Lỗi hệ thống điện

Hiện tượng: Thiết bị không phản ứng, điện áp hiện tại dao động bất thường

Các bước chẩn đoán:

Kiểm tra xem dây nguồn, phích cắm, kết nối ổ cắm có chắc chắn không và kiểm tra sự ổn định đầu ra điện áp bằng đồng hồ vạn năng.

Phát hiện mạch nội bộ của mô-đun nguồn và kiểm tra xem cầu chì có bị tan chảy hay điện cảm có bị lão hóa hay không.

Giải pháp:

Kết nối lại các bộ phận lỏng lẻo và thay thế dây điện hoặc ổ cắm bị hỏng.

Sửa chữa hoặc thay thế mô-đun nguồn để đảm bảo đầu ra điện áp phù hợp với thông số kỹ thuật của thiết bị.

Lỗi hệ thống chân không

Hiện tượng: Không đủ chân không, kéo dài thời gian bơm

Các bước chẩn đoán:

Sử dụng máy dò rò rỉ helium để xác định vị trí đường ống chân không, vòng đệm hoặc điểm rò rỉ của thân bơm.

Kiểm tra mức dầu và chất lượng của máy bơm chân không và quan sát xem cơ thể bơm có tiếng ồn bất thường hoặc quá nóng hay không.

Giải pháp:

Thay thế vòng đệm lão hóa, buộc chặt giao diện mặt bích lỏng lẻo.

Làm sạch hoặc thay thế dầu bơm chân không và sửa chữa các trục trặc cơ học của cơ thể bơm.

Quá trình phún xạ bất thường

Hiện tượng: mục tiêu không tỏa sáng, độ dày màng không đồng đều

Các bước chẩn đoán:

Kiểm tra xem mục tiêu được lắp đặt theo chiều dọc và bề mặt có lớp oxy hóa hoặc chất gây ô nhiễm hay không.

Đo điện trở cách điện giữa mục tiêu và đường đất, loại trừ nguy cơ ngắn mạch.

Theo dõi đường cong điện áp/dòng điện phún xạ để xác định sự hiện diện của phóng xạ ánh sáng hồ quang hoặc thay đổi mô hình.

Giải pháp:

Cài đặt lại mục tiêu và điều chỉnh khoảng cách, làm sạch bề mặt bằng cồn isopropyl.

Sửa chữa kết nối dây đất và thêm miếng đệm cách nhiệt.

Tối ưu hóa các thông số phù hợp với nguồn điện và ngăn chặn xả hồ quang.

Lỗi hệ thống điều khiển khí

Hiện tượng: Lưu lượng khí không ổn định, tỷ lệ khí phản ứng mất cân bằng

Các bước chẩn đoán:

Kiểm tra trạng thái hiệu chuẩn đồng hồ đo lưu lượng khối để xem van có bị rò rỉ hay không.

Phân tích thành phần khí còn lại để xác nhận xem có khí bên ngoài xâm nhập hay không.

Giải pháp:

Hiệu chỉnh lại MFC và thay van rò rỉ.

Tối ưu hóa bố trí đường dẫn khí và tăng thiết bị lọc khí.

II. Chiến lược bảo trì hệ thống

Bảo trì hàng ngày

Bảo dưỡng vệ sinh:

Lau vỏ thiết bị bằng vải không bụi hàng ngày để tránh tích tụ bụi.

Làm sạch bên trong buồng phún xạ hàng tuần, sử dụng dung môi đặc biệt để loại bỏ dư lượng mục tiêu.

Giám sát tham số:

Ghi lại các thông số chính như độ chân không, điện áp/dòng điện phún xạ và thiết lập biểu đồ phân tích xu hướng.

Thường xuyên kiểm tra mức nước làm mát và nhiệt độ để đảm bảo hệ thống tản nhiệt hoạt động bình thường.

Sửa chữa thường xuyên

Hệ thống điện:

Kiểm tra xem dây nguồn, đầu nối bảng điều khiển có bị oxy hóa hay không, buộc chặt vít lỏng lẻo.

Kiểm tra sự ổn định đầu ra điện áp cao và thay thế điện dung lão hóa.

Thành phần cơ khí:

Bôi trơn các bộ phận quay của bơm chân không và thay thế đai hoặc vòng bi bị mòn.

Kiểm tra tính linh hoạt của cơ chế quay mục tiêu và loại bỏ các vật thể lạ bị kẹt.

Hệ thống hút chân không:

Thay thế vòng đệm buồng chân không.

Làm sạch các bức tường bên trong của đường ống chân không để loại bỏ trầm tích.

Bảo trì phòng ngừa

Quản lý hàng tiêu dùng:

Thiết lập cơ chế cảnh báo sớm hàng tồn kho tiêu hao như mục tiêu và vòng đệm để tránh thời gian chết do thiếu vật liệu.

Ưu tiên cho các mục tiêu có khả năng chống ngộ độc cao.

Kiểm soát môi trường:

Duy trì sự ổn định nhiệt độ và độ ẩm trong phòng thí nghiệm, giảm nguy cơ ngưng tụ thiết bị.

Lắp đặt sàn chống tĩnh điện để tránh các yếu tố điện bị điện giật.

III. Lưu ý chính

Hoạt động an toàn:

Nguồn điện phải được ngắt kết nối và giải phóng điện dung điện áp cao trước khi bảo trì.

Đeo găng tay chống cắt để xử lý mục tiêu và tránh trầy xước kim loại.

Sao lưu dữ liệu:

Thường xuyên sao lưu thiết bị để kiểm soát các thông số phần mềm, ngăn chặn sự cố hệ thống dẫn đến mất quy trình.

Hỗ trợ chuyên nghiệp:

Sự cố phức tạp cần liên hệ với kỹ sư nhà máy ban đầu để sửa chữa, tránh việc tháo dỡ không được phép dẫn đến mất hiệu lực bảo hành.