Là một công cụ phân tích tiên tiến trong lĩnh vực khoa học vật liệu,Với thiết kế mô-đun và giao diện vận hành thông minh, dòng kính quét Zeiss EVO cung cấp cho các nhà nghiên cứu các giải pháp toàn quy trình từ hình ảnh cơ bản đến phân tích phức tạp.Hệ thống này sắp xếp các quy trình vận hành và các điểm kỹ thuật quan trọng.

　　Chuẩn bị khởi động và tự kiểm tra thiết bị

Trước khi khởi động Zeiss Scan Mirror cần xác nhận các thông số môi trường: nhiệt độ được kiểm soát ở 20-24 ℃, độ ẩm dưới 65%, nguồn cung cấp UPS là bình thường. Người vận hành cần đeo găng tay chống tĩnh điện để tránh làm ô nhiễm mẫu hoặc làm hỏng các linh kiện điện tử. Sau khi bật công tắc không khí ở mặt sau của máy chủ, lần lượt nhấn nút Standby và On, hệ thống đi vào chương trình tự kiểm tra. Tại thời điểm này, cần quan sát trạng thái hoạt động của bơm chân không, đảm bảo rằng bơm cơ khí và bơm phân tử được khởi động bình thường, và số đọc của máy đo chân không giảm dần xuống dưới 1,3 × 10 ⁻ ⁴mbar.

　　II. Tải mẫu và cài đặt tham số

Sau khi giải phóng chân không buồng mẫu bằng van bơm hơi, hãy sử dụng nhíp vòng để tải bảng mẫu được cố định bằng keo dẫn điện vào bảng vận chuyển năm trục. Đối với các mẫu không dẫn điện, phun vàng hoặc lớp phủ carbon cần được xử lý trước để loại bỏ hiệu ứng tích điện. Thiết lập điện áp tăng tốc (EHT) trong phần mềm SmartSEM, mẫu dẫn điện được khuyến nghị 10-30kV, mẫu không dẫn điện được sử dụng chế độ điện áp thấp 1-5kV với công nghệ giảm tốc chùm tia điện tử. Khoảng cách làm việc (WD) thường được đặt ở mức 8,5mm, tham số này ảnh hưởng trực tiếp đến độ phân giải hình ảnh và cường độ tín hiệu.

　　Lựa chọn và tối ưu hóa hình ảnh

Dòng EVO được trang bị hệ thống ống kính OptiBeam, hỗ trợ chuyển đổi năm chế độ quan sát:

1. Chế độ chân không cao SE: Sử dụng máy dò điện tử thứ cấp (SE2) để thu thập thông tin hình dạng bề mặt, thích hợp cho các mẫu dẫn điện như kim loại, gốm sứ;

2. Chế độ điện tử tán xạ ngược (BSD): phân biệt sự khác biệt về thành phần vật liệu bằng độ tương phản số nguyên tử, thường được sử dụng trong phân tích vật liệu composite;

3. Chế độ chân không thấp: mẫu chứa nước hoặc ô nhiễm có thể được quan sát mà không cần phun vàng, độ chân không có thể được duy trì đến 20-260Pa;

4. Chế độ giảm tốc chùm tia điện tử: Giảm năng lượng hạ cánh hiệu quả bằng cách áp dụng điện áp lệch, nâng cao đáng kể chất lượng hình ảnh mẫu không dẫn điện.

Thao tác cần kết hợp cần điều khiển chuyển động của tàu sân bay, sử dụng cửa sổ Reduce để tập trung từng bước, cuối cùng thu được hình ảnh có độ phân giải dưới nano ở độ phóng đại 100.000 lần.

　　B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

Sau khi kết nối với máy quang phổ Oxford Inca X-Act, tạo tệp dự án trong phần mềm AZtec, chọn chế độ quét điểm, quét đường hoặc quét bề mặt. Bạn cần thiết lập số lần thu thập khi quét mặt, hệ thống tự động tạo ra bản đồ phân bố nguyên tố và báo cáo phần trăm chất lượng. Dữ liệu thử nghiệm cho thấy, ở khoảng cách làm việc 8,5mm, tốc độ đếm đầu ra có thể được duy trì ổn định trên 1000cps để đảm bảo độ chính xác của dữ liệu.

　　V. Bảo trì tắt nguồn và quản lý dữ liệu

Sau khi hoàn thành phân tích, nhấn Shutdown Gun để tắt dây tóc, sau đó tắt phần mềm SmartSEM, EM Server và nguồn điện máy chủ. Đợi 30 phút sau khi hệ thống nguội, tắt công tắc không khí và ghi nhật ký hoạt động của thiết bị. Dữ liệu thô yêu cầu các điều kiện thử nghiệm để thực hiện tương quan dữ liệu giữa các thiết bị thông qua phần mềm ZEN Core để cung cấp một chuỗi nguồn hoàn chỉnh cho các phân tích tiếp theo.

Zeiss Scan Mirror giảm độ phức tạp của hoạt động gương truyền thống hơn 60% bằng cách thông minh hóa máy ảnh điều hướng và thiết kế quy trình làm việc tự động. Kiến trúc mô-đun của nó hỗ trợ các ứng dụng đa kịch bản từ nghiên cứu khoa học cơ bản đến kiểm tra chất lượng công nghiệp, cung cấp một giải pháp hiệu quả và đáng tin cậy cho đặc tính vật liệu.