng cao trong vài giây.

Hỗ trợ mô-đun đo lường tự động cho phép người dùng dễ dàng thực hiện lập trình tùy chỉnh để hoàn thành các mục tiêu quản lý và phát hiện chất lượng. Thông qua chức năng tự động nhận dạng vị trí hình ảnh, phép đo hoàn toàn tự động không có sự can thiệp của con người đã được thực hiện, nâng cao đáng kể hiệu quả phát hiện.

Công nghệ này cho thấy lợi thế mạnh mẽ trong một số lĩnh vực:

Sản xuất vi điện tửTrong đó, có thể đo độ lệch ban đầu của cảm biến áp suất nano một cách nhanh chóng và không phá hủy;

Gia công chính xáclĩnh vực, có thể đo chính xác các thông số cạnh cắt của công cụ cắt phức tạp;

Thiết bị y tếNgành công nghiệp, hỗ trợ phân tích hình dạng bề mặt của cấy ghép nha khoa.

Sensofar luôn tuân thủ các tiêu chuẩn chất lượng cao nhất và tất cả các thiết bị wan đều tuân theo tiêu chuẩn ISO25178. Hệ thống được hiệu chỉnh bằng cách sử dụng các khối tiêu chuẩn có thể truy xuất nguồn gốc, đảm bảo độ chính xác và độ tin cậy của dữ liệu đo lường. Hệ thống kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt này cung cấp sự đảm bảo đo lường đáng tin cậy cho nghiên cứu khoa học và sản xuất công nghiệp.

Khi công nghệ bán dẫn tiếp tục phát triển, yêu cầu về độ chính xác của phép đo sẽ tiếp tục tăng lên. Máy đo quang học 3D Sensofar S neox đã thiết lập một tiêu chuẩn công nghiệp mới cho các phép đo hồ sơ khắc thông qua đổi mới công nghệ, giúp ngành sản xuất chuyển sang hướng chính xác và thông minh hơn.

Thiết bị này không chỉ đại diện cho mức độ gao cao nhất của công nghệ đo quang học hiện tại, mà còn đặt nền tảng vững chắc cho sự phát triển sản xuất vi nạp trong tương lai. Hiệu suất tuyệt vời và hiệu suất đáng tin cậy của nó làm cho nó lý tưởng cho các tổ chức nghiên cứu khoa học và kiểm soát chất lượng doanh nghiệp.